基本信息:
- 专利标题： TRANSPORTSYSTEM UND BEARBEITUNGSSYSTEM FÜR SUBSTRATE
- 专利标题（英）：Transporting system and processing system for substrates
- 专利标题（中）：基材运输系统和加工系统
- 申请号：PCT/EP2017/069390 申请日：2017-08-01
- 公开(公告)号：WO2018024707A1 公开(公告)日：2018-02-08
- 发明人： WAMSLER, Florian , ARNOLD, Achim , OPPELT, Klaus
- 申请人： ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
- 申请人地址： Benzstr. 10 89160 Dornstadt DE
- 专利权人： ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
- 当前专利权人： ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
- 当前专利权人地址： Benzstr. 10 89160 Dornstadt DE
- 代理机构： CLARENBACH, Carl-Philipp et al.
- 优先权： DE10 20160801
- 主分类号： B65G47/64
- IPC分类号： B65G47/64 ; B65G47/52 ; B65G47/91 ; H01L21/683 ; B65G21/20 ; B65G47/14 ; H01L21/677 ; H01L21/67 ; B65G51/02
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Transportsystem (1) für Substrate (19), insbesondere Wafer, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einer ersten Vorrichtung (4) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die einen Greifkopf (6) mit zumindest einer ersten Auflagefläche (11) an seiner Unterseite (10) zum Auflegen eines Substrats (19) und zumindest eine Saugeinrichtung (8) zum Ansaugen des Substrats (19) gegen die Auflagefläche (11) aufweist, und mit einer zweiten Vorrichtung (5) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die zumindest eine zweite Auflagefläche (18) aufweist, auf welcher ein Substrat (19) ablegbar ist, und mit einer Einrichtung (20) zum Bewegen des abgelegten Substrats (19) von der zweiten Auflagefläche (18) zu der ersten Auflagefläche (11). Dabei ist vorgesehen, dass die Einrichtung (20) wenigstens eine Druckluftdüse (21) aufweist, die unterhalb der zweiten Auflagefläche (18) derart angeordnet ist, das ein durch sie erzeugter Druckluftstrom in Richtung eines auf der zweiten Auflagefläche (18) liegenden Substrats (19) strömt, um das Substrat (19) in Richtung der ersten Auflagefläche (11) anzuheben.
摘要（中）：
本发明涉及一种传输系统（1），用于导航用途ř基板（19），特别是晶片，太阳能电池，印刷电路板或类似物，包括：第一装置（4），用于保持和输送基片（19）， 具有夹头（6）具有至少在其下侧（10）的第一Auflagefl BEAR表面（11），用于放置衬底（19）和至少一个抽吸装置（8）用于抽吸靠在Auflagefl＆AUML基板（19）;枝（11 ），以及与第二设备（5），用于保持和输送基片（19），所述至少一个第二表面具有BEAR Auflagefl（18），其上的基板（19）可以被沉积，并且装置（20） 用于将沉积的衬底（19）从第二支撑表面（18）移动到第一支撑表面（11）。 它被设置，所述装置（20）包括压力空气射流导航用途至少; S（21），其是低于第二Auflagefl BEAR布置表面（18），使得通过在第二Auflagefl BEAR中的一个的方向上被压缩的空气流产生的电流（CHE 18）将所述基板（19）朝向所述第一支撑表面（11）提升，
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G47/00 | 与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法 |
| --------B65G47/02 | .向输送机供给物件或物料的装置 |
| ----------B65G47/64 | ..转换输送机 |