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1. 发明申请

WO2010034650A2 KONTAKTANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG EINER BEABSTANDETEN, ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN VERBINDUNG ZWISCHEN MIKROSTRUKTURIERTEN BAUTEILEN 审中-公开
标题翻译：联系安排用于生产之间的微结构化组件的间隔，导电连接
公开(公告)号：WO2010034650A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/061921
申请日：2009-09-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , GOTTFRIED, Knut , WIEMER, Maik , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja , FROEMEL, Joerg
发明人： GOTTFRIED, Knut , WIEMER, Maik , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja , FROEMEL, Joerg
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00238 , B81B2207/012 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , B81C2203/038 , H01L24/94 , H01L2224/81801 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01049 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2224/13099 , H01L2224/13599 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099 , H01L2224/29099 , H01L2224/29599 , H01L2924/00
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kontaktanordnung (3a, 3b) zur Herstellung einer beabstandeten, elektrisch leitfähigen und vorzugsweise hermetischen Verbindung zwischen einem ersten Wafer (1) und einem zweiten Wafer (4), wobei die Kontaktanordnung (3a, 3b) einen elektrischen Anschlusskontakt (30), eine Passivierungsschicht (31) auf dem Anschlusskontakt (30) und eine auf der Passivierungsschicht (31) angeordnete dielektrische Abstandsschicht (32) umfasst und wobei die Kontaktanordnung (3a, 3b) zumindest auf einem der Wafer (1, 4) angeordnet ist. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktanordnung (3a, 3b) mit einem ersten zur Ausbildung einer Metall-Metall-Verbindung befähigten Material (33, 36) zumindest teilweise gefüllte Gräben (34) umfasst, wobei die Gräben (34) durchgehende Gräben von der Abstandsschicht (32) durch die Passivierungsschicht (31) hindurch bis zum Anschlusskontakt (30) sind und dass das erste Material (33, 36) in den Gräben (34) vom Anschlusskontakt (30) bis zum oberen Rand der Gräbe angeordnet ist.
摘要翻译：本发明涉及一种接触装置（3A，3B），用于产生第一晶片（1）和第二晶片（4）之间的间隔，导电的，并且最好是气密的连接，其中，所述接触装置（3A，3B）（电端子接触件30 排列），在所述连接接点（30）和一个（在钝化层31）介质隔离层（32），并且其中，所述接触装置上的钝化层（31）（3A，3B）被布置在至少在晶片上的一个（1，4）。它的特征在于，所述接触装置（3A，3B），其具有第一能形成金属对金属的接合材料（33，36）的至少部分地填充的沟槽（34），其中，所述沟槽（34）的连续槽通过向所述终端（30），并且在从所述连接触头（30）的沟槽（34），第一材料（33，36）间隔层（32）穿过钝化层（31）被布置成在Gräbe的上边缘。

2. 发明申请

WO2009049958A2 VERBUND AUS MINDESTENS ZWEI HALBLEITERSUBSTRATEN SOWIE HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译： COMPOSITE至少两个半导体基板和制作工艺
公开(公告)号：WO2009049958A2
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：PCT/EP2008/061550
申请日：2008-09-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja
发明人： FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando , KNIES, Sonja
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00238 , B81C2201/019 , B81C2203/036
摘要： Die Erfindung betrifft einen Verbund (1) aus einem ersten, mindestens ein MEMS-Bauelement (2) aufweisenden Halbleiter substrat (1) und mindestens einem zweiten Halbleitersub strat (4), wobei mindestens eine Germanium enthaltende Schicht (6) eutektisch mit mindestens einer Aluminium enthaltenden Schicht (3) verbunden ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Aluminium enthaltende Schicht (3) auf dem ersten Halbleitersubstrat (1) und die Germanium enthaltende Schicht (6) auf dem zweiten Halbleitersubstrat (4) vorgesehen ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein Verbund (1).
摘要翻译：本发明涉及从第一，至少一个MEMS装置的复合物（1）（2），其具有半导体基板（1）和至少一个第二Halbleitersub STRAT（4），至少一种含锗层（6）具有至少一个铝的共晶含层（3）连接。根据本发明，包含所述第一半导体衬底（1）上的含铝层（3）和第二半导体基板（4）上的锗层（6）被提供。此外，本发明涉及一种复合材料（1）的制造方法。

