专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2015044420A2 HUBSYSTEM, VERFAHREN ZUR ELEKTRISCHEN PRÜFUNG, SCHWINGUNGSDÄMPFER UND MASCHINENAGGREGAT 审中-公开
标题翻译：升降系统，方法验电，振动和设备单元
公开(公告)号：WO2015044420A2
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：PCT/EP2014/070803
申请日：2014-09-29
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： BACHMAIER, Georg , EBELSBERGER, Gerit , GERHARD, Detlef , GÖDECKE, Andreas , ZÖLS, Wolfgang
IPC分类号： H02N2/04
CPC分类号： H02N2/043 , F16F15/005 , F16F15/007 , F16F15/027 , G01R31/2635 , G01R31/286 , G01R31/2881 , H02K5/24
摘要： Das Hubsystem weist einen Piezosteller, eine Auflage sowie einen hydraulischen Wegübersetzer mit einer Eingangs- und einer Ausgangsseite auf, wobei der hydraulische Wegübersetzer mit seiner Eingangsseite an den Piezosteller und mit seiner Ausgangsseite an die Auflage angebunden ist. Bei dem Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente wird die Komponente auf die Auflage eines solchen Hubsystems aufgelegt und zur Positionierung relativ zu einem Prüfkontakt gehoben. Der Schwingungsdämpfer weist ein solches Hubsystem auf. Das Maschinenaggregat weist eine Maschine sowie einen solchen Schwingungsdämpfer auf.
摘要翻译：升降系统包括：压电致动器，载体和具有输入和输出侧，其中，所述液压位移传感器与它的输入端连接到所述压电致动器，并与它的输出侧与轴承的液压位移传感器。在用于电子元件的电气测试方法，该组件被放置在支撑这样的升降系统的提升和用于相对于接触探针的定位。减振器具有这样的升降系统。本机单元具有一种机器和这种振动阻尼器。

2. 发明申请

WO2003046976A1 信頼性評価試験装置、信頼性評価試験システム、コンタクタ及び信頼性評価試験方法审中-公开
标题翻译：可靠性评估测试仪，可靠性评估测试系统，接触器和可靠性评估测试方法
公开(公告)号：WO2003046976A1
公开(公告)日：2003-06-05
申请号：PCT/JP2002/012348
申请日：2002-11-27
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 株式会社東芝 , イビデン株式会社 , 竹腰清 , 保坂久富 , 萩原順一 , 初鹿国彦 , 臼井孝公 , 金子尚史 , 早坂伸夫 , 井戸義幸
发明人：竹腰清 , 保坂久富 , 萩原順一 , 初鹿国彦 , 臼井孝公 , 金子尚史 , 早坂伸夫 , 井戸義幸
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2862 , G01R1/0433 , G01R1/0491 , G01R31/2831 , G01R31/286 , G01R31/2865 , G01R31/2867 , G01R31/287 , G01R31/2886
摘要： A reliability tester (10) comprises a wafer containing section (12) containing a wafer (W) in the state that electrode pads of many devices formed on the wafer are all in electrical contact with bumps of a contactor (11). This wafer containing section (12) transmits/receives test signals with a measuring section (15) and has a hermetic and heat-insulating structure. The wafer containing section (12) has a pressing mechanism (13) for pressing the contactor (11) and a heating mechanism (14) for directly heating the wafer (W) in all contact with the contactor (11) to a predetermined high temperature. Thus, this tester evaluates the reliability of a wiring film and that of an insulation film formed on the semiconductor wafer under an acceleration condition.
摘要翻译：可靠性测试器（10）包括在晶片上形成的许多器件的电极焊盘与触头（11）的凸块电接触的状态下，包含晶片（W）的晶片容纳部分（12）。该晶片容纳部分（12）用测量部分（15）发送/接收测试信号，并具有密封和隔热结构。晶片容纳部分（12）具有用于按压接触器（11）的加压机构（13）和用于将与接触器（11）完全接触的晶片（W）直接加热至预定高温的加热机构（14）。因此，该测试器评估在加速条件下布线膜和在半导体晶片上形成的绝缘膜的可靠性。

