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1. 发明申请

WO2007112300A2 SYSTEMS AND METHODS FOR MEASURING ONE OR MORE CHARACTERISTICS OF PATTERNED FEATURES ON A SPECIMEN 审中-公开
标题翻译：用于测量样本中图案特征的一个或多个特征的系统和方法
公开(公告)号：WO2007112300A2
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：PCT/US2007/064769
申请日：2007-03-23
申请人： KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION , WACK, Dan , WANG, Haiming , GROSS, Kenneth P.
发明人： WACK, Dan , WANG, Haiming , GROSS, Kenneth P.
IPC分类号： G01B11/14 , G01N21/55
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/211 , G01N21/47 , G01N21/956 , G01N2021/213 , G01N2021/217 , G01N2021/4707 , G01N2021/4711 , G01N2021/4792
摘要： Systems and methods for measuring one or more characteristics of patterned features on a specimen are provided. One system includes an optical subsystem configured to acquire measurements of light scattered from the patterned features on the specimen at multiple angles of incidence, multiple azimuthal angles, and multiple wavelengths simultaneously. The system also includes a processor configured to determine the one or more characteristics of the patterned features from the measurements. One method includes acquiring measurements of light scattered from the patterned features on the specimen at multiple angles of incidence, multiple azimuthal angles, and multiple wavelengths simultaneously. The method also includes determining the one or more characteristics of the patterned features from the measurements.
摘要翻译：提供了用于测量样本上的图案特征的一个或多个特征的系统和方法。一个系统包括光学子系统，被配置为从多个入射角，多个方位角和多个波长同时获取从样本上的图案化特征散射的光的测量。该系统还包括配置成从测量中确定图案化特征的一个或多个特性的处理器。一种方法包括以多个入射角，多个方位角和多个波长同时从样本上的图案化特征散射的光的测量。该方法还包括从测量中确定图案化特征的一个或多个特性。

2. 发明申请

WO02027288A1 IMPROVED SYSTEM FOR SCATTEROMETRIC MEASUREMENTS AND APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译：改进的SCATTERMETRIC测量和应用系统
公开(公告)号：WO02027288A1
公开(公告)日：2002-04-04
申请号：PCT/US2001/030063
申请日：2001-09-26
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/30 , G01N21/21 , G01N21/27 , G01N21/47 , G01N21/95 , G02B5/18 , G03F1/08 , H01L21/027 , H01L21/66 , G01J3/28
CPC分类号： G01N21/45 , G01N21/21 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G01N2021/213 , G01N2021/217 , G01N2021/8416 , G02B5/18
摘要： Eigenvalues of models are precalculated may be stored and reused later for other structures having certain common characteristics to save time. The scatterometric data that is used to find the value of the one or more parameters can be limted to those at wavelengths that are less sensitive to the underlying film characteristics. A model for a three-dimensional grating (200) may be constructed by slicing a representative structure into a stack of slabs (200'(1), 200'(2), 200'(3), 200'(4), 200'(5)) and creating an array of rectangular blocks (210, 212, 214, 216, 218) to approximate each slab.
摘要翻译：预先计算的模型的特征值可以稍后存储并再次用于具有某些共同特征的其他结构以节省时间。用于查找一个或多个参数的值的散点数据可以限于对底层薄膜特性不太敏感的波长的数据。用于三维光栅（200）的模型可以通过将代表性结构切片成板（200'（1），200'（2），200'（3），200'（4），200 （5））并且创建矩形块（210,212,214,216,218）的阵列以近似每个平板。

