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1. 发明申请

WO2018020027A1 VORRICHTUNG ZUM GREIFEN UND TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：装置和运输基板
公开(公告)号：WO2018020027A1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：PCT/EP2017/069215
申请日：2017-07-28
申请人： ASYS AUTOMATISIERUNGSSYSTEME GMBH
发明人： WAMSLER, Florian , ARNOLD, Achim , OPPELT, Klaus
IPC分类号： H01L21/683 , B65G21/20 , B65G47/91 , H05K13/04 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6838 , B65G21/2036 , B65G47/911 , H01L21/67706 , H05K13/0069
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Greifen und Transportieren von Substraten, insbesondere Wafern, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit einem Greifkopf (2), der zumindest eine Auflagefläche (29) zum Auflegen auf ein Substrat und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche (29) aufweist. Es ist vorgesehen, dass die Saugeinrichtung wenigstens eine Venturidüse (6) aufweist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于抓取和运输基板，特别是晶片，印刷电路板，太阳能电池等的设备（1），该设备具有抓取头（2），该抓取头具有至少一个承载表面（29）在基底上和至少一个抽吸装置，用于将基底抽吸到支撑表面（29）上。规定抽吸装置具有至少一个文氏管（6）

2. 发明申请

WO2009139540A3 NON-CONTACT TYPE OF VACUUM PAD 审中-公开
标题翻译：非接触式真空垫
公开(公告)号：WO2009139540A3
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：PCT/KR2009001317
申请日：2009-03-17
申请人： KOREA PNEUMATIC SYS CO LTD , CHO HO-YOUNG
发明人： CHO HO-YOUNG
IPC分类号： B65G49/06 , B25J15/06 , H01L21/68
CPC分类号： B65G49/061 , B25J15/0616 , B65G47/911 , B65G2249/045 , H01L21/6838
摘要： The present invention relates to a non-contact type vacuum pad which is used for holding articles in a vacuum conveying system. The vacuum pad of the present invention comprises a main body, an air guide, and a discharge pathway formed by means of the main body and guide. The air guide is attached in such a way that it does not project from the bottom edge of the main body, and it has: a central inflow recess communicating with a supply hole; one or more flow pathways formed passing through the wall surface from the inflow recess; and a suction hole which extends from the bottom surface and connects to the flow pathway(s). When compressed air passes through the flow pathway(s), the outside air underneath the vacuum pad passes the vicinity of a diffusing surface and through the suction hole and is entrained into the compressed air, and merges with and is discharged together with the compressed air. At this time, articles can be strongly held due to the negative pressure produced in the space between the vacuum pad and the article.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在真空输送系统中保持物品的非接触型真空垫。本发明的真空垫包括主体，空气引导件和通过主体和引导件形成的排出通道。空气引导件以不会从主体的底部边缘突出的方式安装，并且具有：与供给孔连通的中央流入凹部; 从流入凹槽穿过壁表面形成的一个或多个流动路径; 以及从底表面延伸并连接到流动通道的抽吸孔。当压缩空气通过流动通道时，真空垫下方的外部空气通过扩散表面附近并通过吸入孔并被夹带到压缩空气中，与压缩空气合并并与其一起排出。此时，由于在真空垫和制品之间的空间中产生的负压，可以强力地保持制品。

