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1. 发明申请

WO2007115914A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS 审中-公开
标题翻译：用于生产微机械结构
公开(公告)号：WO2007115914A1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：PCT/EP2007/052705
申请日：2007-03-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , WEISS, Stefan , ULBRICH, Nicolaus , SCHLOSSER, Roman
发明人： WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , WEISS, Stefan , ULBRICH, Nicolaus , SCHLOSSER, Roman
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： B81C1/00158 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R2410/00
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das Bauelement (10) eine Membran (11) , eine feststehende Platte (7) mit mindestens einer Durchgangsöffnung (9) und einen Hohlraum (12) zwischen der Membran (11) und der Platte (7) aufweisen soll. Die Membran (11) wird in einem Schichtaufbau (2) über einem Substrat (1) realisiert, und die Platte (7) wird aus dem Substrat (1) herausstrukturiert, wobei von der Rückseite des Bauelements (10) ausgehend eine Kaverne (6) im Substrat (1) erzeugt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ist einfach zu realisieren und ermöglicht eine präzise Strukturierung der Durchgangsöffnungen (9) in der Platte (7) unabhängig von etwaigen Durchgangsöffnungen in der Membran (11). Dazu wird zumindest der die Rückseite der Platte (7) bildende Boden der Kaverne (6) mit mindestens einer Maskierschicht (8) versehen, die zum Erzeugen der mindestens einen Durchgangsöffnung (9) strukturiert wird. Dann wird das Substratmaterial im Bereich der Durchgangsöffnung (9) von der Rückseite der Platte (7) ausgehend entfernt.
摘要翻译：它提出了一种方法，用于与至少一个通孔制造微机械部件，其中所述装置（10）包括一个膜片（11），固定板（7）（9）和所述膜（11）和之间的空腔（12）板（7）的目的是有。所述膜（11）在一个基片上的层结构（2）被实现（1）和从基板（1）的板（7），其中，从所述装置（10）的后侧从空腔图案化时，（6）（1）在衬底中生成的。本发明的方法是简单地实现并使得能够通过所述板的孔（9）（7）独立于任何通过在所述膜（11）的孔的精确图案化。为此目的，至少具有至少一个掩模层（8）形成（7）设置在所述板，其被构造成产生所述至少一个通道开口（9）的背面的空腔（6）的底部。然后，在板（7）的背面的通孔（9）的区域中的基片材料，在开始移除。

2. 发明申请

WO2007131836A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：用于生产微机械结构和微机械部件
公开(公告)号：WO2007131836A1
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/EP2007/053221
申请日：2007-04-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , SCHLOSSER, Roman
发明人： WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , SCHLOSSER, Roman
IPC分类号： B81C1/00 , H04R19/04
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , H04R19/04 , Y10T428/24802
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere ein Mikrofon, ein Mikrolautsprecher oder ein Drucksensor (Absolut- oder Relativdrucksensor), mit einem Substrat und mit einer Membranstruktur vorgeschlagen, wobei zur Herstellung der Membranstruktur lediglich mit einer in oder auf dem Substrat monolithisch integrierten Schaltung kompatible Prozessschritte vorgesehen sind, wobei zur Herstellung der Membranstruktur eine auf das Substrat aufgebrachte Opferstruktur entfernt wird.
摘要翻译：它是用于制造微机械部件和一个微机械部件，尤其是麦克风，微型扬声器，或压力传感器（绝对或相对压力传感器），提出了包括衬底和膜结构，其特征在于，用于生产该膜结构的仅具有一个的方法中或上提供单片集成电路兼容的工艺步骤的基材，具有施加到基材牺牲结构的涂层被去除，以使膜结构。