3. 发明申请

WO2012175451A1 SYSTEME ET PROCEDE D'ANALYSE PAR DETERMINATION D'UN CARACTERE DEPOLARISANT OU DICHROÏQUE D'UN OBJET 审中-公开
标题翻译：通过确定对象的分离或双重字符来分析系统和方法
公开(公告)号：WO2012175451A1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/EP2012/061585
申请日：2012-06-18
申请人： UNIVERSITE DE RENNES 1 , CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) , ALOUINI, Mehdi , FADE, Julien
发明人： ALOUINI, Mehdi , FADE, Julien
IPC分类号： G01N21/19 , G01N21/21
CPC分类号： G01N21/21 , G01N21/19 , G01N2021/217
摘要： Un système d'analyse comporte un dispositif transmetteur (1.1) et un dispositif récepteur (1.2). Le dispositif transmetteur comporte des moyens pour illuminer un objet (1.3),ou une partie de l'objet, par un premier faisceau lumineux (1.8) constitué de signaux à deux fréquences distinctes et à premiers états de polarisation orthogonaux. Le dispositif récepteur comporte des moyens (1.6) pour détecter, dans un second faisceau lumineux à seconds états de polarisation et résultant de l'illumination de l'objet à analyser par le premier faisceau lumineux, un signal à une fréquence de battement égale à un écart entre les deux fréquences du premier faisceau lumineux;et, des moyens (1.7) pour obtenir une information relative au caractère dépolarisant ou dichroïque de l'objet, ou de la partie de l'objet, en fonction de la détection ou non d'un signal à la fréquence de battement.
摘要翻译：分析系统包括发射机设备（1.1）和接收机设备（1.2）。发射器装置包括用于通过由两个不同频率的信号和第一正交极化状态组成的第一光束（1.8）照亮物体（1.3）或物体的一部分的装置。接收器装置包括用于在具有第二偏振状态的第二光束中并且由第一光束对待分析对象的照明产生的装置（1.6），以等于两者之间的间隙的拍频的信号第一光束的频率; 以及用于根据在拍频时的信号的检测或不检测来获得与对象或对象的部分的去偏振或二色性相关的信息项的装置（1.7）。

4. 发明申请

WO1994001756A1 A METHOD AND AN APPARATUS FOR DETECTING CONCENTRATIONS OF FIRST AND SECOND TONER PARTICLES IN A DISPERSION 审中-公开
标题翻译：一种用于检测分散中第一和第二二聚体颗粒浓度的方法和装置
公开(公告)号：WO1994001756A1
公开(公告)日：1994-01-20
申请号：PCT/NL1992000118
申请日：1992-07-02
申请人： SPECTRUM SCIENCES B.V. , FORGACS, Peter , LANDA, Benzion
发明人： SPECTRUM SCIENCES B.V.
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： G03G15/105 , G01N15/06 , G01N21/21 , G01N2015/0053 , G01N2021/217 , G03G15/0121
摘要： Concentration detection of first and second toner particles in a dispersion, including illuminating the dispersion with linearly polarized light having a given polarization direction, detecting an amount of light passed through the dispersion and through an analyzer set at a predetermined angle to the given polarization direction and determining at least the concentration of one of the toner particles utilizing the detected amount of light. Additionally the concentration detection may include further illuminating the dispersion with unpolarized light, and further detecting a second amount of light passed through the dispersion illuminated with the unpolarized light, where both of the toner particle concentrations are determined from the detected and the second detected amounts of light.
摘要翻译：在分散体中的第一和第二调色剂颗粒的浓度检测，包括用具有给定偏振方向的线性偏振光照射色散，检测通过色散的光量并通过与给定的偏振方向成预定角度的分析仪，使用检测到的光量来确定至少一个调色剂颗粒的浓度。此外，浓度检测可以包括进一步用非偏振光照射色散，并进一步检测通过非偏振光照射的分散体的第二量的光，其中调色剂颗粒浓度根据检测到的和光。

5. 发明申请

WO2008101128A1 SYSTEM, METHOD AND APPLICATIONS INVOLVING IDENTIFICATION OF BIOLOGICAL CIRCUITS SUCH AS NEUROLOGICAL CHARACTERISTICS 审中-公开
标题翻译：涉及生物电路鉴定的系统，方法和应用如神经学特征
公开(公告)号：WO2008101128A1
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：PCT/US2008/054028
申请日：2008-02-14
申请人： THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY
发明人： DEISSEROTH, Karl , AIRAN, Raag, D. , MELTZER, Leslie, A. , SCHNEIDER, M., Bret
IPC分类号： G01N21/27 , G01N21/31
CPC分类号： A61B5/0059 , A61B5/4848 , G01N21/21 , G01N21/6452 , G01N2021/217 , G01N2021/218
摘要： Various aspects are directed to systems and methods for assessing neural activity of a neural region having multiple subfields. In certain embodiments, a method includes evoking a cellular electrical response in at least one subfield due to neural activity in the neural region, capturing image data of the electrical response at a level sufficiently detailed in space and time to differentiate between polarization-based events of two respective portions of the subfield, and then assessing neural activity by correlating space and time information, from the captured data, for the two respective portions of the sub-field. Other more specific aspects of the invention involve different preparation and neural stimulation approaches which can vary depending on the application.
摘要翻译：各个方面涉及用于评估具有多个子区域的神经区域的神经活动的系统和方法。在某些实施例中，一种方法包括由于神经区域中的神经活动而在至少一个子场中唤起细胞电响应，以在空间和时间上足够详细的水平捕获电响应的图像数据，以区分基于偏振的事件子场的两个相应部分，然后根据所捕获的数据，对子场的两个相应部分相关联空间和时间信息来评估神经活动。本发明的其它更具体的方面涉及不同的准备和神经刺激方法，其可根据应用而变化。

