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1. 发明申请

WO2016056996A1 METHODS TO IMPROVE AXIAL RESOLUTION IN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：改善光学相干定位中轴向分辨率的方法
公开(公告)号：WO2016056996A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/SG2015/050375
申请日：2015-10-06
申请人： NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
发明人： LIU, Xinyu , LIU, Linbo
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/47 , A61B5/00 , A61B8/13
CPC分类号： A61B5/0066 , A61B3/0025 , A61B3/102 , A61B5/00 , A61B5/7257 , A61B8/13 , A61B2562/0233 , A61B2576/00 , G01B9/02044 , G01B9/02084 , G01B9/02091 , G01N21/47 , G01N21/4795
摘要： Methods are proposed to improve axial resolution in optical coherence tomography (OCT). In one aspect, the method comprises: obtaining a k-space interferogram of an OCT spectral image; uniformly reshaping the k-space interferogram to a quasi- stationary interferogram by extracting a source envelope; fitting a spectral estimation model to the quasi-stationary interferogram; and calculating an axial depth profile using the fitted spectral estimation model.
摘要翻译：提出了改善光学相干断层扫描（OCT）的轴向分辨率的方法。一方面，该方法包括：获得OCT光谱图像的k空间干涉图; 通过提取源包络将k空间干涉图均匀地重构成准静态干涉图; 拟合频谱估计模型到准静态干涉图; 并使用拟合的频谱估计模型计算轴向深度分布。

2. 发明申请

WO2014036405A2 METHOD AND APPARATUS FOR ULTRAFAST MULTI-WAVELENGTH PHOTOTHERMAL OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY (OCT) 审中-公开
标题翻译：超声波多光子光学相干光谱（OCT）的方法与装置
公开(公告)号：WO2014036405A2
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：PCT/US2013057534
申请日：2013-08-30
申请人： UNIV TEXAS
发明人： KURANOV ROMAN V , MCELROY AUSTIN B , DWELLE JORDAN , MILNER THOMAS E
IPC分类号： A61B8/13
CPC分类号： A61B3/102 , A61B5/0066 , A61B5/02007 , A61B5/14546 , A61B5/14552 , A61B5/4064 , A61B5/4233 , A61B5/4238 , A61B5/4255 , A61B5/4331 , A61B5/4381 , A61B5/444 , A61B5/4552 , A61B5/7257 , G01B9/02004 , G01B9/02007 , G01B9/02014 , G01B9/02069 , G01B9/02084 , G01B9/02091 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： Certain embodiments are directed to methods and apparatus for ultrafast MWP-OCT that is based on precise of the OCT tunable-laser source combined with synchronization of the photothermal excitation laser emission.
摘要翻译：某些实施例针对超快MWP-OCT的方法和装置，其基于OCT可调谐激光源的精确度与光热激发光发射的同步相结合。

3. 发明申请

WO2012145251A1 THIN FILMS AND SURFACE TOPOGRAPHY MEASUREMENT USING REDUCED LIBRARY 审中-公开
标题翻译：薄膜和表面地形测量使用减少的图书馆
公开(公告)号：WO2012145251A1
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：PCT/US2012/033622
申请日：2012-04-13
申请人： NANOMETRICS INCORPORATED , KAMENEV, Boris V. , DARWIN, Michael J.
发明人： KAMENEV, Boris V. , DARWIN, Michael J.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , H01L21/00
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02072 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/06 , G01B11/0675 , G01B2290/45 , H01L21/00
摘要： The properties of a surface of an object in presence of thin transparent films are determined by generating a library of model signals and processing a measurement signal via searching the library to evaluate films properties and topography. The library may be reduced with principal component analysis to enhance computation speed. Computation enhancement may also be achieved by removal of the height contributions from the signal leaving only the film contribution in the signal. The film measurement signal is compared to a library of film signals to determine the film parameters of the sample. The library of film signals is produced by processing each full signal in a library to similarly remove the height contributions leaving only the film contributions. Additionally, a post-analysis process may be applied to properly evaluate local topography.
摘要翻译：存在薄透明薄膜时物体表面的性质是通过产生模型信号库并通过搜索文库评估薄膜性质和形貌来处理测量信号来确定的。可以通过主成分分析来减少图书馆，以提高计算速度。计算增强也可以通过从信号中去除高度贡献来实现，仅留下信号中的膜贡献。将胶片测量信号与胶片信号库进行比较，以确定样品的胶片参数。通过处理图书馆中的每个完整信号来产生电影信号库，以类似地去除仅留下电影贡献的高度贡献。此外，可以应用后分析过程来适当评估局部地形。