3. 发明申请

WO2010054875A1 ANORDNUNG VON MINDESTENS ZWEI WAFERN MIT EINER BONDVERBINDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN ANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：至少两个晶片与制造这种布置的键合连接和方法安排
公开(公告)号：WO2010054875A1
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：PCT/EP2009/061832
申请日：2009-09-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando
发明人： FRANKE, Axel , TRAUTMANN, Achim , FEYH, Ando
IPC分类号： H01L25/065 , H01L21/98 , H01L23/10 , B81C1/00
CPC分类号： H01L23/10 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/019 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L2224/0401 , H01L2224/0558 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/29011 , H01L2224/73103 , H01L2224/73203 , H01L2224/83805 , H01L2225/0652 , H01L2225/06524 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/163 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00015 , H01L2924/00012
摘要： Es wird eine Anordnung von mindestens zwei Wafern (1; 4) beschrieben, wobei ein erster Wafer (1) und ein zweiter Wafer (4) durch eine Bondverbindung miteinander verbunden sind. Weiter wird ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung vorgeschlagen, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: a) Aufbringen eines ersten Bondmaterials (3) auf einem ersten Wafer (1), wobei als das erste Bondmaterial (3) Aluminium (AI) oder eine Aluminiumlegierung ausgewählt wird, b) Aufbringen eines zweiten Bondmaterials (6) auf einem zweiten Wafer (4), wobei als das zweite Bondmaterial Gold (Au) ausgewählt wird, und c) Durchführen eines Bondprozesses, wobei das erste (3) und das zweite Bondmaterial (6) miteinander verbunden werden zur Erreichung einer Wafer- to-Wafer Bondverbindung.
摘要翻译：存在至少两个晶片的阵列;所描述的，其中的第一晶片（1）和第二晶片（4）由相互连接的键（4：1）。此外，提出了一种用于制造这种装置的方法，该方法包括以下步骤：a）第一晶片（1），其中，作为第一接合材料（3）铝（Al）或铝合金上施加第一结合材料（3）被选择，b）第二晶片（4）上施加第二结合材料（6），使用作为第二接合材料金（Au）中选择，和c）进行接合处理，（其中，所述第一（3）和所述第二接合材料 6）被连接到彼此，以实现晶片到晶片键合。

4. 发明申请

WO2009153094A1 ANORDNUNG ZUR STRESSENTKOPPLUNG BEI EINEM SUBSTRAT MIT EINEM CHIP 审中-公开
标题翻译：安排应力的解耦衬底，芯片
公开(公告)号：WO2009153094A1
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：PCT/EP2009/055101
申请日：2009-04-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BRUEGGENOLTE, Christoph , FRANKE, Axel , KNIES, Sonja
发明人： BRUEGGENOLTE, Christoph , FRANKE, Axel , KNIES, Sonja
IPC分类号： H01L23/13 , H05K1/02
CPC分类号： H01L23/13 , H01L2924/0002 , H05K1/0271 , H05K1/181 , H05K2201/09063 , H05K2201/09081 , H05K2201/10083 , H05K2201/10151 , H01L2924/00
摘要： Es wird eine Anordnung zur Stressentkopplung bei einem Substrat (5), insbesondere bei einer Leiterplatte, vorgeschlagen, wobei mindestens ein Chip (10) vorgesehen ist. Der Chip (10) ist auf einem Chip-Bereich (15) des Substrates (5) angeordnet. Weiter ist mindestens eine Aussparung (20) um den Chip-Bereich (15) im Substrat (5) vorgesehen. Die Aussparung (20) verläuft dabei vertikal durch die gesamte Dicke des Substrates (5).
摘要翻译：有其中提供至少一个芯片（10），提出了一种在基板（5）去耦应力，特别是在电路板的布置，。该芯片（10）被布置在所述基板（5）的芯片部分（15）。另外，至少设置的凹部（20）围绕在基板（5）的芯片面积（15）。在这种情况下，凹部（20）垂直地穿过基板（5）的整个厚度延伸。

5. 发明申请

WO2012076223A3 MIKROELEKTROMECHANISCHES SENSORMODUL SOWIE ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2012076223A3
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/EP2011/068003
申请日：2011-10-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
发明人： PIRK, Tjalf , WAGNER, Thomas , FEYH, Ando , BISCHOPINK, Georg , FRANKE, Axel
IPC分类号： H01L25/16 , G01C19/56
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches Sensormodul. Das mikroelektromechanische Sensormodul umfasst Sensiermittel zur Messung einer Beschleunigung, Druck, Luftfeuchtigkeit oder dergleichen, ein Steuerungsmittel zur Steuerung der Sensiermittel, Energieversorgungsmittel zur Energieversorgung des Sensormoduls sowie Übertragungsmittel zur Übertragung von Signalen des Sensiermittels wobei zumindest drei der Mittel auf Chipebene jeweils in zumindest einem Chip integriert sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Sensormoduls.