6. 发明申请

WO2007046875A2 WAVELENGTH NORMALIZED DEPOLARIZATION RATIO LIDAR 审中-公开
标题翻译：波长正规化分离比率激光
公开(公告)号：WO2007046875A2
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：PCT/US2006/020793
申请日：2006-05-30
申请人： LOCKHEED MARTIN COHERENT TECHNOLOGIES, INC. , CARRIG, Timothy, J. , GRUND, Christian , MARQUARDT, John
发明人： CARRIG, Timothy, J. , GRUND, Christian , MARQUARDT, John
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/21 , G01N2021/217 , G01N2021/4792 , G01S7/4802 , G01S7/4811 , G01S7/499 , G01S17/88
摘要： A remote sensing optical system and method is disclosed that permits detection and discrimination of aerosols. The system outputs a plurality of wavelengths and is equipped with a polarization sensitive receiver capable of measuring the scattered energy in two orthogonal polarization states. By normalizing the depolarization to the total energy received and calculating the ratio of normalized depolarization at different wavelengths it is possible to use this ratio to discriminate materials having wavelength dependent depolarization properties. One use is the discrimination of bioaerosols such as anthrax from other airborne particular matter.
摘要翻译：公开了允许气溶胶的检测和鉴别的遥感光学系统和方法。该系统输出多个波长并且配备有能够测量两个正交极化状态下的散射能量的偏振敏感接收器。通过将去极化归一化为所接收的总能量并计算不同波长处的归一化去极化的比率，可以使用该比率来区分具有波长依赖性去极化特性的材料。一种用途是将生物气溶胶，如炭疽与其他空气中的特殊物质区分开来。

7. 发明申请

WO2007046875A3 WAVELENGTH NORMALIZED DEPOLARIZATION RATIO LIDAR 审中-公开
标题翻译：波长规范化去极化比率激光雷达
公开(公告)号：WO2007046875A3
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/US2006020793
申请日：2006-05-30
申请人： LOCKHEED MARTIN COHERENT TECHN , CARRIG TIMOTHY J , GRUND CHRISTIAN , MARQUARDT JOHN
发明人： CARRIG TIMOTHY J , GRUND CHRISTIAN , MARQUARDT JOHN
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01N21/21 , G01N2021/217 , G01N2021/4792 , G01S7/4802 , G01S7/4811 , G01S7/499 , G01S17/88
摘要： A remote sensing optical system and method is disclosed that permits detection and discrimination of aerosols. The system outputs a plurality of wavelengths and is equipped with a polarization sensitive receiver capable of measuring the scattered energy in two orthogonal polarization states. By normalizing the depolarization to the total energy received and calculating the ratio of normalized depolarization at different wavelengths it is possible to use this ratio to discriminate materials having wavelength dependent depolarization properties. One use is the discrimination of bioaerosols such as anthrax from other airborne particular matter.
摘要翻译：公开了允许检测和区分气溶胶的遥感光学系统和方法。该系统输出多个波长并配备有能够测量两个正交偏振态的散射能量的偏振敏感接收器。通过将去极化归一化为接收到的总能量并计算不同波长处的归一化去极化比率，可以使用该比率来区分具有波长依赖性去极化特性的材料。一种用途是区分生物气溶胶，例如来自其他空气特定物质的炭疽。

8. 发明申请

WO2005017826A2 ADVANCED POLARIZATION IMAGING METHOD, APPARATUS, AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT FOR RETINAL IMAGING, LIQUID CRYSTAL TESTING, ACTIVE REMOTE SENSING, AND OTHER APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译：用于离子成像，液晶测试，主动远程感测和其他应用的高分辨偏振成像方法，装置和计算机程序产品
公开(公告)号：WO2005017826A2
公开(公告)日：2005-02-24
申请号：PCT/US2004/024477
申请日：2004-08-03
申请人： CHIPMAN, Russell
发明人： CHIPMAN, Russell
IPC分类号： G06T
CPC分类号： G01J4/04 , A61B3/14 , G01N21/21 , G01N2021/217
摘要： A method, apparatus, and computer program product for identifying features in a sample by analyzing Mueller matrices to calculate an average degree of polarization, a weighted average degree of polarization, a degree of polarization map, a degree of polarization surface. Also, a method, apparatus, and computer program product for identifying features in a sample by analyzing Mueller matrices to calculate depolarization relative to a retardance axis and/or a diattentuation axis, and to calculate a ratio of diattenuation to polarizance or ratios of row and column magnitudes. Also, a method for retinal polarimetry, including a non-depolarizing light tube configured for insertion into the eye.
摘要翻译：一种用于通过分析米勒矩阵来计算平均偏振度，加权平均偏振度，偏振度图，偏振面的程度来识别样本中的特征的方法，装置和计算机程序产品。另外，一种方法，装置和计算机程序产品，用于通过分析米勒矩阵来计算样本中的特征，以计算相对于延迟轴和/或排列轴的去极化，并且计算衰减与极化率的比率，列幅度。另外，一种视网膜偏振法的方法，包括配置成插入到眼睛中的非去极化光管。