4. 发明申请

WO2010007025A1 METHOD FOR IMAGE RANGE EXTENSION IN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：光学相干图像中图像范围扩展的方法
公开(公告)号：WO2010007025A1
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：PCT/EP2009/058928
申请日：2009-07-13
申请人： UNIVERSITY COLLEGE CARDIFF CONSULTANTS LTD , DREXLER, Wolfgang , HOFER, Bernd , POVAŽAY, Boris , MATZ, Gerald
发明人： DREXLER, Wolfgang , HOFER, Bernd , POVAŽAY, Boris , MATZ, Gerald
IPC分类号： G01N21/47 , A61B5/00
CPC分类号： G01N21/4795 , G01B9/02044 , G01B9/02078 , G01B9/02084 , G01B9/02091
摘要： A method of generating a tomogram of a sample (18) wherein an analysis beam (E d ) is subject to dispersion distortion, the method comprising: a) detecting the analysis beam (E d ) b) generating a signal (s) representative of the intensity of wavelengths in the analysis beam (E d ); c) generating (46, 48) a first spatial domain signal (S) representative of the signal (s) so generated; d) detecting (50) a desired signal component of the first spatial domain signal (S) and outputting (70) the desired signal component for use in generating a depth scan which can be used to create a line of the tomogram; e) subtracting (52) the desired signal component from the first spatial domain signal (S) to generate a second spatial domain signal (S -); f) generating (54, 56, 58, 60) an intermediate signal (S + ) which does not include the desired signal component, and g) calculating (62) the complex conjugate of the desired signal component in the first spatial domain signal (S), subtracting (64) it from the intermediate signal (S + ) and creating (66, 68) a signal (s') from which a new first spatial domain signal (S) can be generated for use in steps c) to g).
摘要翻译：一种产生样品（18）的断层图像的方法，其中分析光束（Ed）经受色散失真，所述方法包括：a）检测分析光束（Ed）b）产生代表强度的信号的分析光束（Ed）中的波长; c）产生（46,48）表示如此生成的信号的第一空间域信号（S）; d）检测（50）第一空间域信号（S）的期望信号分量并输出（70）所需信号分量，用于产生可用于创建断层图像行的深度扫描; e）从第一空间域信号（S）中减去（52）所需信号分量以产生第二空间域信号（S - ）; f）产生（54,56,58,60）不包括所需信号分量的中间信号（S +），以及g）计算（62）所述第一空间域信号中的期望信号分量的复共轭），从中间信号（S +）中减去（64）并产生（66,68）一个信号（s'），从该信号可以产生新的第一空间域信号（S），用于步骤c）至g）。

5. 发明申请

WO2008151266A3 INTERFEROMETRY FOR DETERMINING CHARACTERISTICS OF AN OBJECT SURFACE, WITH SPATIALLY COHERENT ILLUMINATION 审中-公开
标题翻译：用于确定对象表面特征的空间相干照明的干涉
公开(公告)号：WO2008151266A3
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/US2008065863
申请日：2008-06-05
申请人： ZYGO CORP , DE LEGA XAVIER COLONNA , DE GROOT PETER
发明人： DE LEGA XAVIER COLONNA , DE GROOT PETER
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02043 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B2290/70
摘要： Disclosed is an apparatus which includes: an interferometer configured to direct broadband spatially coherent test light to a test surface of a test object over a range of illumination angles and subsequently combine it with reference light to form an interference pattern, the test and reference light being derived from a common source; a multi-element detector; and one or more optics configured to direct at least a portion of the combined light to the detector so that different elements of the detector correspond to different illumination angles of a region of the test surface illuminated by the test light.
摘要翻译：公开了一种装置，其包括：干涉仪，其被配置为在宽度范围的照射角度下将宽带空间相干测试光引导到测试对象的测试表面，并随后将其与参考光组合以形成干涉图案，所述测试和参考光为源自一个共同的来源; 多元素检测器; 以及一个或多个光学器件，被配置为将组合的光的至少一部分引导到检测器，使得检测器的不同元件对应于由测试光照射的测试表面的区域的不同照明角度。

