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1. 发明申请

WO2011157424A1 VORRICHTUNG ZUR KONTINUIERLICHEN PLASMABEHANDLUNG UND/ODER PLASMABESCHICHTUNG EINES MATERIALSTÜCKS 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR连续等离子体处理和/或等离子涂层补丁
公开(公告)号：WO2011157424A1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：PCT/EP2011/002971
申请日：2011-06-16
申请人： WPNLB UG (HAFTUNGSBESCHRÄNKT) & CO. KG , PALM, Peter
发明人： PALM, Peter
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/24
CPC分类号： H01J37/32348 , H01J37/32009 , H01J37/32568 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要： Eine Vorrichtung (10) zur kontinuierlichen Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung eines insbesondere bahn- oder plattenförmigen Materialstücks (12), umfasst eine auf einer ersten Seite (14) des Materialstücks (12) angeordnete Elektro denanordnung (24) und eine auf der anderen Seite (15) des Materialstücks (12) angeordnete Gegenelektrode (16), wobei mittels einer zwischen der Elektrodenanordnung (24) und der Gegenelektrode (16) anliegenden Hochspannung eine Plasmaentladung erzeugbar ist. Die Elektrodenanordnung (24) umfasst mindestens zwei Teilelektroden (13, 21), von denen mindestens eine als Barrierenelektrode (13) mit einem elektrisch leitfähigen Elektrodenkern (17) und einer dielektrischen Umhüllung (18) ausgeführt ist, wobei mittels einer zwischen den Teilelektroden (13, 21) angelegten Hochspannung eine weitere Plasmaentladung erzeugbar ist.
摘要翻译：连续等离子体处理和/或特定的或板形材料片（12）的等离子体涂覆列车的设备（10）包括上材料件的第一侧（14）（12），其设置在另一侧上的电气端部组件（24）和一个（材料件的布置15）（12）对电极（16），（通过的（电极组件24之间的装置）和对置电极之间施加16）的高电压时，产生等离子体放电。所述电极组件（24）包括至少两个子电极（13,21），其中的至少一种作为有导电电极芯（17）和一个电介质鞘（18）的阻挡电极（13），以通过的手段获得（子电极13之间，21施加）的高电压，可以产生另外的等离子体放电。

2. 发明申请

WO2011157425A1 VORRICHTUNG ZUR KONTINUIERLICHEN PLASMABEHANDLUNG UND/ODER PLASMABESCHICHTUNG EINES MATERIALSTÜCKS 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR连续等离子体处理和/或等离子涂层补丁
公开(公告)号：WO2011157425A1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：PCT/EP2011/002972
申请日：2011-06-16
申请人： WPNLB UG (HAFTUNGSBESCHRÄNKT) & CO. KG , PALM, Peter
发明人： PALM, Peter
IPC分类号： H01J37/32 , C23C16/503 , H05H1/24
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C16/503 , H01J37/32935 , H01J2237/332 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要： Eine Vorrichtung (10) zur kontinuierlichen Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung eines insbesondere bahn- oder plattenförmigen Materialstücks (12), umfasst mindestens eine auf einer Seite (14) des Materialstücks (12) angeordnete Barrierenelektrode (13) mit einem elektrisch leitfähigen Elektrodenkern (17) und einer dielektrischen Umhüllung (18), und eine auf der anderen Seite (15) des Materialstücks (12) angeordnete Gegenelektrode (16), so dass mittels einer zwischen der Barrierenelektrode (13) und der Gegenelektrode (16) angelegten Hochspannung eine Plasmaentladung erzeugbar ist. Auf der gleichen Seite (14) des Materialstücks (12) wie die Barrierenelektrode (13) ist mindestens eine elektrisch leitfähige Sonde (21) in einem relativ geringen Abstand zu der Barrierenelektrode (13) angeordnet.
摘要翻译：连续等离子体处理和/或一特别web的或板形材料片（12）的等离子涂层的设备（10）包括至少一个上的片材的一侧（14）有导电电极芯布置（12）阻挡电极（13）（17）排列和电介质鞘（18），并且在片材的另一侧（15）（12）对电极（16），使得通过的阻挡电极（13）和所施加的反电极之间的装置（16）的高电压，产生等离子体放电，在材料片（12）作为阻挡电极（13）的同一侧（14）是在从阻挡电极（13）在相对短的距离的至少一个导电性的探针（21）。

3. 发明申请

WO2007144075A1 ELEKTRODENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：电极装置
公开(公告)号：WO2007144075A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/EP2007/004851
申请日：2007-06-01
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖrster, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖrster, Frank
IPC分类号： H01T19/00
CPC分类号： H01T19/00
摘要： Offenbart wird eine Elektrodenanordnung (1) als Hochspannungselektrode für die kontinuierliche Plasmabehandlung oder Plasmabeschichtung von Bahnmaterial mit einer Mehrzahl von quer zu einer Transportrichtung des Bahnmaterials angeordneten, im wesentlichen parallel zueinander stehenden Messerelektroden (3) , die sich dadurch auszeichnet, dass die die Abstände (a-e) benachbarter Messerelektroden (3) unterschiedlich sind. In Versuchen hat sich herausgestellt, dass sich mit einer solchen Elektrodenanordnung ein gleichmäßigeres Beschichtungs- bzw. Behandlungsergebnis erzielen lässt als mit vergleichbaren Anordnungen, in denen die Messerelektroden äquidistant angeordnet sind. Bevorzugt sind die Abstände (a) benachbarter Messerelektroden (3) am Rand der Elektrodenanordnung (1) größer als die Abstände (e) benachbarter Messerelektroden (3) in deren Zentrum.
摘要翻译：电极组件（1），用于连续等离子体处理或片材的等离子涂层具有多个横向公开被布置成在材料纤维网的输送方向上的高电压电极的，基本上平行的固定叶片的电极（3），其特征在于，所述距离（AE ）相邻的叶片的电极（3）是不同的。在实验中已经发现，有可能获得更均匀的涂层或处理结果具有比可比的布置，其中刀电极等距离地设置这样的电极布置。的距离（a）中相邻的叶片的电极（3）在所述电极组件（1）的边缘优选地比相邻的叶片的电极（3）的在其中心的距离（e）中大。