9. 发明申请

WO2003074993A1 濃度測定装置审中-公开
标题翻译：浓度测量装置
公开(公告)号：WO2003074993A1
公开(公告)日：2003-09-12
申请号：PCT/JP2003/002534
申请日：2003-03-05
申请人：松下電器産業株式会社 , 内田真司 , 塩井正彦
发明人：内田真司 , 塩井正彦
IPC分类号： G01N21/27
CPC分类号： G01N21/552 , A61B5/14558 , G01N21/21 , G01N2021/217
摘要： A specific component concentration measurement method capable of reliably measuring concentration with a high accuracy without performing background measurement. A concentration measurement device includes a concentration measurement probe (2) which is brought into contact with an object to be measured, a light source (1) for emitting light to be introduced into the concentration measurement probe, a polarizer (7) for extracting P-polarized light component and S-polarized light component from the light which has been introduced into the object to be measured from the concentration measurement probe (2), propagated through the object to be measured, and come back to the concentration measurement probe (2), a photo detector (6) for measuring at least the light amount of the P-polarized light component and the S-polarized light component which have been extracted, and calculation means (8) for calculating concentration of a specific component contained in the object to be measured, according to the measurement result.
摘要翻译：不进行背景测量的能够高精度地可靠地测定浓度的特定成分浓度测定方法。浓度测定装置包括与被测定物接触的浓度测定用探针（2），向该浓度测定用探针引入的光的发光用光源（1），提取P 来自从浓度测定用探针（2）导入待测量对象物的光的偏振光分量和S偏振光分量，通过被测定物传播，返回到浓度测定用探头（2 ），用于测量至少已经提取的P偏振光分量和S偏振光分量的光量的光电检测器（6），以及用于计算包含在所述S偏振光分量中的特定成分的浓度的计算装置（8）测量对象，根据测量结果。

10. 发明申请

WO2015043716A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN BESTIMMUNG VON PARTIKELEIGENSCHAFTEN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR颗粒性质光度法测定
公开(公告)号：WO2015043716A1
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：PCT/EP2014/002440
申请日：2014-09-10
申请人： OLYMPUS SOFT IMAGING SOLUTIONS GMBH
发明人： WEI, Yi
IPC分类号： G01N15/14 , G02B21/00 , G01N21/21 , G02B5/30 , G02B5/20
CPC分类号： G01N15/0227 , G01N15/1434 , G01N2015/1465 , G01N2021/217 , G02B5/20 , G02B5/30 , G02B21/0092 , G02B21/082 , G02B27/1006 , G02B27/288
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, ein Verfahren und ein System zur optischen Bestimmung von Partikeleigenschaften, insbesondere Größe und Reflektivität. Die Vorrichtung umfasst wenigstens eine Lichtquellenanordnung (20, 30) mit wenigstens einer Lichtquelle, eine Polarisatoranordnung, wenigstens eine von der wenigstens einen Lichtquellenanordnung (20, 30) beleuchtbare Probenhalterung zur Aufnahme zu untersuchender Partikelpräparate, wenigstens eine Analysatoranordnung (5) und wenigstens eine Bildaufnahmeeinrichtung (9) mit wenigstens einem farbauflösenden Matrix-Bildsensor. Erfindungsgemäß ist die Vorrichtung ausgebildet, von einem Partikelpräparat reflektiertes Licht mit einer farbkodierten Polarisation auf den wenigstens einen Matrix-Bildsensor zu leiten.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，方法和颗粒性质的光学测定系统，特别是尺寸和反射率。该装置包括至少一个光源装置（20，30）具有至少一个光源，偏振器，所述至少一个光源装置的至少一个可照亮（20，30）样品架用于保持要被检查的颗粒制剂，至少一个分析器装置（5）和至少一个图像记录装置（ 9）包括至少一个彩色矩阵分辨率的图像传感器。根据本发明，在形成装置中，光从颗粒制备光反射用颜色编码的极化以引导至少一个矩阵图像传感器。

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