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1. 发明申请

WO2015186736A1 ローラ式加圧装置、インプリント装置およびローラ式加圧方法审中-公开
标题翻译：辊式加压装置，印刷装置和辊式加压方法
公开(公告)号：WO2015186736A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/JP2015/066026
申请日：2015-06-03
申请人： SCIVAX株式会社
发明人：河口宏輔 , 谷口豊 , 田中覚 , 齋藤幸正 , 杉山正樹 , 的野大輔
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/04
CPC分类号： B29C59/022 , B29C59/002 , B29C59/04 , B29C2059/023 , H01L21/027
摘要：　メインローラに生じる弾性変形のむらを抑制することができ、対象物を均一に加圧することができるローラ式加圧装置、インプリント装置及びローラ式加圧方法を提供する。型１と被成形物２のような対象物を加圧するためのものであって、少なくとも表面が弾性部材37aで形成され、対象物を加圧するメインローラ37と、メインローラ37を対象物に対して相対的に移動するためのローラ移動手段と、メインローラ37が対象物に加える圧力を調節する調圧部と、メインローラ37の圧力を、対象物を間に挟んで受ける受圧ステージ322と、少なくとも表面が弾性部材37aより弾性率の大きい部材で形成され、メインローラ37を支持する中間ローラ38と、メインローラ37及び中間ローラ38より軸方向の長さが短く形成され、中間ローラ38を支持するバックアップローラ39と、で構成される。
摘要翻译：提供了一种辊式加压装置，其中可以使主辊的弹性变形的不均匀性最小化并且使被检体均匀地加压; 印记装置; 和辊式加压方法。本发明用于对诸如模具（1）和模制品（2）的对象进行加压，包括：主辊（37），用于按压对象，至少主辊（37）的表面由弹性构件（37a）; 用于使主辊（37）相对于被检体移动的滚子移动装置; 压力调节单元，用于调节由主辊（37）施加到被检体的压力; 压力接收台（322），用于从主辊（37）接收通过被检体的压力; 用于支撑主辊（37）的中间辊（38）至少由中间辊（38）的表面由弹性模量高于弹性部件（37a）的材料形成。以及用于支撑中间辊（38）的支撑辊（39），所述支撑辊（39）的轴向长度小于主辊（37）和中间辊（38）的轴向长度。

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