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1. 发明申请

WO2005116448A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005116448A1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：PCT/JP2005/009148
申请日：2005-05-19
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 樺澤剛志 , 野中学
发明人：樺澤剛志 , 野中学
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D29/701
摘要：　真空装置側へ伝播する真空ポンプの放射熱を簡単な構成で効率的に低減させることを目的とする。　ターボ分子ポンプ１の気体移送機構の上流に、真空室３０が受ける放射熱の影響を低減させるための放射熱低減構造を設ける。放射熱低減構造は、遮熱機構と冷却機構から構成されている。遮熱機構は、遮熱プレート１８、支持部１９および最上段スペーサ１７ａから構成されている。遮熱プレート１８の下流側の面には、放射率が０．８以上である表面処理が施され、一方、上流側の面には、放射率が０．１以下である表面処理が施されている。これにより、遮熱プレート１８においてより多くの熱を吸収させることができるだけでなく、真空室３０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
摘要翻译：通过简单的结构有效地减少了传播到真空装置侧的真空泵的辐射热。在涡轮分子泵（1）的气体传递机构的上游设置有辐射热减少结构，并且该结构减少了对真空室（30）的辐射热的影响。辐射减热结构由隔热机构和冷却机构构成。隔热板机构由隔热板（18），支撑部（19）和最上层隔板（17a）构成。提供0.8以上的发射率的表面处理被施加到隔热板（18）的下游侧的表面。另一方面，向上游侧的表面施加提供0.1以下的发射率的表面处理。通过上述结构，隔热板（18）能够吸收更多的热量，另外，隔热板（18）能够减少向真空室（30）侧散发的热量。

2. 发明申请

WO2005119060A1 真空排気装置审中-公开
标题翻译：真空排气装置
公开(公告)号：WO2005119060A1
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：PCT/JP2005/010044
申请日：2005-06-01
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 野中学
发明人：野中学
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D29/161 , F04B37/16 , F04D19/04 , F04D29/083
摘要：　真空ポンプから真空装置へ伝播する振動の遮断率を向上させることを目的とする。　ターボ分子ポンプ１を真空シール構造４を介して主真空室２に接続する。さらに、副真空室３を主真空室２、真空シール構造４、ターボ分子ポンプ１の吸気口１１０を内包するように配設する。副真空室３の粗引き真空排気処理を粗引真空ポンプ６により行い、副真空室３を中真空状態とする。真空シール構造４は、中真空状態となっている副真空室３内に配設されるため、主真空室２と副真空室３との間の圧力差を極めて小さくすることができる。これにより、主真空室２へのガスのリーク量を小さい値に抑えることができる。また、真空シール構造４は、ターボ分子ポンプ１を支持する機能を担うものではないため、例えば、非接触シール構造や柔軟性の高いシール部材を用いることができる。
摘要翻译：提高从真空泵到真空装置传播的振动的速度被切断。涡轮分子泵（1）通过真空密封结构（4）连接到主真空室（2）。此外，辅助真空室（3）被设置为包括主真空室（3），真空密封结构（4）和涡轮分子泵（1）的吸入口（110）。通过粗抽真空泵（6）对辅助真空泵（3）进行粗抽真空排气处理，以在辅助真空室（3）中建立介质真空状态。由于真空密封结构（4）设置在其中建立了中等真空状态的辅助真空室（3）中，所以可以使主真空室（2）和辅助真空室（3）之间的压力差最小化。这使得可以将气体进入主真空室（2）的泄漏减小到较小的值。此外，由于真空密封结构（4）不是为了承担支撑涡轮分子泵（1）的功能，所以可以使用例如非接触式密封结构或高度柔性的密封构件。

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