4. 发明申请

WO2007016999A2 VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN ATMOSPHÄRENDRUCK PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN, INSBESONDERE MATERIALPLATTEN ODER -BAHNEN 审中-公开
标题翻译：方法用于工件，特别是材料板或网的不断大气压等离子体处理
公开(公告)号：WO2007016999A2
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/EP2006/005839
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. KG , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： Die Erfindung besteht in einem Verfahren zur kontinuierlichen Atmosphärendruck Plasmabehandlung von insbesondere elektrisch isolierenden Werkstücken, insbesondere Materialplatten oder -bahnen, wobei ein zu behandelndes Werkstück in einem Abstand unterhalb einer aus wenigstens zwei in Bewegungsrichtung unter Belassung eines Spaltes hintereinander angeordneten, sich quer zu der Bewegungsrichtung zumindest über die Breite der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes erstreckenden Barrierenelektroden bestehenden Elektrode angeordnet und die Elektrode und das Werkstück in einer Bewegungsrichtung relativ zueinander in Bewegung versetzt werden, wobei an die Barrierenelektroden eine Hochspannung in Form einer Wechselspannung angelegt wird, um zumindest in dem Spalt eine Plasmaentladung zu zünden und wobei mittels eines Gasstromes die Plasmaentladung aus dem Spalt in Richtung der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes getrieben wird, welches sich dadurch auszeichnet, dass der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes zugewandte Flächen der Barrierenelektroden mit der Hochspannung beaufschlagt werden.
摘要翻译：本发明包括用于在特定电绝缘工件连续大气压等离子处理的过程中，尤其是材料板或片材，其特征在于，待处理的连续布置在低于在移动方向的至少两个中的一个的距离的工件离开一个间隙，横向于运动的至少方向布置现有在工件表面的宽度延伸的阻挡电极电极与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，其中，高电压在交流电压的形式施加到所述阻挡电极被处理，至少在所述间隙中的等离子体放电点燃并且其中，从在所述从动工件表面成由气流，其特征在于，所述的装置进行处理的方向的间隙的等离子体放电阻挡电极的工件处理的表面的面对表面被施加有高电压。

5. 发明申请

WO2007000255A2 VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN ATMOSPHÄRENDRUCK PLASMABEHANDLUNG UND/ODER -BESCHICHTUNG VON WERKSTÜCKEN, INSBESONDERE MATERIALPLATTEN ODER -BAHNEN 审中-公开
标题翻译：方法对于连续大气压等离子体处理和/或涂层的工件，特别是材料板片或网
公开(公告)号：WO2007000255A2
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/EP2006/005838
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. KG , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： Mit der Erfindung wird ein Verfahren angegeben, mit welchem ein Werkstück auf einer den eine Plasmaentladung induzierenden Hochspannungselektroden abgewandten Seite einer Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder -entladung unterzogen werden kann. Dies ist ein Verfahren zur kontinuierlichen Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung von elektrisch isolierenden Werkstücken, insbesondere Materialplatten oder -bahnen, bei dem ein zu behandelndes Werkstück in einem Abstand unterhalb wenigstens einer sich quer zu der Bewegungsrichtung zumindest über die Breite der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes erstreckenden Hochspannungselektrode angeordnet und die Elektrode und das Werkstück in einer Bewegungsrichtung relativ zueinander in Bewegung versetzt werden, wobei an die Hochspannungselektrode eine Hochspannung, vorzugsweise in Form einer Wechselspannung, angelegt wird, welches sich dadurch auszeichnet, dass ein erster zwischen der Hochspannungselektrode und dem Werkstück gelegener Raum mit einer ersten Atmosphäre und dass ein zweiter auf der der Hochspannungselektrode abgewandten Seite des Werkstückes gelegener, an eine Rückseite desselben angrenzender Raum mit einer zweiten von der ersten Atmosphäre verschiedenen Atmosphäre gefüllt wird, wobei die Wahl der Hochspannung sowie der ersten und der zweiten Atmosphäre derart erfolgt, dass eine Plasmaentladung in der zweiten Atmosphäre zündet.
摘要翻译：通过本发明，提供了一种方法，利用该上从大气压等离子体处理和/或卸载背对所述等离子体放电感应高电压电极侧中的一个的工件可经受。这对于连续的大气压等离子体处理和/或电绝缘的工件的等离子涂层，特别是材料板或片材，其中，以在距离待处理的工件的至少一个横向下方移动的方向，至少在表面的宽度要处理的工件的过程布置延伸高压电极与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，是在高电压电极，高电压，优选施加交流电压的形式，其特征在于，第一位于高压电极和工件之间与第一气氛和该空间的第二上从位于其后侧相邻的空间与第二从所述第一气氛中的工件的高电压电极背向侧，重新各种气氛填充，该高电压的选择范围，所述第一和所述第二气氛中进行，使得等离子放电在所述第二气氛点燃。

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