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1. 发明申请

WO2019129887A1 METHOD FOR THE CONFIGURATION OF AN INSULATION SYSTEM FROM THE VIBRATIONS OF AN INERTIAL MEASUREMENT UNIT (IMU). 审中-公开
公开(公告)号：WO2019129887A1
公开(公告)日：2019-07-04
申请号：PCT/EP2018/097139
申请日：2018-12-28
申请人： CIVITANAVI SYSTEMS S.R.L.
发明人： DI BATTISTA, Gianni , CATASTA, Massimo , PIZZARULLI, Andrea
IPC分类号： G01C19/5783 , H05K5/00 , G01C21/16 , G01P1/02
CPC分类号： G01C19/5783 , G01C21/16 , G01P1/02 , G01P2015/0882 , H05K5/0078
摘要： This invention relates to the sector of inertial measurement units (IMU) and specifically relates to a method for configuring an insulation system capable of providing adequate protection against mechanical shock and vibration 5 stresses to the electronic and mechanical systems used to make inertial measurement units (IMU).

2. 发明申请

WO2015097435A1 ACCELEROMETERS 审中-公开
标题翻译：加速度计
公开(公告)号：WO2015097435A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/GB2014/053670
申请日：2014-12-11
申请人： ATLANTIC INERTIAL SYSTEMS LIMITED
发明人： MALVERN, Alan
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B5/00 , G01P15/13
CPC分类号： G01P15/125 , B81B5/00 , G01P15/131 , G01P2015/0814 , G01P2015/0882
摘要： A capacitive accelerometer including: at least one additional fixed capacitor electrode with a plurality of additional fixed capacitive electrode fingers extending along the sensing direction. The proof mass comprises a plurality of moveable capacitive electrode fingers extending from the proof mass along the sensing direction and arranged to interdigitate with the plurality of additional fixed capacitive electrode fingers of the at least one additional fixed capacitor electrode. A means is provided for applying a voltage to the at least one additional fixed capacitor electrode to apply an electrostatic force to the plurality of moveable capacitive electrode fingers that acts to pull the proof mass towards the at least one further fixed capacitor electrode and thereby reduces the lateral spacings between the movable capacitive electrode fingers of the proof mass and the first and second sets of fixed capacitive electrode fingers that provide electrostatic forces for sensing purposes.
摘要翻译：一种电容加速度计，包括：至少一个额外的固定电容器电极，其具有沿感测方向延伸的多个额外的固定电容电极指。检测质量包括从检测质量沿着检测方向延伸的多个可移动的电容电极指，并布置成与至少一个额外的固定电容器电极的多个额外的固定电容电极指相互指配。提供了一种用于向至少一个附加固定电容器电极施加电压以向多个可移动电容电极指施加静电力的装置，其用于将证明物质拉向至少一个另外的固定电容器电极，从而减少检测质量块的可移动电容电极指与第一组和第二组固定电容电极指之间的横向间隔提供用于感测目的的静电力。

3. 发明申请

WO2014115404A1 慣性センサ审中-公开
标题翻译： INERTIA传感器
公开(公告)号：WO2014115404A1
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：PCT/JP2013/080701
申请日：2013-11-13
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：鄭　希元 , 山中　聖子 , 林　雅秀
IPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5747 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/097 , G01C19/5747 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0882
摘要：　慣性センサの実装環境における温度変化や振動外乱に影響を受けにくい慣性センサを提供する。本発明では、例えば、図９に示すように、固定部ＦＵ３と接続するように延長部ＥＸＵを設け、この延長部ＥＸＵと、質量体ＭＳの一部を構成する第３部位Ｐ３とを、支持梁ＢＭ３および支持梁ＢＭ４で接続し、支持梁ＢＭ３と支持梁ＢＭ４とを仮想線ＩＬ１に対して反対側に配置している。これにより、質量体ＭＳの回転・ねじれに起因する不要モードの固有振動数を高周波帯域にシフトさせることができる。
摘要翻译：提供了一种惯性传感器，其耐受在安装惯性传感器的环境中的温度变化或振动干扰的影响。根据本发明，如图1所示， 9，例如设有延伸单元（EXU）连接到紧固单元（FU3），该延伸单元（EXU）和构成质量（MS）的一部分的第三区域（P3）通过支撑梁（BM3）和支撑梁（BM4），支撑梁（BM3）和支撑梁（BM4）相对于虚线（IL1）位于相对侧。在这样做时，由质量（MS）的旋转或扭转引起的不想要的模式的固有频率可以被转移到高频带中。