6. 发明申请

WO2012052238A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUR MESSUNG EINER BESCHLEUNIGUNG, EINES DRUCKS ODER DERGLEICHEN SOWIE ENTSPRECHENDES VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械装置用于测量加速度，压力或类似及相应方法
公开(公告)号：WO2012052238A1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：PCT/EP2011/066209
申请日：2011-09-19
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FEYH, Ando , LEINENBACH, Christina , FRANKE, Axel , O`BRIEN, Gery
发明人： FEYH, Ando , LEINENBACH, Christina , FRANKE, Axel , O`BRIEN, Gery
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01L9/12
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0831
摘要： Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen. Sie umfasst ein Substrat mit zumindest einer feststehenden Elektrode, eine am Substrat beweglich angeordnete seismische Masse, zumindest eine Masseelektrode, die an der seismischen Masse angeordnet ist sowie Rückstellmittel zum Zurückführen der seismischen Masse in eine Ausgangslage, wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode in einer Messebene zur Messung einer Beschleunigung, eines Drucks oder dergleichen in der Messebene ausgebildet sind, und wobei die feststehende Elektrode und die Massenelektrode zur Messung einer senkrecht zur Messebene auf die seismischen Masse einwirkenden Beschleunigung, Druckes oder dergleichen ausgebildet sind. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein entsprechendes Verfahren sowie eine entsprechende Verwendung.
摘要翻译：本发明涉及微型机械装置，用于测量加速度，压力等。它包括具有至少一个固定电极，基板的可移动布置在基板振动质量，至少一个接地电极，其被布置在振动质量以及返回装置，用于在起始位置返回振动质量，其中，所述固定电极和接地电极在测量平面用于测量加速度，压力或类似的测量平面上形成，并且其中形成有固定电极和用于测量垂直于作用在振动质量加速度，压力或类似的测量平面的接地电极。本发明还涉及一种相应的方法和一种相应的使用。

7. 发明申请

WO2010124889A2 MESSELEMENT 审中-公开
标题翻译：测量元件
公开(公告)号：WO2010124889A2
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：PCT/EP2010/052527
申请日：2010-03-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANKE, Axel
发明人： FRANKE, Axel
IPC分类号： G01D5/241
CPC分类号： G01D5/2412 , H01L29/84
摘要： Ein Messelement zur Aufnahme einer Auslenkung umfasst einen auf einem Halbleitersubstrat angeordneten Bereich und eine Elektrode zur Beeinflussung einer Leitfähigkeit des Bereichs, wobei die Elektrode bezüglich dem Bereich derart auslenkbar angebracht ist, dass sich zwischen der Elektrode und dem Bereich ein Überlappungsbereich ergibt, der eine mit einer Auslenkung der Elektrode veränderliche Ausdehnung aufweist. Eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements hängt von der Leitfähigkeit des Bereichs ab und ist durch eine Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs steuerbar, wobei die Änderung der Ausdehnung des Überlappungsbereichs in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht, so dass eine Änderung des Ausgangssignals des Messelements in einem nichtlinearen Zusammenhang mit der Auslenkung der Elektrode steht.
摘要翻译：用于接收的位移的测量元件包括设置在半导体衬底区域和用于影响区域的导电性的电极，其中所述电极被安装在这样的偏转相对于在所述电极和重叠区域的一个区域，一个之间建立的区域具有电极变程度的偏转。所述感测元件的输出信号的变化依赖于该范围的导电性和是通过在重叠区域的程度上的改变，其中，在所述重叠区域的程度的变化是与偏转电极的非线性关系可控的，使得测量元件的输出信号的变化是在与电极的偏转的非线性关系。

8. 发明申请

WO2009059639A1 DREHRATENSENSOR MIT ZWEI SENSITIVEN ACHSEN 审中-公开
标题翻译：与两个敏感轴的旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009059639A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/EP2007/062073
申请日：2007-11-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , GRACKI, Sebastian , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , KEHR, Kersten , GERHARDT, Christian
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor mit einem Substrat (10), einem Lager (20), einer an dem Lager (20) mittels Federn (30) drehbeweglich zur Ausführung einer planaren Antriebsschwingungsbewegung aufgehängten Schwingstruktur (40) und Antriebsmitteln zum Erzeugen der planaren Antriebsschwingungsbewegung der Schwingstruktur (40). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Drehratensensor erste Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer ersten Drehachse und zweite Auswertemittel zum Erfassen einer Drehung in einer zweiten Drehachse aufweist.
摘要翻译：本发明是基于在具有通过弹簧的基板（10），轴承（20），一个在轴承（20）（30）可旋转地悬挂用于进行平面驱动振荡运动的振荡结构（40），横摆率传感器和驱动装置，用于产生面状驱动振动运动的振动结构（40）。本发明的实质是，旋转速度传感器，其包括第一评估装置，用于在第一旋转轴线和第二评估检测旋转装置，用于以第二旋转轴检测旋转。