3. 发明申请

WO2016045989A1 HUBSYSTEM, VERFAHREN ZUR ELEKTRISCHEN PRÜFUNG, SCHWINGUNGSDÄMPFER UND MASCHINENAGGREGAT 审中-公开
标题翻译：升降系统，方法验电，振动和设备单元
公开(公告)号：WO2016045989A1
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：PCT/EP2015/070802
申请日：2015-09-11
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： BACHMAIER, Georg , GÖDECKE, Andreas , VONTZ, Thomas , ZÖLS, Wolfgang , VON GARSSEN, Hans-Georg
IPC分类号： H02N2/04 , G01R31/26 , F16F15/00
CPC分类号： H02N2/043 , F16F15/02 , G01R31/26 , G01R31/2635 , G01R31/286
摘要： Hubsystem, Verfahren zur elektrischen Prüfung, Schwingungsdämpfer und Maschinenaggregat Das Hubsystem weist einen Piezosteller (5), eine Auflage (15) sowie einen hydraulischen Wegübersetzer (10) mit einer Eingangs- und einer Ausgangsseite auf, wobei der hydraulische Wegübersetzer mit seiner Eingangsseite an den Piezosteller (5) und mit seiner Ausgangsseite an die Auflage angebunden ist. Bei dem Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente wird die Komponente auf die Auflage (15) eines solchen Hubsystems aufgelegt und zur Positionierung relativ zu einem Prüfkontakt gehoben. Der Schwingungsdämpfer weist ein solches Hubsystem auf. Das Maschinenaggregat weist eine Maschine sowie einen solchen Schwingungsdämpfer auf.
摘要翻译：升降系统，方法，用于电测试，振动阻尼器和机单元中的升降系统包括具有输入和输出侧，压电致动器（5），支撑件（15）和液压位移换能器（10），其中所述液压位移传感器，其输入侧与压电致动器（5），并用它的输出侧连接到版本是。在用于电子元件的电气测试方法中，该组件被放置在这样的升降系统的支承（15）和解除对相对于接触探针的定位。减振器具有这样的升降系统。本机单元具有一种机器和这种振动阻尼器。

4. 发明申请

WO2014112215A1 耐圧測定装置および耐圧測定方法审中-公开
标题翻译：耐压测量装置和耐压测量方法
公开(公告)号：WO2014112215A1
公开(公告)日：2014-07-24
申请号：PCT/JP2013/081866
申请日：2013-11-27
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：酒井　光彦
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2881 , G01R31/27 , G01R31/286
摘要：　耐圧測定装置（１００）は、半導体基板（２００）に形成されかつ電極部（２２２）を有する半導体素子（２１０）の耐圧を測定するためのものである。ステージ（１２０）は、気密容器（１１０）内に設けられており、半導体基板（２００）を支持するためのものである。プローブ（１３０）は、気密容器（１１０）内に設けられステージ（１２０）に対して相対的に移動可能に構成されており、電極部（２２２）に接触することによって電極部（２２２）との電気的接続を得るためのものである。導入部（１４０）は、気密容器（１１０）に設けられており、気密容器（１１０）内にガスを導入するためのものである。排出部（１５０）は、気密容器（１１０）に設けられており、気密容器（１１０）からガスを排出するためのものである。
摘要翻译：压电阻测定装置（100）形成在半导体基板（200）上，用于测量具有电极（222）的半导体装置（210）的耐压性。在气密容器（110）的内部设置有台架（120），用于支撑半导体基板（200）。探针（130）设置在气密容器（110）内部，被构造成能够相对于载物台（120）移动，并且用于通过使电极（222）接触来获得与电极（222）的电连接）。导入部（140）设置在气密容器（110）的内部，用于将气体导入密闭容器（110）。排气部（150）设置在气密容器（110）的内部，用于从气密容器（110）排出气体。

5. 发明申请

WO2015044420A3 LIFTING SYSTEM, METHOD FOR ELECTRICAL TESTING, VIBRATION DAMPER, AND MACHINE ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：升降系统，方法验电，振动和设备单元
公开(公告)号：WO2015044420A3
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014070803
申请日：2014-09-29
申请人： SIEMENS AG
发明人： BACHMAIER GEORG , EBELSBERGER GERIT , GERHARD DETLEF , GÖDECKE ANDREAS , ZÖLS WOLFGANG
IPC分类号： H02N2/04 , F16F15/00 , G01R31/26
CPC分类号： H02N2/043 , F16F15/005 , F16F15/007 , F16F15/027 , G01R31/2635 , G01R31/286 , G01R31/2881 , H02K5/24
摘要： The invention relates to a lifting system, comprising a piezoelectric actuator (5), a support (15), and a hydraulic stroke multiplier (10) having an input and an output side, wherein the input side of the hydraulic stroke multiplier is connected to the piezoelectric actuator (5), and the output side of the hydraulic stroke multiplier is connected to the support (15). In the method for electrically testing an electronic component, the component is placed on the support of such a lifting system and is lifted for positioning relative to a test contact. The vibration damper comprises such a lifting system. The machine assembly has a machine and such a vibration damper.
摘要翻译：升降系统包括具有输入和输出侧，压电致动器（5），支撑件（15）和液压位移换能器（10），其中所述液压位移传感器，其输入侧与压电致动器（5），并用它的输出侧到所述支撑（15）附连。在用于电子元件的电气测试方法，该组件被放置在支撑这样的升降系统的提升和用于相对于接触探针的定位。减振器具有这样的升降系统。本机单元具有一种机器和这种振动阻尼器。

