专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2005012892A1 GASSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：气体传感器与方法研究
公开(公告)号：WO2005012892A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/DE2004/001645
申请日：2004-07-23
申请人： PARAGON AG , WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph , GRUEN, Detlef
发明人： WEBER, Heribert , PRUETZ, Odd-Axel , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph , GRUEN, Detlef
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N27/128
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer auf einem Halbleitersubstrat (2) ausgebildeten Membranschicht (3), auf der eine Auswertestruktur (7) in einem Auswertebereich (8) und eine Heizstruktur (9) ausserhalb des Auswertebereichs (8) angeordnet sind, und mit einer über der Auswertestruktur (7) und der Heizstruktur (9) angeordneten gassensitiven Schicht (10), wobei die gassensitive Schicht (10) von der Heizstruktur (9) beheizbar und der elektrische Widerstand der gassensitiven Schicht (10) von der Auswertestruktur (7) auswertbar ist und wobei die Heizstruktur (9) auf einer haftvermittelnden Oxidschicht (6) auf der Oberseite der Membranschicht (3) angeordnet und durch eine Deckoxidschicht (11) von dergassensitiven Schicht getrennt ist. Um eine zuverlässige Funktionsweise zu ermöglichen, ist bei dem Gassensor vorgesehen, dass in dem Auswertebereich (8) eine gegenüber einer Oxidätzung unempfindliche Haftvermittlerschicht (13) zwischen der Membranschicht (3) und der Auswertestruktur (7) angeordnet ist oder dass die Auswertestruktur (7) in dem Auswertebereich (8) entsprechend der Heizstruktur (9) durch die Deckoxidschicht (11) von der gassensitiven Schicht (10) getrennt ist, wobei die Deckoxidschicht (11) Kontaktlöcher (12) aufweist, welche jeweils einen mittleren Bereich der Oberfläche der Auswertestruktur (7) freilegen, um einen direkten Kontakt zwischen der Auswertestruktur (7) und der gassensitiven Schicht (10) herzustellen.
摘要翻译：本发明涉及具有在半导体基板上的气体传感器（2）形成的薄膜层（3），其上（9）的评价范围（8）的外侧被布置成评估区域（8）和加热结构的评估结构（7），并用（9）布置在所述气体敏感层（10），加热中的一个评价结构上述（7），并且其中所述加热结构（9）加热的气体敏感层（10）和评价结构体的气体敏感层（10）的电阻（7）被评估，并且其中所述加热结构（9），设置在上膜层（3）的顶部粘合促进氧化物层（6）和由覆盖氧化物层（11）由dergassensitiven层分离。为了使一个可靠的操作，在该或向氧化物蚀刻耐底漆层（13）设置于薄膜层（3）和在所述评价区域的评价结构（7）之间的气体传感器（8）提供，所述评估结构（7）在通过气体敏感层的覆盖氧化物层（11）相对应的加热结构（9）的评价区域（8）（10）断开，其特征在于，所述覆盖氧化物层（11）具有接触孔（12），（在每种情况下评价的表面的中间部分暴露7）建立评价的结构（7）和气体敏感层（10）之间的直接接触。

2. 发明申请

WO2005012893A1 MIKROSTRUKTURIERTER CHEMISCHER SENSOR 审中-公开
标题翻译：微结构化化学传感器
公开(公告)号：WO2005012893A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/DE2004/001647
申请日：2004-07-23
申请人： PARAGON AG , WEBER, Heribert , SCHIELEIN, Doris , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph
发明人： WEBER, Heribert , SCHIELEIN, Doris , KRUMMEL, Christian , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N27/125 , G01N27/121
摘要： Um bei einem Sensor mit einer auf einem Substrat (1) angeordneten ersten Metallisierungsebene, einer darauf aufgebrachten, durch Kontaktlöcher (7) strukturierten Passivierungsschicht (6) und mit einer darauf und in den Kontaktlöchern (7) in Dickschichttechnik erzeugten sensitiven Keramikschicht (9) die Haftung der Keramikschicht (9) zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass eine Haftvermittlerschicht (8) vorgesehen ist, die als zweite Metallisierungsebene ausgebildet ist und die zwischen der Passivierungsschicht (6) und der Keramikschicht (9) angeordnet ist.
摘要翻译：到设置在衬底（1）第一金属化上有一个传感器，施加在其上，通过接触孔（7）图案化保护层（6），并用它与在厚膜技术的接触孔（7）产生的敏感的陶瓷层（9）以提高陶瓷层（9）的粘合性，所以建议其被形成为第二金属，并且设置在钝化层（6）和所述陶瓷层（8）之间提供了一种粘合促进剂层（9）。

3. 发明申请

WO2005044720A1 LAYOUTMASSNAHMEN ZUR BEGRENZUNG DER AUSBREITUNG VON OBERFLÄCHENRISSEN IN MEMS 审中-公开
标题翻译： LAYOUT措施限制MEMS表面裂纹的蔓延
公开(公告)号：WO2005044720A1
公开(公告)日：2005-05-19
申请号：PCT/DE2004/001954
申请日：2004-09-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
发明人： FUERTSCH, Matthias , WEBER, Heribert , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHELLING, Christoph , EBERLE-GOUBET, Klaus , BAISCH, Joerg
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0264
摘要： Der Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weist dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf den Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zum ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf den Bauelement gestoppt wird.
摘要翻译：本发明描述了一种微型机械装置和用于制造具有至少一个第一，第二和第三区域的微机械部件的方法。微机械部件的第一和第二区域具有在该情况下有利的是相同的层结构。在第一和第二区域之间，所述第三区域被设置。虽然使用了微机械部件的，例如，作为传感器元件的保持器可在组分发生裂纹。这些裂纹可不利条件下的微机械装置或扩散的表面上而增加。在三个区域的构造中规定，所述第三区域具有更高的易感性裂纹扩展相比，第一和/或第二区域。根据本发明的第三区域和其它两个区域被配置为使得裂纹扩展在第三区域优选停止在设备上的预定位置。