3. 发明申请

WO2008111730A1 VACUUM SYSTEM USING A FILTER CARTRIDGE 审中-公开
标题翻译：使用过滤器的真空系统
公开(公告)号：WO2008111730A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/KR2008/000531
申请日：2008-01-29
申请人： KOREA PNEUMATIC SYSTEM CO., LTD , CHO, Ho-Young
发明人： CHO, Ho-Young
IPC分类号： B65G49/00
CPC分类号： B65G47/911 , B01D46/10 , B01D46/521 , B01D2273/30
摘要： Disclosed is a vacuum system capable of realizing a simple, compact configuration using a filter cartridge. The vacuum system makes use of a container-shaped filter cartridge, which includes an intake port, an inflow port for compressed air, and a mounting port in a sidewall thereof, and a filter which is disposed in a space therein covered by a cap and filters air flowing in through the intake port. An ejector pump passes through the mounting port of the filter cartridge, is installed such that one end thereof is adjacent to or inserted into the inflow port, and includes a through-hole formed in a nozzle body so as to communicate with the space inside the filter cartridge. In the state in which the ejector pump is mounted, the filter cartridge is used as a housing providing a vacuum chamber or an enclosed space.
摘要翻译：公开了一种能够实现使用过滤器滤芯的简单，紧凑配置的真空系统。真空系统利用容器形过滤器滤芯，其包括进气口，用于压缩空气的流入口和其侧壁中的安装口，以及设置在被盖盖住的空间内的过滤器，过滤通过进气口流入的空气。喷射器泵通过过滤器滤芯的安装口，安装成使得其一端与流入口相邻或插入流入口，并且包括形成在喷嘴体中的通孔，以便与内部的空间连通滤芯。在安装喷射泵的状态下，滤筒用作提供真空室或封闭空间的壳体。

4. 发明申请

WO2003040006A1 VACUUM CHUCK DEVICE 审中-公开
标题翻译：真空卡盘装置
公开(公告)号：WO2003040006A1
公开(公告)日：2003-05-15
申请号：PCT/KR2002/002084
申请日：2002-11-08
申请人： SHIN, Dong-Hyo
发明人： SHIN, Dong-Hyo
IPC分类号： B65G47/91
CPC分类号： B65G47/911
摘要： Disclosed is a vacuum chuck device which detachably adheres to components by a vacuum pressure and moves up and down or rotates them with driving means such as a stepping motor in an automation process. The present invention provides a vacuum chuck device as an improved mechanism, in which a chucking member for vacuum pressure application is inserted into a spraying member for inversely spraying an introduced compressed air. Such a chucking construction can make the mechanical friction of a working part diminished and thereby the capacity of the stepping motor being a driving source reduced greatly. Accordingly, the present invention provides a miniaturized device with economical effect.
摘要翻译：公开了一种真空吸盘装置，其通过真空压力可拆卸地粘附到部件上并在自动化过程中上下移动或者用诸如步进电机的驱动装置旋转它们。本发明提供一种作为改进机构的真空吸盘装置，其中将用于真空压力的夹紧构件插入到用于反向喷射引入的压缩空气的喷射构件中。这种夹紧结构可以使工作部件的机械摩擦减小，从而大大降低了步进电机作为驱动源的容量。因此，本发明提供了具有经济效果的小型化装置。

5. 发明申请

WO2015070742A1 吸盘审中-公开
公开(公告)号：WO2015070742A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/CN2014/090796
申请日：2014-11-11
申请人：浙江大学
发明人：黎鑫
IPC分类号： B65G47/91 , B25J15/06
CPC分类号： B25J15/0616 , B65G47/911
摘要：一种吸盘，包括吸盘本体（1）、环形隔板（3）和垫块（2）；所述吸盘本体（1）内具有横截面为圆形的腔体（12），所述腔体（12）的壁面上设置有切向喷嘴（11）；所述环形隔板（3）的上表面通过垫块（2）与吸盘本体（1）的底面外缘固定连接；所述垫块（2）间隔设置在所述吸盘本体（1）的底面外缘，所述垫块（2）为4个，所述4个垫块（2）遮盖环形隔板（3）的部分面积；所述垫块（2）与垫块（2）之间的间距形成吸盘本体（1）的底面外缘与环形隔板（3）之间的固定流道，所述固定流道连通腔体（12）与外周环境。该吸盘能够吸附柔软的、表面粗糙的物体，且耗气量小。

