会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明申请
    • CONTROLLING DOPING OF SYNTHETIC DIAMOND MATERIAL
    • 控制合成金刚石材料的掺杂
    • WO2012084656A1
    • 2012-06-28
    • PCT/EP2011/072820
    • 2011-12-14
    • ELEMENT SIX LIMITEDCOE, Steven EdwardWILMAN, Jonathan JamesTWITCHEN, Daniel JamesSCARSBROOK, Geoffrey AlanBRANDON, John RobertWORT, Christopher John HowardMARKHAM, Matthew Lee
    • COE, Steven EdwardWILMAN, Jonathan JamesTWITCHEN, Daniel JamesSCARSBROOK, Geoffrey AlanBRANDON, John RobertWORT, Christopher John HowardMARKHAM, Matthew Lee
    • H01J37/32C30B29/04
    • C30B25/14C01B32/25C23C16/274C23C16/278C30B25/02C30B25/165C30B29/04H01J37/32192H01J37/32449
    • A method of manufacturing synthetic CVD diamond material, the method comprising: providing a microwave plasma reactor comprising: a plasma chamber; one or more substrates disposed in the plasma chamber providing a growth surface area over which the synthetic CVD diamond material is to be deposited in use; a microwave coupling configuration for feeding microwaves from a microwave generator into the plasma chamber; and a gas flow system for feeding process gases into the plasma chamber and removing them therefrom, injecting process gases into the plasma chamber; feeding microwaves from the microwave generator into the plasma chamber through the microwave coupling configuration to form a plasma above the growth surface area; and growing synthetic CVD diamond material over the growth surface area, wherein the process gases comprise at least one dopant in gaseous form, selected from a one or more of boron, silicon, sulphur, phosphorous, lithium and beryllium at a concentration equal to or greater than 0.01 ppm and/or nitrogen at a concentration equal to or greater than 0.3 ppm, wherein the gas flow system includes a gas inlet comprising one or more gas inlet nozzles disposed opposite the growth surface area and configured to inject process gases towards the growth surface area, and wherein the process gases are injected towards the growth surface area at a total gas flow rate equal to or greater than 500 standard cm 3 per minute and/or wherein the process gases are injected into the plasma chamber through the or each gas inlet nozzle with a Reynolds number a Reynolds number in a range 1 to 100.
    • 一种制造合成CVD金刚石材料的方法,所述方法包括:提供微波等离子体反应器,包括:等离子体室; 设置在等离子体室中的一个或多个衬底提供在使用中沉积合成CVD金刚石材料的生长表面区域; 用于将微波从微波发生器馈入等离子体室的微波耦合配置; 以及用于将工艺气体进料到等离子体室中并将其从其中除去的气体流系统,将工艺气体注入到等离子体室中; 通过微波耦合配置将微波从微波发生器馈送到等离子体室中,以在生长表面积之上形成等离子体; 以及在所述生长表面积上生长的合成CVD金刚石材料,其中所述工艺气体包含至少一种气体形式的掺杂剂,其选自硼,硅,硫,磷,锂和铍中的一种或多种,​​其浓度等于或大于 处于浓度等于或大于0.3ppm的0.01ppm和/或氮气,其中所述气体流动系统包括气体入口,所述气体入口包括与生长表面区域相对设置的一个或多个气体入口喷嘴,并且被配置为朝着生长表面注入工艺气体 并且其中所述工艺气体以等于或大于500标准立方厘米/分钟的总气体流速向所述生长表面区域注入,和/或其中所述工艺气体通过所述或每个气体入口喷嘴注入所述等离子体室 雷诺数雷诺数在1到100之间。
    • 3. 发明申请
    • PROCEDE POUR SYNTHETISER PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR UNE MATIERE, EN PARTICULIER DU DIAMANT, AINSI QU'UN DISPOSITIF POUR L'APPLICATION DU PROCEDE
    • 用于合成材料,特别是金属的化学气相沉积的方法,以及用于施加方法的装置
    • WO2012013824A1
    • 2012-02-02
    • PCT/EP2011/063255
    • 2011-08-01
    • DIAROTECHTELLEZ OLIVA, Horacio
    • TELLEZ OLIVA, Horacio
    • C23C16/27C23C16/52C23C16/30
    • H01L21/02527C23C16/27C23C16/278C23C16/30C23C16/52H01L21/02532
    • Procédé pour synthétiser par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) une matière, suivant lequel on crée dans une chambre sous vide un plasma au voisinage d'un substrat, et suivant lequel on introduit dans la chambre une substance porteuse de carbone et du H 2 afin de produire dans la chambre un gaz comprenant des substances porteuses d' atomes de carbone réactif sous forme de radicaux ou de molécule insaturée à partir desquels la synthèse de ladite matière sera réalisée, et en ce que les spectres électromagnétiques d'absorption et de diffusion inélastique de la matière solide à synthétiser sont utilisés pour prélever dans ces spectres les fréquences d'absorption qui contribuent aux réactions qui mènent à la formation de la matière solide à synthétiser, et en ce que l'on produit des rayons énergétiques sous forme d'un faisceau de photons porteur de quantités d'énergie déterminée par chacune des fréquences correspondant auxdites fréquences d'absorption et de diffusion élastique, lequel faisceau de photons est injecté dans le plasma où, pour des états énergétiques de la matière solide, une absorption de ces photons ayant l'énergie correspondant à ces états énergétiques est réalisée par ladite substance porteuse des atomes de carbone réactif.
    • 本发明涉及通过化学气相沉积(CVD)合成材料的方法,根据该方法,在真空室中的基底附近产生等离子体,根据该方法,将含有碳和H 2的物质引入室 为了在室中产生气体,所述气体包括含有自由基形式的反应性碳原子的物质或将进行合成所述材料的不饱和分子,其中固体的电磁吸收和非弹性散射光谱 将要合成的材料用于从所述光谱中收集有助于导致待合成的固体材料形成的反应的吸收频率,并且能量束以具有量的能量的光子束的形式产生, 所述能量由对应于所述吸收和弹性散射频率的每个频率预定,所述光子b eam被注入到等离子体中,其中,对于固体材料的能态,具有对应于所述能态的能量的所述光子被所述含有反应性碳原子的物质吸收。