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1. 发明申请

WO2007016999A3 METHOD FOR TREATING PLASMA UNDER CONTINUOUS ATMOSPHERIC PRESSURE OF WORK PIECES, IN PARTICULAR, MATERIAL PLATES OR STRIPS 审中-公开
标题翻译：方法用于工件，特别是材料板或网的不断大气压等离子体处理
公开(公告)号：WO2007016999A3
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/EP2006005839
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELEKTRONIK GMBH , PRINZ ECKHARD , PALM PETER , FOERSTER FRANK
发明人： PRINZ ECKHARD , PALM PETER , FOERSTER FRANK
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54 , H05H1/24
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： The invention relates to a method for treating plasma under continuous atmospheric pressure of, in particular, electrically insulating workpieces, in particular material plates or strips. According to said method, the workpiece which is to be machined, is arranged at a distance below at least one electrode which is made of two barrier electrodes, which are arranged in a successive manner in the direction of displacement with a gap, and which extends in a manner which is transversal to the direction of displacement at least over the width of the surface of the workpiece which is to be machined. The electrode and the workpiece are mutually offset in the direction of displacement. High voltage, which is in the form of an alternating voltage, is applied to the barrier electrodes, in order to provoke at least plasma discharge in the gap. The plasma discharge is driven by the gas flow from the gap in the direction of the surface of the workpiece which is to be machined. The invention is characterised in that the surfaces of the barrier electrodes which are oriented towards the surface of the workpiece which is to be machined are impinged upon with high pressure.
摘要翻译：本发明包括用于在特定电绝缘工件连续大气压等离子处理的过程中，尤其是材料板或片材，其特征在于，待处理的连续布置在低于在移动方向的至少两个中的一个的距离的工件离开一个间隙，横向于运动的至少方向布置现有在工件表面的宽度延伸的阻挡电极电极与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，其中，高电压在交流电压的形式施加到所述阻挡电极被处理，至少在所述间隙中的等离子体放电点燃并且其中，从在所述从动工件表面成由气流，其特征在于，所述的装置进行处理的方向的间隙的等离子体放电阻挡电极的工件处理的表面的面对表面被施加有高电压。

2. 发明申请

WO2007000255A3 METHOD FOR TREATING PLASMA AND/OR COVERING PLASMA OF WORKPIECES UNDER CONTINUOUS ATMOSPHERIC PRESSURE, IN PARTICULAR MATERIAL PLATES OR STRIPS 审中-公开
标题翻译：方法对于连续常压等离子体处理和/或覆盖工件
公开(公告)号：WO2007000255A3
公开(公告)日：2007-04-26
申请号：PCT/EP2006005838
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELEKTRONIK GMBH , PRINZ ECKHARD , PALM PETER , FOERSTER FRANK
发明人： PRINZ ECKHARD , PALM PETER , FOERSTER FRANK
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： The invention relates to a method, wherein a workpiece can be subjected to plasma treatment and/or plasma discharge under atmospheric pressure on one side which is oriented away from high voltage electrodes which induce plasma discharge. Said method is a method for treating plasma and or covering plasma under continuous atmospheric pressure of electrically insulating workpieces, in particular material plates or strips. According to said method, the workpiece, which is to be machined, is arranged at a distance below at least one high voltage electrode which extends in a transversal manner in the direction of movement, at least on the width of the surface of the work piece which is to be treated, and the electrode and the workpiece are offset in the direction of movement. The electrode is a high voltage electrode, preferably in the form of alternating voltage. The invention is characterised in that a first chamber, which is situated between the high voltage electrode and the work piece, is filled with a first atmosphere and that a second chamber, which is arranged on the side of the workpiece which is oriented away from the high voltage electrode, and adjacent to the rear side thereof, is filled with a second atmosphere which is different from the first. The high voltage, the first atmosphere and the second atmosphere are selected in such a manner that a plasma discharge is provoked in the second atmosphere.
摘要翻译：通过本发明，提供了一种方法，利用该上从大气压等离子体处理和/或卸载背对所述等离子体放电感应高电压电极侧中的一个的工件可经受。这是电绝缘的工件（3），在该工件将在下面与移动方向处理的至少一个横向（在距离至少在工件表面的宽度的连续大气压等离子处理和/或等离子体涂层延伸的高电压电极的待处理的处理 1）与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，是在高电压电极，高电压施加，其特征在于，第一位于高压电极和与第一气氛工件空间之间该第二上位于被填充在后侧具有第二方向上从所述第一气氛的气氛不同其邻近区域中，高电压母猪的选择工件的高电压电极侧相反的一侧即，第一和第二气氛中进行，使得等离子放电在所述第二气氛点燃。