6. 发明申请

WO2009059586A1 EINZELPLATTENFÖRDERER, ENDLOSEINZELPLATTENFÖRDERER UND ANORDNUNG AUS WENIGSTENS ZWEI ENDLOSEINZELPLATTENFÖRDERERN 审中-公开
标题翻译：单板赞助商连续单板赞助商和至少两个连续的单板发起人安排
公开(公告)号：WO2009059586A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/DE2008/001810
申请日：2008-11-05
申请人： HENNECKE SYSTEMENTWICKLUNG , ODENTHAL, Heinz, F.
发明人： ODENTHAL, Heinz, F.
IPC分类号： B65G47/91
CPC分类号： B65G47/911 , H01L21/67784
摘要： Einzelplattenförderer bzw. Endloseinzelplattenförderer (40) kann durch eine jenseits einer Trageebene angeordnete bernoullische Unterdruckkammer eine besonders schonende Förderung realisiert werden.
摘要翻译：单个板输送机或无端单板式输送机（40）可通过布置以外伯努利真空室中的特别温和生产的支撑平面来实现。

7. 发明申请

WO2005076342A1 非接触搬送装置审中-公开
标题翻译：非接触式传动装置
公开(公告)号：WO2005076342A1
公开(公告)日：2005-08-18
申请号：PCT/JP2005/000491
申请日：2005-01-17
申请人：株式会社コガネイ , 田苗俊和
发明人：田苗俊和
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6838 , B65G47/911 , B65G49/061 , B65G2249/045
摘要：　この非接触搬送装置１０は、被搬送物Ｗを搬送ヘッド１２に接触させることなく、搬送ヘッド１２の前方に保持して搬送する。搬送ヘッド１２の先端面には、気体供給孔１９の開口部が形成された気体供給面１８と、これよりも突出した環状の保持面２１と、気体供給面１８から保持面２１になだらかに連なる気体案内面２２とが形成され、搬送ヘッド１２に装着されるノズル２４は、搬送ヘッド１２に装着される基部２４ａと、気体供給面１８に対向するとともにこれとの間で環状の気体吐出用のスリット２５を形成する円板部２４ｂとを備えている。ノズル２４は搬送ヘッド１２に対してねじ部材３５により軸方向に移動することによってスリット２５の幅は変化する。ノズル２４にはスリット２５の幅を大きくする方向の弾性力がゴム材３７により加えられている。
摘要翻译：一种非接触式承载装置（10），其能够将携带物品（W）保持并携带在承载头部（12）的前方，而不使被承载物品与承载头（12）接触。气体供给面（18），其形成有气体供给孔（19）的开口部，从气体供给面突出的环状保持面（21）和从气体平滑地延伸的气体导向面（22）供给面（18）并与保持面（21）连续地形成在承载头（12）的前端面上。安装在承载头（12）上的喷嘴（24）包括装配到运送头（12）的基部（24a）和与气体供给表面（18）相对的盘部分（24b），并形成环形气体排放在其与气体供给表面的间隙中切割（25）。由于喷嘴（24）通过螺纹部件（35）相对于输送头（12）轴向移动，因此可以改变狭缝（25）的宽度。用于增加狭缝（25）的宽度的方向上的弹性力通过橡胶材料（37）添加到喷嘴（24）中。

8. 发明申请

WO2004068106A2 EGG LIFTING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：提花装置
公开(公告)号：WO2004068106A2
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：PCT/US2003/034486
申请日：2003-10-29
申请人： EMBREX, INC. , ILICH, Robert, L.
发明人： ILICH, Robert, L.
IPC分类号： G01N
CPC分类号： A01K45/007 , A01K43/00 , B08B9/00 , B65B23/08 , B65G47/911 , B65G2201/0208
摘要： Egg lifting apparatus are provided that include a vacuum housing having first and second passageways, a venturi assembly in fluid communication with the first and second passageways, and a flexible cup secured to the vacuum housing, wherein the flexible cup has an interior that is in fluid communication with the vacuum housing second passageway. The venturi assembly produces subatmospheric pressure within the second passageway upon the flow of air through the first passageway. The flexible cup is configured to engage and retain an egg in seated relation therewith when subatmospheric pressure is provided within the flexible cup interior via the vacuum housing second passageway.
摘要翻译：提供了蛋提升装置，其包括具有第一和第二通道的真空壳体，与第一和第二通道流体连通的文氏管组件和固定到真空壳体的柔性杯，其中柔性杯具有流体内部与真空室第二通道的通信。当空气流过第一通道时，文氏管组件在第二通道内产生低于大气压的压力。柔性杯被构造成在与柔性杯内部经由真空壳体第二通道设置低于大气压的压力下接合并保持与之关联的蛋。