4. 发明申请

WO2017025753A1 ACCELEROMETERS 审中-公开
标题翻译：加速度计
公开(公告)号：WO2017025753A1
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：PCT/GB2016/052501
申请日：2016-08-11
申请人： ATLANTIC INERTIAL SYSTEMS LIMITED
发明人： HARISH, Kiran , MALVERN, Alan
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B5/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B2201/0235 , B81B2203/051 , G01P2015/0814 , G01P2015/0882
摘要： A capacitive accelerometer (202) comprises: a substantially planar proof mass (204) mounted to a fixed substrate by flexible support legs (250) so as to be linearly moveable in an in-plane sensing direction (200). The proof mass comprises first and second sets of moveable capacitive electrode fingers. First and second sets of fixed capacitive electrode fingers interdigitates with the first and second sets of moveable electrode fingers respectively (221, 222). A set of moveable damping fingers (224) extend from the proof mass substantially perpendicular to the sensing direction, laterally spaced in the sensing direction. A set of fixed damping fingers (222) mounted to the fixed substrate interdigitates with the set of moveable damping fingers and comprises an electrical connection (260) to the proof mass so that the interdigitated damping fingers (228, 230) are electrically common. The damping fingers are mounted in a gaseous medium that provides a damping effect.
摘要翻译：电容加速度计（202）包括：基本上平面的质量块（204），其通过柔性支撑腿（250）安装到固定基板上，以便在平面内感测方向（200）上可线性移动。检测质量包括第一和第二组可移动电容电极指。第一组和第二组固定电容电极指分别与第一组和第二组可移动电极指彼此交叉（221,222）。一组可移动阻尼指（224）从检测质量基本上垂直于感测方向延伸，在感测方向上横向间隔开。安装到固定基板上的一组固定阻尼指（222）与该组可动阻尼指相互指指，并且包括与检测质量块的电连接（260），使得交叉指状的阻尼指（228,230）是电气公共的。阻尼指被安装在提供阻尼效果的气体介质中。

5. 发明申请

WO2015071082A1 INERTIALSENSOR 审中-公开
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：WO2015071082A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/073047
申请日：2014-10-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： EHRENPFORDT, Ricardo , PANTEL, Daniel , ANTE, Frederik
IPC分类号： G01P1/00 , G01C19/5783
CPC分类号： G01P1/003 , G01C19/5783 , G01P2015/0882
摘要： Die Erfindung betrifft einen Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen: Einem ersten Sensorelement (108), das durch ein Dämpfungselement (116) gegenüber einer Schnittstelle (126) des Inertialsensors (100) schwingungsgedämpft ist, wobei das erste Sensorelement (108) dazu ausgebildet ist, in einem ersten Frequenzband eine erste Messgröße zu erfassen und das Dämpfungselement (116) dazu ausgebildet ist, zumindest in dem ersten Frequenzband Schwingungen zu dämpfen; und einem zweiten Sensorelement (110), das mechanisch mit der Schnittstelle (126) gekoppelt ist, wobei das zweite Sensorelement (110) dazu ausgebildet ist, in einem zweiten Frequenzband eine zweite Messgröße zu erfassen.
摘要翻译：本发明涉及一种惯性传感器（100），包括：一个第一传感器元件（108），这是减振通过在惯性传感器（100），其中，所述第一传感器元件（108）被适配为的接口（126）的阻尼元件（116）在第一频带进行检测，一个第一测量变量和所述阻尼元件（116）适于抑制振动，至少在所述第一频带; 并且其被机械地耦合到所述接口（126），其中所述第二传感器元件（110）适于检测在第二频带的第二测得的变量的第二传感器元件（110）。