6. 发明申请

WO2008055060A3 VIBRATION RESISTANT INTERFEROMETRY 审中-公开
标题翻译：抗振动干涉测量
公开(公告)号：WO2008055060A3
公开(公告)日：2008-07-10
申请号：PCT/US2007082646
申请日：2007-10-26
申请人： ZYGO CORP , DECK LESLIE L
发明人： DECK LESLIE L
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02076 , G01B9/02057 , G01B9/02083 , G01B9/02084 , G01B2290/65 , G01H1/06 , G01H1/08
摘要： In general, in one aspect, the invention features a method including providing scanning intcrferomctry data for a test object using phase shifting intcrfcrometry, the data including intensity values for each of multiple scan positions for different spatial locations of the test object, the intensity values for each spatial location defining an interference signal for the spatial location, the intensity values for a common scan position defining a data set for that scan position. The method also includes temporally transforming at least some of the interference signals into a first frequency domain signal, determining an estimated phase profile of the test object based on the first frequency domain signal, determining phase shifts at multiple scan positions based on the estimated phase profile, and determining a more accurate phase profile of the test object based on the estimated phase profile and the phase shifts.
摘要翻译：通常，在一个方面中，本发明的特征在于一种方法，包括：使用相移内部测量法提供扫描测试对象的测试对象的数据，所述数据包括用于测试对象的不同空间位置的多个扫描位置中的每一个的强度值，每个空间位置定义空间位置的干涉信号，公共扫描位置的强度值定义该扫描位置的数据组。该方法还包括将至少一些干扰信号临时变换成第一频域信号，基于第一频域信号确定测试对象的估计相位分布，基于估计的相位分布确定多个扫描位置处的相移以及基于估计的相位分布和相移来确定测试对象的更精确的相位分布。

7. 发明申请

WO2007059088A3 INTERFEROMETER AND METHOD FOR MEASURING CHARACTERISTICS OF OPTICALLY UNRESOLVED SURFACE FEATURES 审中-公开
标题翻译：干涉仪和测量光学不可分离表面特征特征的方法
公开(公告)号：WO2007059088A3
公开(公告)日：2007-08-16
申请号：PCT/US2006044102
申请日：2006-11-13
申请人： ZYGO CORP , DE GROOT PETER , DARWIN MICHAEL J , STONER ROBERT , GALLATIN GREGG M , DE LEGA XAVIER COLONNA
发明人： DE GROOT PETER , DARWIN MICHAEL J , STONER ROBERT , GALLATIN GREGG M , DE LEGA XAVIER COLONNA
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B11/0675 , G01B9/02057 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B2290/50 , G01B2290/70 , G01N21/8422 , G03F7/70625
摘要： Disclosed is an interferometry analysis method that includes comparing information derivable from multiple interferometry signals corresponding to different surface locations of a test object to information corresponding to multiple models of the test object, wherein the multiple models are parametrized by a series of characteristics that relate to one or more under-resolved lateral features of the test object; and outputting information about the under- resolved surface feature based on the comparison.
摘要翻译：公开了一种干涉测量分析方法，该方法包括将可从与测试对象的不同表面位置相对应的多个干涉测量信号导出的信息与对应于测试对象的多个模型的信息进行比较，其中，所述多个模型通过一系列与一个或测试对象的更多未解析的横向特征; 并基于该比较输出关于未解析的表面特征的信息。

8. 发明申请

WO2005114096A3 METHODS AND SYSTEMS FOR DETERMINING OPTICAL PROPERTIES USING LOW-COHERENCE INTERFERENCE SIGNALS 审中-公开
标题翻译：使用低相干干扰信号确定光学性质的方法和系统
公开(公告)号：WO2005114096A3
公开(公告)日：2007-01-25
申请号：PCT/US2005017386
申请日：2005-05-17
申请人： ZYGO CORP , DE LEGA XAVIER COLONNA
发明人： DE LEGA XAVIER COLONNA
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02 , G01B11/24 , G01M11/02 , G01N21/45
CPC分类号： G01B9/02084 , G01B9/02058 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G01M11/0228 , G01M11/0271 , G01N21/45
摘要： Methods and related systems for determining properties of optical systems (e.g., interferometers) and/or optical elements (e.g., lense and/or lens systems) are described. For example, information related to an optical thickness mismatch of an interferometer (250) can be determined by providing scanning interferometry data. The data typically include obtaining one or more interference signals each corresponding to a different spatial location of a test object (202). A phase is determined for each of multiple frequencies of each test signal. The information related to the optical thickness mismatch is determined based on the phase for each of the multiple frequencies of the interferences signal(s).
摘要翻译：描述了用于确定光学系统（例如，干涉仪）和/或光学元件（例如，透镜和/或透镜系统）的性质的方法和相关系统。例如，可以通过提供扫描干涉测量数据来确定与干涉仪（250）的光学厚度失配有关的信息。数据通常包括获得每个对应于测试对象（202）的不同空间位置的一个或多个干扰信号。确定每个测试信号的多个频率中的每一个的相位。基于干扰信号的多个频率中的每一个的相位确定与光学厚度失配有关的信息。

