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    • 1. 发明申请
    • TRANSPORTSYSTEM UND BEARBEITUNGSSYSTEM FÜR SUBSTRATE
    • 基材运输系统和加工系统
    • WO2018024707A1
    • 2018-02-08
    • PCT/EP2017/069390
    • 2017-08-01
    • ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
    • WAMSLER, FlorianARNOLD, AchimOPPELT, Klaus
    • B65G47/64B65G47/52B65G47/91H01L21/683B65G21/20B65G47/14H01L21/677H01L21/67B65G51/02
    • H01L21/6838H01L21/67259H01L21/67715H01L21/67736H01L21/681
    • Die Erfindung betrifft ein Transportsystem (1) für Substrate (19), insbesondere Wafer, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einer ersten Vorrichtung (4) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die einen Greifkopf (6) mit zumindest einer ersten Auflagefläche (11) an seiner Unterseite (10) zum Auflegen eines Substrats (19) und zumindest eine Saugeinrichtung (8) zum Ansaugen des Substrats (19) gegen die Auflagefläche (11) aufweist, und mit einer zweiten Vorrichtung (5) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die zumindest eine zweite Auflagefläche (18) aufweist, auf welcher ein Substrat (19) ablegbar ist, und mit einer Einrichtung (20) zum Bewegen des abgelegten Substrats (19) von der zweiten Auflagefläche (18) zu der ersten Auflagefläche (11). Dabei ist vorgesehen, dass die Einrichtung (20) wenigstens eine Druckluftdüse (21) aufweist, die unterhalb der zweiten Auflagefläche (18) derart angeordnet ist, das ein durch sie erzeugter Druckluftstrom in Richtung eines auf der zweiten Auflagefläche (18) liegenden Substrats (19) strömt, um das Substrat (19) in Richtung der ersten Auflagefläche (11) anzuheben.
    • 本发明涉及一种传输系统(1),用于导航用途ř基板(19),特别是晶片,太阳能电池,印刷电路板或类似物,包括:第一装置(4),用于保持和输送基片(19), 具有夹头(6)具有至少在其下侧(10)的第一Auflagefl BEAR表面(11),用于放置衬底(19)和至少一个抽吸装置(8)用于抽吸靠在Auflagefl&AUML基板(19);枝(11 ),以及与第二设备(5),用于保持和输送基片(19),所述至少一个第二表面具有BEAR Auflagefl(18),其上的基板(19)可以被沉积,并且装置(20) 用于将沉积的衬底(19)从第二支撑表面(18)移动到第一支撑表面(11)。 它被设置,所述装置(20)包括压力空气射流导航用途至少; S(21),其是低于第二Auflagefl BEAR布置表面(18),使得通过在第二Auflagefl BEAR中的一个的方向上被压缩的空气流产生的电流(CHE 18)将所述基板(19)朝向所述第一支撑表面(11)提升,

    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
    • 装置和运输基板
    • WO2018020028A1
    • 2018-02-01
    • PCT/EP2017/069216
    • 2017-07-28
    • ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
    • ARNOLD, AchimWAMSLER, FlorianOPPELT, Klaus
    • H01L21/683H01L21/677B65G21/20B65G17/32H01L21/67
    • H01L21/67706B65G21/2036B65G47/91B65G49/064B65G2249/045H01L21/6838
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist, wobei die Saugeinrichtung mehrere mit einem Unterdruck beaufschlagbare Vakuumkammern (10,11,12) aufweist, die mit der Auflagefläche (29) zugeordneten Saugöffnungen (22) strömungstechnisch verbunden/verbindbar und in Längsrichtung des Greifkopf (2) voneinander getrennt sind. Es ist vorgesehen, dass die Vakuumkammern (10,11,12) durch zumindest ein Hohlprofil gebildet sind, das eine Hohlkammer (25) aufweist, in welcher zumindest ein separates Trennelement (24) zum Herstellen benachbarter Vakuumkammern (10,11,12) angeordnet ist.