6. 发明申请

WO2013073162A1 加速度センサ审中-公开
标题翻译：加速传感器
公开(公告)号：WO2013073162A1
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：PCT/JP2012/007257
申请日：2012-11-12
申请人：富士電機株式会社
发明人：坂上　智 , 矢尾　博信 , 木代　雅巳 , 鈴木　健
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18 , H01L29/84
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0871 , G01P2015/0882
摘要：　可動電極に多数の貫通孔を形成しながら剛性を確保することができる加速度センサを提供する。シリコン支持層(３)上に酸化シリコン層(４)を形成し、該酸化シリコン層上に活性シリコン層(５)を形成したＳＯＩ基板(２)を備え、前記ＳＯＩ基板の活性シリコン層に、弾性梁部で支持された錘部で構成される可動電極(１１)と、該可動電極の周辺に対向して固定配置された固定電極(１３ｘａ)，(１３ｘｂ)，(１４ｙａ)，(１４ｙｂ)とを形成し、前記可動電極の前記弾性梁部(１２)が連結される外周部の内側の全面に亘ってＺ軸方向に貫通する貫通孔(１６)を形成した。
摘要翻译：提供一种能够在可动电极上形成多个通孔的同时确保刚性的加速度传感器。在硅支撑层（3）上形成氧化硅层（4）。提供了在氧化硅层上形成有活性硅层（5）的绝缘体硅（SOI）衬底（2）。由弹性梁支撑的重物构成的可动电极（11）和固定在面向可动电极周围的位置的固定电极（13xa，13xb，14ya，14yb）形成在活性硅层 SOI衬底。在可动电极的弹性梁（12）连接的外周部分的内侧的整个表面上形成贯穿Z轴方向的通孔（16）。

7. 发明申请

WO2011019879A1 PROOF MASS FOR MAXIMIZED, BI-DIRECTIONAL AND SYMMETRIC DAMPING IN HIGH G-RANGE ACCELERATION SENSORS 审中-公开
标题翻译：用于最大化，高方向加速度传感器中的双向和对称阻尼的质量证明
公开(公告)号：WO2011019879A1
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：PCT/US2010/045275
申请日：2010-08-12
申请人： ENDEVCO CORPORATION , WILNER, Leslie, Bruce , KWA, Tom
发明人： WILNER, Leslie, Bruce , KWA, Tom
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/123 , B81B3/0078 , B81B2201/0235 , G01P1/023 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P2015/0882
摘要： A new high G-range damped acceleration sensor is proposed with a proof mass optimized for maximized, bi-directional and symmetrical damping to accommodate acceleration ranges above and beyond several thousand G's. In order to achieve the maximum, bi-directional and symmetrical damping, the high G- range acceleration sensor is designed to have minimum amount of mass in the proof mass while maximizing its surface areas. Such high G-range damped acceleration sensor can be applied to any application in which damping (or suppression of ringing) is desired at quite high frequencies.
摘要翻译：提出了一种新的高G范围阻尼加速度传感器，其具有针对最大化，双向和对称阻尼优化的检测质量，以适应超过数千G的加速度范围。为了实现最大的双向和对称阻尼，高G范围加速度传感器被设计为在最大化其表面积的同时在检验质量中具有最小量的质量。这种高G范围阻尼加速度传感器可以应用于在相当高的频率下需要阻尼（或抑制振铃）的任何应用。

8. 发明申请

WO2014200606A3 PERFORMANCE IMPROVEMENT OF MEMS DEVICES 审中-公开
标题翻译： MEMS器件的性能改进
公开(公告)号：WO2014200606A3
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：PCT/US2014031330
申请日：2014-03-20
申请人： PURDUE RESEARCH FOUNDATION
发明人： CLARK JASON
IPC分类号： G01R27/26
CPC分类号： G01P15/02 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0882 , G06F17/50
摘要： A microelectromechanical-systems (MEMS) device includes a driven mass and has a natural stiffness or damping. An actuator applies force to the mass, movement of which is measured by a sensing capacitor. A control circuit operates the actuator per displacement or velocity of the driven mass, so that a characteristic stiffness or damping of the mechanical subsystem is different from the respective natural value. A method of transforming a MEMS device design includes determining an aim performance value of the design and a baseline performance uncertainty of the design, selecting candidate sets of parameter values, determining a candidate, first, and second performance value for each, scoring the candidates, and repeating until one of the candidates satisfies a termination criterion, so the transformed design using that candidate set has the aim performance value and the respective first and second performance values closer to each other than the baseline performance uncertainty.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）装置包括驱动质量并具有自然刚度或阻尼。致动器对质量进行施加力，其移动由感测电容器测量。控制电路对从动质量块的每个位移或速度操作致动器，使得机械子系统的特征刚度或阻尼与相应的自然值不同。一种变换MEMS设备设计的方法包括确定设计的目标性能值和设计的基准性能不确定性，选择候选参数值集合，确定候选者，第一和第二性能值，对候选者进行评分，并且重复直到一个候选者满足终止标准，因此使用该候选集合的变换设计具有目标性能值和相应的第一和第二性能值比基准性能不确定性更接近。

