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1. 发明申请

WO2010108712A1 VORRICHTUNG ZUM RESONANTEN ANTREIBEN EINES MIKROMECHANISCHEN SYSTEMS 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR共振驱动微机械系统
公开(公告)号：WO2010108712A1
公开(公告)日：2010-09-30
申请号：PCT/EP2010/051008
申请日：2010-01-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel , FREUND, Frank , MEISEL, Daniel Christoph
发明人： FRANKE, Axel , FREUND, Frank , MEISEL, Daniel Christoph
IPC分类号： G01C19/56 , G02B26/08
CPC分类号： G01C19/5755
摘要： Es wird eine Vorrichtung zum resonanten Antreiben eines mikromechanischen Systems vorgeschlagen, welche zumindest eine federschwingungsgelagerte seismische Masse, zumindest einen Antrieb zum Antreiben einer Schwingung der seismischen Masse und zumindest ein mit der seismischen Masse bewegungsgekoppeltes Element umfasst. Ferner umfasst die Vorrichtung zumindest ein Detektionselement zum Detektieren eines mit der Schwingung der seismischen Masse veränderlichen Relationsparameters zwischen bewegungsgekoppeltem Element und Detektionselement, wobei das Detektionselement eingerichtet ist, bei Erreichen eines vorbestimmten Wertes des Relationsparameters eine Unterbrechung des Schwingungsantriebs zu verursachen.
摘要翻译：它提出了一种用于驱动包括用于驱动所述振动质量的振荡和至少一个运动耦合到所述振动质量元件的至少一个弹簧安装振动振动质量，至少一个驱动器的共振微机械系统的装置。此外，所述装置包括至少一个检测元件用于检测与bewegungsgekoppeltem元件和检测元件之间振动质量关系参数的振动的变量，所述检测元件被布置在到达关系参数的预定值，以使所述振动致动器的中断。

2. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

3. 发明申请

WO2010124889A2 MESSELEMENT 审中-公开
标题翻译：测量元件
公开(公告)号：WO2010124889A2
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/EP2010/052527
申请日：2010-03-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel
发明人： FRANKE, Axel
IPC分类号： G01D5/241
CPC分类号： G01D5/2412 , H01L29/84
摘要： Ein Messelement zur Aufnahme einer Auslenkung umfasst einen auf einem Halbleitersubstrat angeordneten Bereich und eine Elektrode zur Beeinflussung einer Leitfähigkeit des Bereichs, wobei die Elektrode bezüglich dem Bereich derart auslenkbar angebracht ist, dass sich zwischen der Elektrode und dem Bereich ein Überlappungsbereich ergibt, der eine mit einer Auslenkung der Elektrode veränderliche Ausdehnung aufweist. Eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements hängt von der Leitfähigkeit des Bereichs ab und ist durch eine Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs steuerbar, wobei die Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht, so dass eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht.
摘要翻译：用于接收的位移的测量元件包括设置在半导体衬底区域和用于影响区域的导电性的电极，其中所述电极被安装在这样的偏转相对于在所述电极和重叠区域的一个区域，一个之间建立的区域具有电极变程度的偏转。所述感测元件的输出信号的变化依赖于该范围的导电性和是通过在重叠区域的程度上的改变，其中，在所述重叠区域的程度的变化是与偏转电极的非线性关系可控的，使得测量元件的输出信号的变化是在与电极的偏转的非线性关系。

4. 发明申请

WO2010054875A1 ANORDNUNG VON MINDESTENS ZWEI WAFERN MIT EINER BONDVERBINDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN ANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：至少两个晶片与制造这种布置的键合连接和方法安排
公开(公告)号：WO2010054875A1
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：PCT/EP2009/061832
申请日：2009-09-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando
发明人： FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando
IPC分类号： H01L25/065 , H01L21/98 , H01L23/10 , B81C1/00
CPC分类号： H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L2224/0401 , H01L2224/0558 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/29011 , H01L2224/73103 , H01L2224/73203 , H01L2224/83805 , H01L2225/0652 , H01L2225/06524 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/163 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2924/00012
摘要： Es wird eine Anordnung von mindestens zwei Wafern (1; 4) beschrieben, wobei ein erster Wafer (1) und ein zweiter Wafer (4) durch eine Bondverbindung miteinander verbunden sind. Weiter wird ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung vorgeschlagen, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: a) Aufbringen eines ersten Bondmaterials (3) auf einem ersten Wafer (1), wobei als das erste Bondmaterial (3) Aluminium (AI) oder eine Aluminiumlegierung ausgewählt wird, b) Aufbringen eines zweiten Bondmaterials (6) auf einem zweiten Wafer (4), wobei als das zweite Bondmaterial Gold (Au) ausgewählt wird, und c) Durchführen eines Bondprozesses, wobei das erste (3) und das zweite Bondmaterial (6) miteinander verbunden werden zur Erreichung einer Wafer- to-Wafer Bondverbindung.
摘要翻译：存在至少两个晶片的阵列;所描述的，其中的第一晶片（1）和第二晶片（4）由相互连接的键（4：1）。此外，提出了一种用于制造这种装置的方法，该方法包括以下步骤：a）第一晶片（1），其中，作为第一接合材料（3）铝（Al）或铝合金上施加第一结合材料（3）被选择，b）第二晶片（4）上施加第二结合材料（6），使用作为第二接合材料金（Au）中选择，和c）进行接合处理，（其中，所述第一（3）和所述第二接合材料 6）被连接到彼此，以实现晶片到晶片键合。