9. 发明申请

WO2006078718A1 INTERFEROMETER FOR DETERMINING CHARACTERISTICS OF AN OBJECT SURFACE 审中-公开
标题翻译：用于确定物体表面特征的干涉仪
公开(公告)号：WO2006078718A1
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：PCT/US2006/001740
申请日：2006-01-19
申请人： ZYGO CORPORATION , DE LEGA, Xavier, Colonna , DE GROOT, Peter
发明人： DE LEGA, Xavier, Colonna , DE GROOT, Peter
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： Disclosed is a system (100) including: (i) an interferometer configured to direct test electromagnetic radiation to a test surface (124) and reference electromagnetic radiation to a reference surface (122) and subsequently combine the electromagnetic radiation to form an interference pattern, the electromagnetic radiation being derived from a common source (102); (ii) a multi-element detector (134); and (iii) one or more optics (13S) configured to image the interference pattern onto the detector (134) so that different elements of the detector (134) correspond to different illumination angles of the test surface (124) by the test electromagnetic radiation. The measurements made by the detector elements provide ellipsometry/ ref lectometry data for the test surface (124). The disclosed system (100) can further be reconfigured to operate in a different mode (e.g., a profiling mode) in which the different elements of the detector (134) correspond to different locations of the test surface (124).
摘要翻译：公开了一种系统（100），包括：（i）干涉仪，被配置为将测试电磁辐射引导到测试表面（124）并将电磁辐射引用到参考表面（122），并且随后组合电磁辐射以形成干涉图案，电磁辐射源自公共源（102）; （ii）多元件检测器（134）; 以及（iii）被配置为将所述干涉图案成像到所述检测器（134）上的一个或多个光学器件（13S），使得所述检测器（134）的不同元件对应于所述测试表面（124）通过所述测试电磁辐射。由检测器元件进行的测量为测试表面（124）提供椭圆测量/参考测量数据。所公开的系统（100）还可被重新配置为以不同的模式（例如，轮廓模式）操作，其中检测器（134）的不同元件对应于测试表面（124）的不同位置。

10. 发明申请

WO2005047974A2 MEASUREMENT AND COMPENSATION OF ERRORS IN INTERFEROMETERS 审中-公开
标题翻译：干扰仪中误差的测量和补偿
公开(公告)号：WO2005047974A2
公开(公告)日：2005-05-26
申请号：PCT/US2004/037553
申请日：2004-11-10
申请人： ZYGO CORPORATION , HILL, Henry, A.
发明人： HILL, Henry, A.
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02059 , G01B9/0207 , G01B9/02072 , G01B9/02084 , G01B11/306 , G01B2290/60 , G01B2290/70 , G03F7/70775 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要： In general, in one aspect, the invention features a method for determining the location of an alignment mark on a stage including measuring a location, x l , of a stage along a first measurement axis using an interferometry system, measuring a location, x 2 , of the stage along a second measurement axis parallel to the first measurement axis, and determining a location of the alignment mark along a third axis parallel to the first measurement axis based on x 1 , x 2 , and a correction term, ψ 3 , calculated from predetermined information including information characterizing imperfections in the interferometry system determined using the interferometry system and the stage.
摘要翻译：通常，在一个方面，本发明的特征在于一种用于确定平台上的对准标记的位置的方法，包括使用干涉测量系统测量沿着第一测量轴的台阶的位置x1，测量位置x 2的位置x 2 所述阶段沿着与所述第一测量轴平行的第二测量轴，以及基于x1，x2以及从预定信息计算的校正项psi3来确定所述对准标记沿着平行于所述第一测量轴的第三轴的位置，使用干涉测量系统和阶段确定的描述干涉测量系统中的缺陷的信息。

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