9. 发明申请

WO2014095871A1 SCHWINGUNGSDÄMPFER FÜR EINE SENSOREINHEIT UND SENSORANORDNUNG FÜR EIN KRAFTFAHRZEUG 审中-公开
标题翻译：振动用于机动车辆的传感器单元和传感器装置
公开(公告)号：WO2014095871A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/076911
申请日：2013-12-17
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： PRUKSCH, Achim , KAEFERSTEIN, Berthold
IPC分类号： G01P1/00 , F16F15/04 , G01D11/10
CPC分类号： F16F15/04 , F16F1/00 , F16F1/027 , F16F7/08 , F16F15/073 , G01D11/10 , G01P1/003 , G01P1/023 , G01P2015/0882
摘要： Die Erfindung betrifft einen Schwingungsdämpfer (10) für eine Sensoreinheit (1) mit einem elastischen Dämpfungselement (20), und eine zugehörige Sensoreinheit (1) mit einem solchen Schwingungsdämpfer (10). Erfindungsgemäß weist das Dämpfungselement (20) eine Zentralplatte (22), mehrere Dämpfungsfinger (24), welche an einem Ende mit der Zentralplatte (22) verbunden sind, und mehrere Befestigungsflächen (22.1, 24.2) auf, wobei mindestens zwei Befestigungsflächen (22.1, 24.2) in einer ersten Raumrichtung (z) beabstandet zueinander angeordnet sind, wobei das Dämpfungselement (20) entlang der ersten Raumrichtung (z) biegeelastisch weich und in einer zur ersten Raumrichtung (z) senkrecht angeordneten Haupterstreckungsebene (x-y) mit einer höheren Steifigkeit ausgebildet ist, wobei auf den mindestens zwei Befestigungsflächen (22.1, 24.2) jeweils eine Kleberschicht (12, 14) aufgebracht ist, welche durch Schwingungen in der Haupterstreckungsebene (x-y) des Dämpfungselements (20) auf Schub beansprucht sind.
摘要翻译：本发明涉及一种用于传感器单元（1）具有弹性阻尼元件（20）的振动阻尼器（10），以及相应的传感器单元（1）具有这样的振动阻尼器（10）。根据本发明，所述阻尼元件（20）包括一个中心板（22），多个阻尼的手指（24），其在一端连接到所述中央板（22）连接的，以及多个附接表面（22.1，24.2），其中，至少两个固定表面（22.1，24.2 ）（在第一空间方向z）彼此，由此沿所述第一空间方向（z）弯曲弹性的柔软和垂直设置在所述阻尼元件（20）（第一空间方向z）的主延伸平面（xy）被构造成具有较高的刚性间隔开，其中，所述至少两个固定表面（22.1，24.2）各自的粘合层（12，14）被施加，其通过在所述缓冲元件的主延伸平面（xy）的振动（20）进行剪切。

10. 发明申请

WO2014085675A1 CHIP LEVEL SENSOR WITH MULTIPLE DEGREES OF FREEDOM 审中-公开
标题翻译：具有多个自由度的芯片级传感器
公开(公告)号：WO2014085675A1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：PCT/US2013/072360
申请日：2013-11-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FEYH, Ando , CHEN, Po-Jui
发明人： FEYH, Ando , CHEN, Po-Jui
IPC分类号： G01P1/02 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01C19/5755 , G01C19/5769 , B81B7/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/053 , G01C19/5755 , G01C19/5769 , G01C25/00 , G01P15/123 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0808 , G01P2015/0814 , G01P2015/0848 , G01P2015/0882 , Y10T29/42
摘要： A sensing assembly device (100) includes a substrate (102), a chamber above the substrate, a first piezoelectric gyroscope sensor (104) positioned within the chamber, and a first accelerometer (106) positioned within the chamber (150). The environment within the chamber (150) is selected to provide damping to the first accelerometer (106) without unduly affecting the quality factor of the piezoelectric gyroscope (104).
摘要翻译：感测组件装置（100）包括衬底（102），衬底上方的腔室，位于室内的第一压电陀螺仪传感器（104）和定位在室（150）内的第一加速度计（106）。腔室150内的环境被选择成为第一加速度计（106）提供阻尼，而不会不利地影响压电陀螺仪（104）的品质因数。

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