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    • 7. 发明申请
    • 皮膜密着性に優れた表面被覆部品の製造方法
    • 用于生产表面覆盖组分的方法,具有优异的胶片粘合性
    • WO2009119269A1
    • 2009-10-01
    • PCT/JP2009/054075
    • 2009-03-04
    • 日立金属株式会社本多 史明井上 謙一
    • 本多 史明井上 謙一
    • C23C14/02C23C14/06C23C14/14
    • C23C14/024C23C14/027C23C14/0605F16J1/02F16J9/26
    •  硬質皮膜の密着性に優れた表面被覆部品の製造方法を提供する。  母材の表面に硬質の物理蒸着皮膜、好ましくは表面硬さが1000HV以上の硬質皮膜を被覆する表面被覆部品の製造方法において、該皮膜を被覆する前の母材には、アークイオンプレーティング法による金属イオンボンバード処理を行った後に、スパッタリング法による中間金属皮膜を被覆し、次いで表面層となる物理蒸着皮膜を被覆する表面被覆部品の製造方法である。前記の金属イオンボンバード処理の金属はチタンであること、そして前記の中間金属皮膜はチタンであることが望ましい。  そして、前記の物理蒸着皮膜は炭素皮膜であり、かつ該炭素皮膜と前記の中間金属皮膜との間には、炭素皮膜側に向かって前記の金属の含有率が漸減する金属と炭素の混合傾斜皮膜を被覆することが望ましい。更には、前記の炭素皮膜はダイヤモンドライクカーボンであることが好ましい。
    • 公开了一种具有优异的硬膜附着力的表面覆盖部件的制造方法。 制造方法包括在基材的表面上覆盖物理气相沉积的硬膜,优选表面硬度不小于1000HV的硬膜。 在覆盖膜之前的基材通过电弧离子电镀进行金属离子轰击处理。 此后,通过溅射覆盖中间金属膜,然后将物理气相沉积膜覆盖为表面层。 优选地,用于金属离子轰击处理的金属是钛,中间金属膜是钛。 优选地,物理气相沉积膜是碳膜,并且在碳膜和中间金属膜之间覆盖金属​​含量逐渐减少到碳膜侧的金属 - 碳混合物梯度膜。 此外,碳膜优选为类金刚石。