4. 发明申请

WO2004080885A2 MEMBRANSENSOR 审中-公开
标题翻译：干簧管传感器
公开(公告)号：WO2004080885A2
公开(公告)日：2004-09-23
申请号：PCT/DE2004/000295
申请日：2004-02-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
发明人： MUELLER-FIEDLER, Roland , HECHT, Hans , MUCHOW, Joerg , FUERTSCH, Matthias , STRATMANN, Andreas , WEBER, Heribert , BERNHARD, Winfried , GRUEN, Detlef , DUELL, Andreas , SCHINK, Rainer , WAGNER, Ulrich , SCHELLING, Christoph
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G01L9/0042 , G01F1/6845 , G01N7/10
摘要： Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um einen mikromechanischen Sensor bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors, der wenigstens eine Membran aufweist. Die Membran wird dabei so aus einem ersten Material hergestellt, dass sie zur Sensierung eines sie umgebenden Mediums in einem zweiten Material untergebracht ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die Membran wenigstens teilweise durch ein drittes Material an bruchempfindlichen Stellen am Membranrand verstärkt ist. Durch die Verstärkung des Membranrands wird die Stabilität und somit auch die Lebensdauer der Membran bzw. des Sensors erhöht.
摘要翻译：在本发明中，它是一种微机械传感器，以及一种用于制造微机械传感器的方法，具有至少一个膜。该膜是在这种情况下由第一材料制成的，它被容纳用于感测周围介质到第二材料。本发明的本质在于以下事实：所述的膜是由第三材料在对脆弱的膜的边缘位置至少部分地加强。通过增强稳定性的膜边缘，从而所述膜的或传感器的寿命增加。

5. 发明申请

WO2006087045A1 MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRAN 审中-公开
标题翻译：采用双锥形微机械膜片传感器
公开(公告)号：WO2006087045A1
公开(公告)日：2006-08-24
申请号：PCT/EP2005/057023
申请日：2005-12-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
发明人： ILLING, Matthias , WEBER, Heribert , SCHELLING, Christoph , STAHL, Heiko , WEISS, Stefan
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81C1/00476 , B81C2201/0109 , B81C2201/053
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Membransensors bzw. einen mit dem Verfahren hergestellten mikromechanischen Membransensor. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist. Weiterhin ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor einen ersten Hohlraum und einen im Wesentlichen über dem ersten Hohlraum liegenden zweiten Hohlraum aufweist.
摘要翻译：本发明描述了一种用于制造微机械膜型传感器或通过该方法制备的微机械膜型传感器的方法。它提供了微机械膜型传感器具有至少一个第一膜和一个基本上覆盖所述第一膜第二膜。它进一步提供的是微机械膜型传感器具有第一腔体和基本上高于所述第一空腔第二空腔。

6. 发明申请

WO2009124609A1 UMLENKEINRICHTUNG FÜR EINEN STRAHL EINER ELEKTROMAGNETISCHEN WELLE 审中-公开
标题翻译：偏转电磁波一缕
公开(公告)号：WO2009124609A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066713
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Umlenkeinrichtung für den Strahl einer elektromagnetischen Welle mit zwei kaskadierten Reflektionselementen (1, 2), die einzeln in unterschiedlichen Richtungen gesteuert schwenkbar sind, wobei die Reflektionsflächen (3, 4) mit Abstand einander gegenüber liegen und einander zugewandt sind. Damit werden weitere Reflektionselemente überflüssig und es kann eine geringe Baugröße erreicht werden.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转装置用于电磁波的具有两个级联的反射元件的光束（1,2），它们在不同的方向分别控制可以枢转，其中，所述反射表面（3,4）由远彼此相对且彼此面对。以便进一步反射元件是不必要的，并且它可以是一个小的尺寸就可以实现。

7. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

8. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

9. 发明申请

WO2009127273A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构和微机械结构
公开(公告)号：WO2009127273A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066715
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00007 , B81B2201/032 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/019 , B81C1/00142 , B81C2201/017
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) mit den Schritten: Bilden einer ersten Elektrodeneinheit (14) in einer ersten Stellung zu einem Grundsubstrat (16); Bilden eines Stützelements (22) mit einer ersten Untereinheit (23,28,30) mit einer ersten EigenSpannung und einer zweiten Untereinheit (23,28,30) mit einer von der ersten Eigenspannung abweichenden zweiten Eigenspannung, wobei das Stützelement (22) an einem ersten Ende an der ersten Elektrodeneinheit (14) und an einem zweiten Ende an dem Grundsubstrat (16) befestigt ist; und Biegen des Stützelements (22) aufgrund einer Differenz zwischen der ersten Eigenspannung und der zweiten Eigenspannung, wobei aufgrund des Biegens des Stützelements (22) die erste Elektrodeneinheit (14) aus der ersten Stellung zu dem Grundsubstrat (16) in eine zweite Stellung zu dem Grundsubstrat (16) verstellt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22）第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲基底基板（16）被调整。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

10. 发明申请

WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A2
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/065575
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式