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    • 3. 发明申请
    • 실리콘 기판의 나노 및 마이크로 복합 구조체를 갖는 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지
    • 制造具有纳米微复合结构的太阳能电池的方法在硅基板和太阳能电池上制造
    • WO2014065465A1
    • 2014-05-01
    • PCT/KR2012/011085
    • 2012-12-18
    • 한국생산기술연구원
    • 정채환이종환김창헌김호성
    • H01L31/042H01L31/18
    • H01L31/035227H01L31/022425H01L31/02363H01L31/035281H01L31/03529H01L31/068H01L31/18H01L31/1804Y02E10/50Y02E10/547Y02P70/521
    • 본 발명의 일 실시예는 실리콘 기판의 나노 및 마이크로 복합 구조체를 갖는 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 포토 레지스트의 리소그래피 디자인에 따라 다양한 크기의 마이크로 와이어를 형성하고, 또한 습식 식각 용액의 농도와 침지 시간의 조절에 의해 다양한 크기 및 종횡비의 나노 와이어를 형성할 수 있는 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지를 제공한다. 이를 위해 본 발명은 태양 전지의 제조 방법에 있어서, 제 1 면과 제 2 면을 갖는 제 1 도전형 반도체 기판을 준비하는 단계, 제 1 도전형 반도체 기판의 제 2 면에 평면 형태가 다수의 가로 방향 라인과 다수의 세로 방향 라인이 상호 교차하는 형태로 포토레지스트를 패터닝하는 단계, 포토레지스트와 대응하는 영역에는 폭이 1 내지 3㎛이고 높이가 3 내지 5㎛인 마이크로 와이어가 형성되도록 하고, 포토레지스트와 대응하지 않는 영역에는 폭이 1 내지 100㎚이고 높이가 1 내지 3㎛인 다수의 나노 와이어가 형성되도록, 반도체 기판을 무전해 식각하는 단계, 마이크로 와이어 및 나노 와이어에 POCl3를 이용하여 제 2 도전형 불순물을 도핑하는 단계, 반도체 기판의 제 1 면에 제 1 전극을 형성하는 단계 및, 마이크로 와이어에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 단위 면적당 입사하는 빛 에너지와 출력의 비율인 태양 전지의 효율은 10 내지 13%인 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지를 제공한다.
    • 本发明的一个实施例涉及一种在硅衬底上制造具有纳米微复合结构的太阳能电池的制造方法以及由此制造的太阳能电池。 要解决的技术问题是提供一种制造太阳能电池和太阳能电池的方法,所述方法能够根据光致抗蚀剂的平版印刷设计形成各种尺寸的微细线,并形成具有各种尺寸和尺寸的纳米线 通过调整湿蚀刻溶液的浓度和浸渍时间来确定长宽比。 为此,本发明提供一种制造太阳能电池和太阳能电池的方法,所述方法包括以下步骤:制备具有第一表面和第二表面的第一导电半导体衬底; 在第一导电半导体衬底的第二表面上图案化光致抗蚀剂,使得光致抗蚀剂的平面形式成为多个水平线和多个垂直线彼此相交的形式; 无电蚀刻半导体衬底,以在与光致抗蚀剂相对应的区域中形成宽度为1-3μm,高度为3-5μm的微细线,并形成宽度为1-100μm的多根纳米线, 在不对应于光致抗蚀剂的区域中的高度为1-3;; 通过使用POCl3,用第二导电杂质掺杂微丝和纳米线; 在所述半导体衬底的第一表面上形成第一电极; 以及在所述微细线上形成第二电极,其中所述太阳能电池的效率为10-13%,所述效率是每单位面积的输出与入射光能的比率。
    • 5. 发明申请
    • 대면적 비정질 실리콘 박막의 선형 전자빔을 이용한 결정화방법에 의한 다결정 실리콘 박막 태양전지의 제조방법
    • 使用线性电子束结晶大面积无定形硅薄膜的方法制造多晶硅薄膜太阳能电池的方法
    • WO2014065464A1
    • 2014-05-01
    • PCT/KR2012/011060
    • 2012-12-18
    • 한국생산기술연구원
    • 정채환이선화류상김호성부성재
    • H01L31/042H01L31/18
    • H01L31/182C23C14/5806H01L31/028H01L31/068H01L31/1872Y02E10/546Y02E10/547Y02P70/521
    • 본 발명의 일 실시예는 대면적 비정질 실리콘 박막의 선형 전자빔을 이용한 결정화방법에 의한 다결정 실리콘 박막 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 저가형 기판에 형성한 비정질 실리콘 박막을 전자빔을 통하여 결정화함으로써, 결정화 분율이 높아 고품질화가 용이하고 저온 공정이 가능하게 하는데 있다. 이를 위해 본 발명의 일 실시예는 기판을 준비하는 기판 준비 단계; 상기 기판 상에 제1+형 비정질 실리콘층을 형성하는 제1+형 비정질 실리콘층 증착단계; 상기 제1+형 비정질 실리콘층 상에 제1형 비정질 실리콘층을 형성하는 제1형 비정질 실리콘층 증착단계; 상기 제1형 비정질 실리콘층에 선형 전자빔을 조사하여 상기 제1형 비정질 실리콘층과 제1+형 비정질 실리콘층을 결정화하여 흡수층을 형성하는 흡수층 형성단계; 상기 흡수층 상에 제2형 비정질 실리콘층을 형성하는 제2형 비정질 실리콘층 증착단계; 및 상기 제2형 비정질 실리콘층에 선형 전자빔을 조사하여 상기 제2형 비정질 실리콘층을 결정화하여 에미터층을 형성하는 에미터층 형성단계를 포함하고, 상기 선형 전자빔은 상기 제1형 및 제2형 비정질 실리콘층 위에서 일정 구간 왕복운동하는 리니어 스캔 방식으로 조사되는 대면적 비정질 실리콘 박막의 선형 전자빔을 이용한 결정화방법에 의한 다결정 실리콘 박막 태양전지의 제조방법을 개시한다.
    • 本发明的一个实施例涉及一种通过使用线性电子束使大面积非晶硅薄膜结晶的方法制造多晶硅薄膜太阳能电池的方法,解决的技术问题是结晶 通过电子束形成在低价基板上的非晶硅薄膜,以便通过具有高结晶收率并在低温下进行加工而容易地获得高质量。 为此,本发明的一个实施例提供了一种利用线性电子束使大面积非晶硅薄膜结晶的方法制造多晶硅薄膜太阳能电池的方法,该方法包括: 制备底物的步骤; 1类非晶硅层沉积步骤,用于在衬底上形成1型非晶硅层; 1型非晶硅层沉积步骤,用于在1 +非晶硅层上形成1型非晶硅层; 吸收层形成步骤,用于通过向1型非晶硅层照射线性电子束,从而使1型非晶硅层和1型非晶硅层结晶而形成吸收层; 用于在吸收层上形成2型非晶硅层的2型非晶硅层沉积步骤; 以及发射极层形成步骤,用于通过将线性电子束照射到2型非晶硅层并因此使2型非晶硅层结晶而形成发射极层,其中线性电子束从1型和2型以上的非晶态辐射 硅层以线性扫描方式在预定区域中往复运动。