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    • 4. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFARHEN ZUM PRÜFEN EINES HALBLEITERBAUTEILS MIT KONTAKTFLÄCHEN AUF BEIDEN SEITEN
    • 设备和VERFARHEN用于测试半导体元件的,接触表面两侧
    • WO2005078460A1
    • 2005-08-25
    • PCT/DE2005/000216
    • 2005-02-09
    • INFINEON TECHNOLOGIES AGGRÖNINGER, Horst
    • GRÖNINGER, Horst
    • G01R1/073
    • G01R1/0466G01R1/0483
    • Die Erfindung betrifft eine Testvorrichtung (1) zum Prüfen eines Halbleiterbauteils (2) mit Kontaktflächen (3) auf seiner Oberseite (4) und seiner Rückseite (5) und ein Verfahren zum Prüfen des Halbleiterbauteils (2). Dazu weist die Testvorrichtung (1) einen Testsockel (8) auf, der auf einer Testleiterplatte (6) montiert ist. Über innere Durchkontaktierungselemente (10) des Testsockels (8) können Kontaktflächen (3) auf der Oberseite (4) des Halbleiterbauteils (2) getestet werden. Die Kontaktflächen (3) auf der Rückseite (5) des Halbleiterbauteils (2) können mit Hilfe äußerer Durchkontaktierungselemente (12) die außerhalb des Aufnahmesitzes (9) angeordnet sind, für ein Prüfen des Halbleiterbauteils (2) angeschlossen werden.
    • 本发明涉及一种测试装置(1),用于在其上侧(4)和其后端侧(5)和用于测试半导体器件(2)的方法测试半导体元件(2)与接触表面(3)。 为了这个目的,测试装置(1)在试验台上(8),其被安装在测试印刷电路板(6)。 关于内部贯通接触测试插座(8)(10)以接触的顶部区域(3)(4)的半导体元件(2)进行测试。 在半导体元件(2)的背面(5)的接触区域(3)可以通过外部引线(12)的装置被布置成,所述接收座的外侧(9),被连接的半导体器件的检查(2)。