5. 发明申请

WO2010034650A2 KONTAKTANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG EINER BEABSTANDETEN, ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN VERBINDUNG ZWISCHEN MIKROSTRUKTURIERTEN BAUTEILEN 审中-公开
标题翻译：联系安排用于生产之间的微结构化组件的间隔，导电连接
公开(公告)号：WO2010034650A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/061921
申请日：2009-09-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , GOTTFRIED, Knut , WIEMER, Maik , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja , FROEMEL, Joerg
发明人： GOTTFRIED, Knut , WIEMER, Maik , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja , FROEMEL, Joerg
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00238 , B81B2207/012 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/038 , H01L24/94 , H01L2224/81801 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01049 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2224/13099 , H01L2224/13599 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099 , H01L2224/29099 , H01L2224/29599 , H01L2924/00
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kontaktanordnung (3a, 3b) zur Herstellung einer beabstandeten, elektrisch leitfähigen und vorzugsweise hermetischen Verbindung zwischen einem ersten Wafer (1) und einem zweiten Wafer (4), wobei die Kontaktanordnung (3a, 3b) einen elektrischen Anschlusskontakt (30), eine Passivierungsschicht (31) auf dem Anschlusskontakt (30) und eine auf der Passivierungsschicht (31) angeordnete dielektrische Abstandsschicht (32) umfasst und wobei die Kontaktanordnung (3a, 3b) zumindest auf einem der Wafer (1, 4) angeordnet ist. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktanordnung (3a, 3b) mit einem ersten zur Ausbildung einer Metall-Metall-Verbindung befähigten Material (33, 36) zumindest teilweise gefüllte Gräben (34) umfasst, wobei die Gräben (34) durchgehende Gräben von der Abstandsschicht (32) durch die Passivierungsschicht (31) hindurch bis zum Anschlusskontakt (30) sind und dass das erste Material (33, 36) in den Gräben (34) vom Anschlusskontakt (30) bis zum oberen Rand der Gräbe angeordnet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种接触装置（3A，3B），用于产生第一晶片（1）和第二晶片（4）之间的间隔，导电的，并且最好是气密的连接，其中，所述接触装置（3A，3B）（电端子接触件30 排列），在所述连接接点（30）和一个（在钝化层31）介质隔离层（32），并且其中，所述接触装置上的钝化层（31）（3A，3B）被布置在至少在晶片上的一个（1，4）。它的特征在于，所述接触装置（3A，3B），其具有第一能形成金属对金属的接合材料（33，36）的至少部分地填充的沟槽（34），其中，所述沟槽（34）的连续槽通过向所述终端（30），并且在从所述连接触头（30）的沟槽（34），第一材料（33，36）间隔层（32）穿过钝化层（31）被布置成在Gräbe的上边缘。

6. 发明申请

WO2009059639A1 DREHRATENSENSOR MIT ZWEI SENSITIVEN ACHSEN 审中-公开
标题翻译：与两个敏感轴的旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009059639A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/EP2007/062073
申请日：2007-11-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit einem Substrat (10), einem Lager (20), einer an dem Lager (20) mittels Federn (30) drehbeweglich zur Ausführung einer planaren Antriebsschwingungsbewegung aufgehängten Schwingstruktur (40) und Antriebsmitteln zum Erzeugen der planaren Antriebsschwingungsbewegung der Schwingstruktur (40). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Drehratensensor erste Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer ersten Drehachse und zweite Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer zweiten Drehachse aufweist.
摘要翻译：本发明是基于在具有通过弹簧的基板（10），轴承（20），一个在轴承（20）（30）可旋转地悬挂用于进行平面驱动振荡运动的振荡结构（40），横摆率传感器和驱动装置，用于产生面状驱动振动运动的振动结构（40）。本发明的实质是，旋转速度传感器，其包括第一评估装置，用于在第一旋转轴线和第二评估检测旋转装置，用于以第二旋转轴检测旋转。

7. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

8. 发明申请

WO2009043738A2 SENSORELEMENT 审中-公开
标题翻译：传感器元件
公开(公告)号：WO2009043738A2
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/EP2008/062525
申请日：2008-09-19
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ZOELLIN, Jochen , FRANKE, Axel , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
发明人： ZOELLIN, Jochen , FRANKE, Axel , TEEFFELEN, Kathrin , LEINENBACH, Christina
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084
摘要： Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Sensorelement zum Erfassen von Beschleunigungen in drei Raumrichtungen vorgeschlagen, das zuverlässige Messergebnisse liefert und sich zudem in kleiner Bauform und kostengünstig realisieren lässt. Das Sensorelement (10) umfasst mindestens eine in drei Raumrichtungen auslenkbare seismischen Masse (11), eine Membranstruktur (12), die als Aufhängung für die seismische Masse (11) fungiert, und mindestens eine feststehende Gegenelektrode (15) zum kapazitiven Erfassen der Auslenkungen der Membranstruktur (12). Erfindungsgemäß umfasst die Membranstruktur (12) mindestens vier elektrisch voneinander getrennte Elektrodenbereiche (14a bis 14d), die über die seismische Masse (11) mechanisch gekoppelt sind.
摘要翻译：利用本发明，用于检测在空间的三个方向的加速度的传感器元件，所以建议提供可靠的结果，并且还可以在小尺寸和便宜的实现。所述传感器元件（10）包括至少一个可偏转的三个空间方向上振动质量（11），膜结构（12），其功能是作为悬浮液的振动质量（11），和至少一个固定的反电极（15）用于电容感测的偏转膜结构（12）。根据本发明的膜结构（12）包括机械地联接到所述振动质量（11）的至少四个电隔离的电极区域（14a至14d）。

9. 发明申请

WO2007020115A1 HEIßFILMLUFTMASSENMESSER MIT FREQUENZMODULIERTER SIGNALERFASSUNG 审中-公开
标题翻译：与调频信号检测热膜式空气质量计
公开(公告)号：WO2007020115A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/EP2006/063120
申请日：2006-06-13
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , OPITZ, Bernhard , WAGNER, Ulrich , RAUDZIS, Carsten , FRANKE, Axel
发明人： OPITZ, Bernhard , WAGNER, Ulrich , RAUDZIS, Carsten , FRANKE, Axel
IPC分类号： G01F1/698
CPC分类号： G01F1/6986 , G01F1/6845 , G01F1/692
摘要： Es wird ein Verfahren zur Messung eines mit einer Hauptströmungsrichtung (120) strömenden Luftmassenstroms vorgeschlagen sowie ein HeißfÊlmluftmassenmesser (110), mit welchem das erfindungsgemäße Verfahren realisiert werden kann. Das Verfahren und der HeißfÊlmluftmas- senmesser (110) sind insbesondere zum Einsatz im Ansaugtrakt einer Verbrennungskraftmaschi¬ ne geeignet. Der HeißfÊlmluftmassenmesser (110) weist einen Sensorchip (112) mit einer vom Luftmassenstrom überströmbaren Chipoberfläche auf. Die Chipoberfläche weist wiederum eine Messoberfläche (118) auf, wobei die Messoberfläche (118) eine zentrale Heißfilmluftmassenmes- serschaltung (122) mit mindestens einem zentralen Heizelement (124) und mindestens zwei Tem- peraturfühlern (126, 128) aufweist. Das Verfahren wird derart durchgeführt, dass das mindestens eine zentrale Heizelement (124) mit einer Frequenz ω periodisch aufgeheizt wird. Mittels der mindestens zwei Temperaturfühler (126, 128) werden mindestens zwei Messsignale (142, 144) erfasst. Die Messsignale (142, 144) und/oder mindestens ein Differenzsignal der mindestens zwei Messsignale (142, 144) werden mit der Frequenz ω demoduliert.
摘要翻译：它是用于测量一个与所提出流动的空气质量流量和与能够实现本发明方法的HeißfÊlmluftmassenmesser（110）的主流动方向（120）的方法。该方法和HeißfÊlmluftmas-senmesser（110）尤其是用于在合适的Verbrennungskraftmaschi¬NE的进气道使用。所述HeißfÊlmluftmassenmesser（110）包括具有überströmbaren的空气质量流芯片表面的传感器芯片（112）。进而，切屑表面包括一个测量表面（118），其中所述测量表面（118）serschaltung一个Heißfilmluftmassenmes-中央（122）具有至少一个中心加热元件（124）和至少两个TEM-peraturfühlern（126，128）。的处理被执行，使得所述至少一个中心加热元件（124）具有频率？被周期性地加热。由所述至少两个温度传感器（126，128）的装置是至少两个测量信号（142，144）被检测到。测量信号（142，144）和/或所述至少两个测量信号（142，144）是在频率中的至少一个差信号？解调。

10. 发明申请

WO2012076223A3 MIKROELEKTROMECHANISCHES SENSORMODUL SOWIE ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2012076223A3
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/EP2011/068003
申请日：2011-10-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
发明人： PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
IPC分类号： H01L25/16 , G01C19/56
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches Sensormodul. Das mikroelektromechanische Sensormodul umfasst Sensiermittel zur Messung einer Beschleunigung, Druck, Luftfeuchtigkeit oder dergleichen, ein Steuerungsmittel zur Steuerung der Sensiermittel, Energieversorgungsmittel zur Energieversorgung des Sensormoduls sowie Übertragungsmittel zur Übertragung von Signalen des Sensiermittels wobei zumindest drei der Mittel auf Chipebene jeweils in zumindest einem Chip integriert sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Sensormoduls.

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