3. 发明申请

WO2007016999A2 VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN ATMOSPHÄRENDRUCK PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN, INSBESONDERE MATERIALPLATTEN ODER -BAHNEN 审中-公开
标题翻译：方法用于工件，特别是材料板或网的不断大气压等离子体处理
公开(公告)号：WO2007016999A2
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：PCT/EP2006/005839
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. KG , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： Die Erfindung besteht in einem Verfahren zur kontinuierlichen Atmosphärendruck Plasmabehandlung von insbesondere elektrisch isolierenden Werkstücken, insbesondere Materialplatten oder -bahnen, wobei ein zu behandelndes Werkstück in einem Abstand unterhalb einer aus wenigstens zwei in Bewegungsrichtung unter Belassung eines Spaltes hintereinander angeordneten, sich quer zu der Bewegungsrichtung zumindest über die Breite der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes erstreckenden Barrierenelektroden bestehenden Elektrode angeordnet und die Elektrode und das Werkstück in einer Bewegungsrichtung relativ zueinander in Bewegung versetzt werden, wobei an die Barrierenelektroden eine Hochspannung in Form einer Wechselspannung angelegt wird, um zumindest in dem Spalt eine Plasmaentladung zu zünden und wobei mittels eines Gasstromes die Plasmaentladung aus dem Spalt in Richtung der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes getrieben wird, welches sich dadurch auszeichnet, dass der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes zugewandte Flächen der Barrierenelektroden mit der Hochspannung beaufschlagt werden.
摘要翻译：本发明包括用于在特定电绝缘工件连续大气压等离子处理的过程中，尤其是材料板或片材，其特征在于，待处理的连续布置在低于在移动方向的至少两个中的一个的距离的工件离开一个间隙，横向于运动的至少方向布置现有在工件表面的宽度延伸的阻挡电极电极与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，其中，高电压在交流电压的形式施加到所述阻挡电极被处理，至少在所述间隙中的等离子体放电点燃并且其中，从在所述从动工件表面成由气流，其特征在于，所述的装置进行处理的方向的间隙的等离子体放电阻挡电极的工件处理的表面的面对表面被施加有高电压。