9. 发明申请

WO01041962A2 NON-CONTACT WORKPIECE HOLDER 审中-公开
标题翻译：非接触式工作台
公开(公告)号：WO01041962A2
公开(公告)日：2001-06-14
申请号：PCT/US2000/033217
申请日：2000-12-07
IPC分类号： B25B11/00 , B65G47/91 , H01L21/683 , B23K
CPC分类号： H01L21/68735 , B25B11/005 , B65G47/911 , H01L21/6838
摘要： The present invention relates to a non-contact holder for substantially planar workpieces, particularly suited for holding thin workpieces without substantial distortion. The present invention includes a cylindrical chuck having a gas inlet orifice positioned at an oblique. The introduction of pressurized gas creates a vortex and vacuum attraction holding a wafer in close proximity to the chuck while the gas exiting from the chuck prevents contact between wafer and chuck. Small diameter chucks located in close proximity help the present invention avoid distortion when processing very thin workpieces. The gas exiting from the chuck of the present invention exits preferentially in a certain angular direction. Chucks are arranged on the wafer holder such that exiting gas is preferentially directed radially towards the periphery of the holder and that exiting gas is directed between adjacent chucks, not directly at another nearby chuck. Chucks on the periphery of the holder are positioned have the gas exiting therefrom towards the periphery of the holder and overlapping the gas flow from immediately adjacent chucks. Chucks on the periphery of the holder are located as close together as feasible. The combination of overlapping gas flow and close proximity creased a gas shield on the boundary of the wafer holder.
摘要翻译：本发明涉及一种用于基本上平面的工件的非接触保持器，特别适用于保持薄的工件而没有实质的变形。本发明包括具有位于倾斜处的气体入口孔的圆柱形卡盘。加压气体的引入产生涡流和真空吸引，将晶片保持在靠近卡盘的位置，而从卡盘排出的气体防止晶片和卡盘之间的接触。紧邻的小直径卡盘有助于本发明在加工非常薄的工件时避免扭曲。从本发明的卡盘排出的气体优先在一定的角度方向上离开。卡盘布置在晶片保持器上，使得离开的气体优选地朝向保持器的周边径向引导，并且排出气体被引导在相邻卡盘之间，而不是直接在另一个附近卡盘处。定位在保持器周边的卡盘具有从其朝向保持器的周边离开的气体，并与来自紧邻的卡盘的气流重叠。夹持器外围的夹头尽可能靠近在一起。重叠气流和近距离的组合在晶片保持器的边界上增加了气体屏蔽。

10. 发明申请

WO99005915A2 METHOD AND DEVICE FOR HANDLING WAFFLE SHEETS PNEUMATICALLY 审中-公开
标题翻译：方法和装置气动装卸WAFFLE SHEETS
公开(公告)号：WO99005915A2
公开(公告)日：1999-02-11
申请号：PCT/EP1998/004569
申请日：1998-07-21
IPC分类号： A21C9/08 , B65G47/91 , A21C
CPC分类号： B65G47/911 , A21C9/08
摘要： According to the invention, a holding plate (1) has a guiding plate (8) in front of the opening (7) of an air channel (4), said air channel being connected to a source of compressed air (5). A surface parallel air current is created between a front face (6) of the holding plate (1) and the waffle sheet (2) to produce a negative pressure which holds said waffle sheet (2) on said holding plate (1).
摘要翻译：对于晶片的气动装卸（2）具有保持板（1）前嘴（7），其连接到压缩空气源的空气管道（4）（5），一个挡板（8）。保持板（1）的端面（6）和晶片板（2）之间产生一个面平行的空气流，这导致真空，保持在保持板（1）晶片板（2）。

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