3. 发明申请

WO2007062975A1 MIKROMECHANISCHE STRUKTUR ZUM EMPFANG UND/ODER ZUR ERZEUGUNG VON AKUSTISCHEN SIGNALEN, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR UND VERWENDUNG EINER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR 审中-公开
标题翻译：微机械结构，用于接收和/或用于产生声音信号，一种用于生产微机械结构和使用微机械结构
公开(公告)号：WO2007062975A1
公开(公告)日：2007-06-07
申请号：PCT/EP2006/068419
申请日：2006-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FISCHER, Frank , SCHELLING, Christoph , WEISS, Stefan , SCHLOSSER, Roman
发明人： FISCHER, Frank , SCHELLING, Christoph , WEISS, Stefan , SCHLOSSER, Roman
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005
摘要： Es wird eine mikromechanische Struktur, ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur und eine Verwendung einer mikromechanischen Struktur vorgeschlagen, wobei die mikromechanische Struktur zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen in einem die Struktur zumindest teilweise umgebenden Medium vorgesehen ist, wobei die Struktur ein erste Öffnungen aufweisendes und im wesentlichen eine erste Seite der Struktur bildendes erstes Gegenelement aufweist, dass die Struktur ferner ein zweite Öffnungen aufweisendes und im wesentlichen eine zweite Seite der Struktur bildendes zweites Gegenelement aufweist und dass die Struktur eine im wesentlichen geschlossene und zwischen dem ersten Gegenelement und dem zweiten Gegenelement angeordnete Membran aufweist.
摘要翻译：它提出了一种微机械结构，用于制造微机械结构的方法，以及使用的微机械结构，其特征在于，微机械结构，用于接收和/或产生在一个结构的声学信号提供了至少部分地包围介质，其特征在于，所述结构是表现出第一开口并且基本上形成第一计数元件的结构的第一侧上，在该结构还表现出一个第二开口，并且基本上形成第二计数元件的结构的第二侧，并且所述结构是大致封闭的，并且第一配合件之间，并已经布置在所述第二计数元件膜。

4. 发明申请

WO2006087045A1 MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRAN 审中-公开
标题翻译：采用双锥形微机械膜片传感器
公开(公告)号：WO2006087045A1
公开(公告)日：2006-08-24
申请号：PCT/EP2005/057023
申请日：2005-12-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
发明人： ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81C1/00476 , B81C2201/0109 , B81C2201/053
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Membransensors bzw. einen mit dem Verfahren hergestellten mikromechanischen Membransensor. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor einen ersten Hohlraum und einen im Wesentlichen über dem ersten Hohlraum liegenden zweiten Hohlraum aufweist.
摘要翻译：本发明描述了一种用于制造微机械膜型传感器或通过该方法制备的微机械膜型传感器的方法。它提供了微机械膜型传感器具有至少一个第一膜和一个基本上覆盖所述第一膜第二膜。它进一步提供的是微机械膜型传感器具有第一腔体和基本上高于所述第一空腔第二空腔。

5. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

6. 发明申请

WO2009124609A1 UMLENKEINRICHTUNG FÜR EINEN STRAHL EINER ELEKTROMAGNETISCHEN WELLE 审中-公开
标题翻译：偏转电磁波一缕
公开(公告)号：WO2009124609A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066713
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Umlenkeinrichtung für den Strahl einer elektromagnetischen Welle mit zwei kaskadierten Reflektionselementen (1, 2), die einzeln in unterschiedlichen Richtungen gesteuert schwenkbar sind, wobei die Reflektionsflächen (3, 4) mit Abstand einander gegenüber liegen und einander zugewandt sind. Damit werden weitere Reflektionselemente überflüssig und es kann eine geringe Baugröße erreicht werden.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转装置用于电磁波的具有两个级联的反射元件的光束（1,2），它们在不同的方向分别控制可以枢转，其中，所述反射表面（3,4）由远彼此相对且彼此面对。以便进一步反射元件是不必要的，并且它可以是一个小的尺寸就可以实现。

7. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

8. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

9. 发明申请

WO2009127273A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构和微机械结构
公开(公告)号：WO2009127273A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066715
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00007 , B81B2201/032 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/019 , B81C1/00142 , B81C2201/017
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) mit den Schritten: Bilden einer ersten Elektrodeneinheit (14) in einer ersten Stellung zu einem Grundsubstrat (16); Bilden eines Stützelements (22) mit einer ersten Untereinheit (23,28,30) mit einer ersten EigenSpannung und einer zweiten Untereinheit (23,28,30) mit einer von der ersten Eigenspannung abweichenden zweiten Eigenspannung, wobei das Stützelement (22) an einem ersten Ende an der ersten Elektrodeneinheit (14) und an einem zweiten Ende an dem Grundsubstrat (16) befestigt ist; und Biegen des Stützelements (22) aufgrund einer Differenz zwischen der ersten Eigenspannung und der zweiten Eigenspannung, wobei aufgrund des Biegens des Stützelements (22) die erste Elektrodeneinheit (14) aus der ersten Stellung zu dem Grundsubstrat (16) in eine zweite Stellung zu dem Grundsubstrat (16) verstellt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22）第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲基底基板（16）被调整。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

10. 发明申请

WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A2
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/065575
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

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