6. 发明申请

WO2014007084A1 半導体検査システム及びインターフェース部の結露防止方法审中-公开
标题翻译：半导体检测系统和接口部分防止冷凝的方法
公开(公告)号：WO2014007084A1
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：PCT/JP2013/067161
申请日：2013-06-18
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：小松　茂和 , 星野　貴昭
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R1/07342 , G01R31/286 , G01R31/2874
摘要：　電気的な接続を行うインターフェース部分における結露を確実に防止することのできる半導体検査システム及びインターフェース部の結露防止方法を提供する。被測定体にプローブを接触させて電気的導通を得るプローブ機構と、前記被測定体に検査記号を供給するとともに前記被測定体の出力信号を検出して検査を行うテスタと、前記プローブと前記テスタとを電気的に接続するインターフェース部と前記インターフェース部を気密に保持するための真空シール機構と、前記インターフェース部内から排気して減圧雰囲気とするための排気機構と、排気された前記インターフェース部内に流量制御しつつ乾燥気体を供給する乾燥気体供給機構と、を具備したことを特徴とする。
摘要翻译：提供了半导体检查系统和防止在接口部分处的冷凝的方法，该接口部分形成电连接，在接口部分可以可靠地防止冷凝。检测系统的特征在于配备有：探头机构，使探头与测量对象接触，并获得导电性; 测试器，通过向测量对象提供检查信号并检测来自测量对象的输出信号来执行检查; 电连接探针和测试仪的接口部分; 用于将所述界面部分保持在气密状态的真空密封机构; 用于排出界面部分内部的排气机构，从而产生减压气氛; 以及干燥气体供给机构，其对抽真空的界面部内的流量进行控制，并向其供给干燥气体。

7. 发明申请

WO2005122641A1 ヒータ電力制御回路およびこれを用いたバーイン装置审中-公开
标题翻译：使用加热器功率控制电路和烧录设备
公开(公告)号：WO2005122641A1
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/JP2005/010426
申请日：2005-06-07
申请人：株式会社アドバンテスト , 北一三 , 倉沢伊弘
发明人：北一三 , 倉沢伊弘
IPC分类号： H05B3/00
CPC分类号： G01R31/2877 , G01R31/286 , G01S19/02
摘要：　直流電源から供給される電圧信号をスイッチングし、ヒータにかかる電圧を制御してヒータ電力を制御するヒータ電力制御回路において、前記直流電源から供給される電圧をスイッチングするスイッチング回路と前記ヒータとの間に前記電圧をスイッチングした電圧信号を平滑してアナログ電圧信号に変換する電圧平滑回路を設けた。
摘要翻译：加热器功率控制电路通过切换从直流电源提供的电压信号并控制施加在加热器上的电压来控制加热器功率。在加热器功率控制电路中，在切换从直流电源供给的电压的开关电路之间，设置有用于使通过切换电压提供的电压信号和将电压信号转换成模拟电压信号的电压平滑电路供应和加热器。

8. 发明申请

WO2005121824A2 THERMAL OPTICAL CHUCK 审中-公开
标题翻译：热光卡
公开(公告)号：WO2005121824A2
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/US2005015977
申请日：2005-05-06
申请人： CASCADE MICROTECH INC , RUMBAUGH SCOTT
发明人： RUMBAUGH SCOTT
IPC分类号： G01R1/04 , G01R31/26 , G01R31/28
CPC分类号： G01R1/0458 , G01R31/286 , G01R31/2891
摘要： An accessible optical path to a lower surface of a heatable device under test is provided by a thermal optical chuck comprising a transparent resistor deposited on transparent plate arranged to supporting the device in a probe station.
摘要翻译：通过包括沉积在透明板上的透明电阻器的热光学卡盘提供到被测加热装置的下表面的可访问的光路，该透明电阻器被布置成在探测台中支撑该装置。

9. 发明申请

WO2005121822A1 バーンイン装置审中-公开
标题翻译：烧焦设备
公开(公告)号：WO2005121822A1
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/JP2005/010427
申请日：2005-06-07
申请人：株式会社アドバンテスト , 北一三 , 倉沢伊弘
发明人：北一三 , 倉沢伊弘
IPC分类号： G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2877 , G01R31/286
摘要：　ヒータ電力制限制御手段であるヒータ電力制限部は、被測定デバイスの消費電力とヒータの消費電力との総電力が一定になるように各種の被測定デバイスに対応してヒータの消費電力を制限する制御を行う。この場合、ヒータ電力制限部は、各種の被測定デバイスのうち最小の消費電力をもつ被測定デバイスの消費電力とヒータの最大電力との合計電力を前記総電力として各ヒータの消費電力を制限することが好ましい。
摘要翻译：作为加热器功率限制控制装置的加热器功率控制部件控制以限制对应于要测量的各种类型的装置的加热器的功率消耗，以便固定待测量的装置的功率消耗的总功率和加热器的功耗。在这种情况下，加热器功率控制部优选通过将要测量的装置的功率消耗的总功率限定在各种待测量的装置中，具有最小的功率消耗来限制每个加热器的功耗，和加热器的最大功率作为总功率。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式