9. 发明申请

WO2008015044A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2008015044A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/EP2007/055597
申请日：2007-06-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
发明人： HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , NEUL, Reinhard , KEHR, Kersten , CLASSEN, Johannes , FRANKE, Axel , QUANDER, Marco
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5747
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor mit einem Antriebsmassenelement (13), das über einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist und durch eine Antriebseinrichtung (18) entlang einer ersten Achse (y), die entlang der Oberfläche verläuft, zu Schwingungen antreibbar ist, einem Erfassungsmassenelement (14), das entlang einer zweiten Achse (z), die senkrecht zur Oberfläche verläuft, unter Einwirkung einer Coriolis-Kraft auslenkbar ist, und einer Erfassungseinrichtung, durch welche die Auslenkung des Erfassungsmassen- Elements (14) entlang der zweiten Achse (z) erfaßbar ist. Durch die Anordnung der zweiten Achse (z) senkrecht zur Oberfläche kann der Drehratensensor zusammen mit weiteren Drehra tensensoren, die zur Erfassung von Drehungen um anders gerichtete Drehachsen geeignet sind, auf einem Chip integriert werden.
摘要翻译：本发明涉及一种具有驱动质量元件的旋转速度传感器（13）设置在由沿第一轴（y），它沿所述表面振动运行的驱动装置（18）的基板的与表面可以被驱动，（检测质量元件 14），其是沿第二轴（z偏转）垂直于科里奥利力的作用下的表面上，和检测装置，通过它可以检测到沿所述第二轴（z的Erfassungsmassen-元件（14）的偏转）是。所述第二轴线（Z）的垂直于旋转率传感器的表面上的布置可以几十传感器，进一步Drehra一起适合用于检测绕定向不同的旋转轴的旋转，在一个芯片上集成。

10. 发明申请

WO2009062786A1 DREHRATENSENSOR 审中-公开
标题翻译：旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2009062786A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/EP2008/063228
申请日：2008-10-02
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
发明人： NEUL, Reinhard , CLASSEN, Johannes , OHMS, Torsten , KUHLMANN, Burkhard , FRANKE, Axel , KOHN, Oliver , MEISEL, Daniel Christoph , HAUER, Joerg , GOMEZ, Udo-Martin , KEHR, Kersten
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
摘要： Drehratensensor mit einem Substrat und einer Mehrzahl von beweglichen Teilstrukturen, die über einer Oberfläche des Substrats angeordnet sind, wobei die beweglichen Teilstrukturen an ein gemeinsames, insbesondere ein zentrales, Federelement gekoppelt sind, wobei Mittel vorgesehen sind, um die beweglichen Teilstrukturen zu einer gekoppelten Schwingung in einer zur Oberfläche des Substrats parallelen Ebene anzuregen, wobei die beweglichen Teilstrukturen Coriolis-Elemente aufweisen, wobei Mittel vorgesehen sind, durch eine Coriolis-Kraft verursachte Auslenkungen der Coriolis-Elemente nachzuweisen, wobei ein erstes Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine erste Achse vorgesehen ist, wobei ein zweites Coriolis-Element zum Nachweis einer Drehrate um eine zweiten Achse vorgesehen ist, wobei die zweite Achse senkrecht zur ersten Achse ausgerichtet ist.
摘要翻译：具有基板和多个可动子，其被布置在所述基板，其中，所述可动部结构被耦合到公共的表面上的，特别是中央，弹簧元件，其中，在被提供用于可动子的耦合后的振动的装置的横摆率传感器平行的平面内激发于衬底平面的表面，所述可动部分的结构科里奥利元件，所述设置装置，用于检测由科里奥利元件的科里奥利力挠曲，导致其中，用于检测绕第一轴线旋转的速率的第一科里奥利元件设置，其中，用于检测的旋转速度的第二科里奥利元件围绕第二轴线设置，第二轴线垂直于第一轴线取向。

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