    • 本发明涉及一种装置(1),用于将夹持和输送基材,特别是晶片,电路基板,太阳能电池或类似物,具有夹头(2),所述至少一个Auflagefl BEAR表面(29) 具有表面(29),其中,所述抽吸装置包括多个子压力可应用于连接到Auflagefl BEAR真空室(10,11,12);在衬底上和至少一个抽吸装置用于抽吸靠在Auflagefl&AUML相关联表面的衬底(29)吸&oUML 开口(22)在技术上连接/可连接并且在夹头(2)的纵向方向上彼此分离。 布置(10,11,12)可以设想,所述真空室(10,11,12),一个中空型材由至少具有用于产生相邻的真空室中空腔室(25),其中至少一个单独的分离元件(24)形成 是

    • 5. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN VON FOLIENBLÄTTERN, APPLIZIERVORRICHTUNG ZUM BESTÜCKEN VON GEGENSTÄNDEN MIT FOLIENBLÄTTERN
    • 装置和方法用于提供胶片,涂药用于嵌入胶片离开物体的
    • WO2013050110A1
    • 2013-04-11
    • PCT/EP2012/003951
    • 2012-09-21
    • ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
    • ARNOLD, AchimOPPELT, Klaus
    • B65H35/00B65H37/00
    • B26F3/02B65H35/0013B65H35/006B65H37/002Y10T225/10Y10T225/205
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (2) zum Bereitstellen zumindest einseitig selbstklebender Folienblätter (19) mit einem Folienspender (4), der ein Folienband (5) bestehend aus zumindest einer Trägerfolie (8) und einer darauf angeordneten zumindest einseitig selbstklebenden Nutzfolie (7) bereitstellt, wobei die Nutzfolie (7) in Folienblätter (19) geteilt oder teilbar ist, und wobei eine Fördereinrichtung (37) vorgesehen ist, um das Folienband von dem Folienspender (4) mit der Trägerfolie (8) auf einer Führungsbahn (10) zu einer Entnahmestation(20) zu fördern, an welcher die Nutzfolie (7) von der Trägerfolie (8) entfernt wird. Es ist vorgesehen, dass die Entnahmestation (20) einen Schlitten aufweist, der an seinem dem Folienspender (4) gegenüberliegenden Ende eine Trennkante (27) aufweist, über welche die Trägerfolie (8) mittels der Fördereinrichtung (37) ziehbar ist, und dem ein Aktor (25) zu seiner Verlagerung entlang der Führungsbahn (10) zugeordnet ist, und wobei der Entnahmestation (20) ein Greifer (36) zugeordnet ist, der ein - in Förderrichtung gesehen - vor der Trennkante (27) befindliches Folienblatt (19) greift und dieses ortsfest hält, während der Schlitten (21) mittels des Aktors (25) entgegen der Förderrichtung der Förderfolie (8) auf der Führungsbahn (10) verlagert und gleichzeitig die Trägerfolie (8) über die Trennkante (27) zum Lösen von dem Folienblatt (19) weggezogen wird. Ferner betrifft die Erfindung eine Appliziervorrichtung sowie ein Verfahren.
    • 本发明涉及一种装置(2),用于提供至少单面自粘合薄膜片(19)具有被布置在箔片条上的薄金属带分配器(4)(5),其包含(8)和在其上提供至少一个载体薄膜至少单面自粘Nutzfolie(7) 其中Nutzfolie(7)被分成所述箔片(19)或整除,且其中一个输送机(37)被设置用于胶片条从所述胶片分配器(4)的导轨(10),在载体膜(8)到 是所述Nutzfolie(7)载体膜(8)中除去,以促进去除站(20)的。 可以预期的是提取站(20)包括具有在其端部面向所述薄金属带分配器(4)的端部相对的切削刃(27),通过该载体膜(8)由所述传送器(37)的装置可以拉出的托架,和一个 致动器(25)被分配给它的沿着所述导轨(10)位移,并且其中所述提取站(20),夹持器(36)相关联的一个 - 接合定位在分离边缘的前面(27)的薄膜片(19) - 看到在输送方向 并保持该固定位置,同时在滑架(21)由致动器(25)逆着输送膜(8)的引导片上的输送方向的装置(10)移动并在同一时间承载膜(8)在分离边缘(27)用于释放所述薄膜片 (19)被拉走。 此外,本发明涉及一种涂抹器和一种方法。