4. 发明申请

WO2007000255A2 VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN ATMOSPHÄRENDRUCK PLASMABEHANDLUNG UND/ODER -BESCHICHTUNG VON WERKSTÜCKEN, INSBESONDERE MATERIALPLATTEN ODER -BAHNEN 审中-公开
标题翻译：方法对于连续大气压等离子体处理和/或涂层的工件，特别是材料板片或网
公开(公告)号：WO2007000255A2
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/EP2006/005838
申请日：2006-06-19
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. KG , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖRSTER, Frank
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/54
CPC分类号： H01J37/32348 , C23C16/50 , C23C16/545 , H05H1/2406 , H05H2001/2418 , H05H2001/2437
摘要： Mit der Erfindung wird ein Verfahren angegeben, mit welchem ein Werkstück auf einer den eine Plasmaentladung induzierenden Hochspannungselektroden abgewandten Seite einer Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder -entladung unterzogen werden kann. Dies ist ein Verfahren zur kontinuierlichen Atmosphärendruck Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung von elektrisch isolierenden Werkstücken, insbesondere Materialplatten oder -bahnen, bei dem ein zu behandelndes Werkstück in einem Abstand unterhalb wenigstens einer sich quer zu der Bewegungsrichtung zumindest über die Breite der zu behandelnden Oberfläche des Werkstückes erstreckenden Hochspannungselektrode angeordnet und die Elektrode und das Werkstück in einer Bewegungsrichtung relativ zueinander in Bewegung versetzt werden, wobei an die Hochspannungselektrode eine Hochspannung, vorzugsweise in Form einer Wechselspannung, angelegt wird, welches sich dadurch auszeichnet, dass ein erster zwischen der Hochspannungselektrode und dem Werkstück gelegener Raum mit einer ersten Atmosphäre und dass ein zweiter auf der der Hochspannungselektrode abgewandten Seite des Werkstückes gelegener, an eine Rückseite desselben angrenzender Raum mit einer zweiten von der ersten Atmosphäre verschiedenen Atmosphäre gefüllt wird, wobei die Wahl der Hochspannung sowie der ersten und der zweiten Atmosphäre derart erfolgt, dass eine Plasmaentladung in der zweiten Atmosphäre zündet.
摘要翻译：通过本发明，提供了一种方法，利用该上从大气压等离子体处理和/或卸载背对所述等离子体放电感应高电压电极侧中的一个的工件可经受。这对于连续的大气压等离子体处理和/或电绝缘的工件的等离子涂层，特别是材料板或片材，其中，以在距离待处理的工件的至少一个横向下方移动的方向，至少在表面的宽度要处理的工件的过程布置延伸高压电极与电极和工件的相对运动被设置为彼此在运动方向，是在高电压电极，高电压，优选施加交流电压的形式，其特征在于，第一位于高压电极和工件之间与第一气氛和该空间的第二上从位于其后侧相邻的空间与第二从所述第一气氛中的工件的高电压电极背向侧，重新各种气氛填充，该高电压的选择范围，所述第一和所述第二气氛中进行，使得等离子放电在所述第二气氛点燃。

5. 发明申请

WO2007144075A1 ELEKTRODENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：电极装置
公开(公告)号：WO2007144075A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/EP2007/004851
申请日：2007-06-01
申请人： SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO. , PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖrster, Frank
发明人： PRINZ, Eckhard , PALM, Peter , FÖrster, Frank
IPC分类号： H01T19/00
CPC分类号： H01T19/00
摘要： Offenbart wird eine Elektrodenanordnung (1) als Hochspannungselektrode für die kontinuierliche Plasmabehandlung oder Plasmabeschichtung von Bahnmaterial mit einer Mehrzahl von quer zu einer Transportrichtung des Bahnmaterials angeordneten, im wesentlichen parallel zueinander stehenden Messerelektroden (3) , die sich dadurch auszeichnet, dass die die Abstände (a-e) benachbarter Messerelektroden (3) unterschiedlich sind. In Versuchen hat sich herausgestellt, dass sich mit einer solchen Elektrodenanordnung ein gleichmäßigeres Beschichtungs- bzw. Behandlungsergebnis erzielen lässt als mit vergleichbaren Anordnungen, in denen die Messerelektroden äquidistant angeordnet sind. Bevorzugt sind die Abstände (a) benachbarter Messerelektroden (3) am Rand der Elektrodenanordnung (1) größer als die Abstände (e) benachbarter Messerelektroden (3) in deren Zentrum.
摘要翻译：电极组件（1），用于连续等离子体处理或片材的等离子涂层具有多个横向公开被布置成在材料纤维网的输送方向上的高电压电极的，基本上平行的固定叶片的电极（3），其特征在于，所述距离（AE ）相邻的叶片的电极（3）是不同的。在实验中已经发现，有可能获得更均匀的涂层或处理结果具有比可比的布置，其中刀电极等距离地设置这样的电极布置。的距离（a）中相邻的叶片的电极（3）在所述电极组件（1）的边缘优选地比相邻的叶片的电极（3）的在其中心的距离（e）中大。

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