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1. 发明申请

WO2004066048A1 クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置审中-公开
标题翻译：用于聚集流体的流量控制方法和用于聚集流体的流量控制装置
公开(公告)号：WO2004066048A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/JP2004/000346
申请日：2004-01-16
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：　圧力式流量制御装置を用いて、真空チャンバ等へ供給するＨＦガス等のクラスター化する流体を、３～３００ＳＣＣＭ程度の流量範囲について、高精度で流量制御できるようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側のガスの圧力Ｐ１　とオリフィス下流側のガスの圧力Ｐ２　との比Ｐ２　／Ｐ１　を気体の臨界圧力比以下に保持した状態でオリフィスを流通するガスの流量ＱをＱ＝ＫＰ１　（但しＫは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置を用いたクラスター化する流体の流量制御方法に於いて、前記圧力式流量制御装置を４０℃以上の温度に加温するか、或いはクラスター化する流体に希釈ガスを加えて分圧以下にすることにより、分子の会合を解離させ、その後単分状態にしたクラスター化する流体を前記オリフィスを通して流通させる。
摘要翻译：使用压力式流量控制装置，可以在大约3-300SCCM的流量范围内高精度地控制诸如HF气体的聚集流体的流量被提供给真空室等。具体而言，使用压力型流量控制装置控制流量的聚集流体的流量的方法，其中计算流过孔口的气体的流量Q为Q = KP1（K为常数），比例为P2 / 保持高达气体的临界压力比的孔 - 上游侧气体压力P1和下游侧气体压力P2之间的P1，其中压力型流量控制装置被加热至至少40℃，或聚集添加稀释气体至最高分压，从而允许通过解离分子缔合产生的聚集流体，然后使其保持在单分子状态，流过孔口。

2. 发明申请

WO2005003694A1 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置审中-公开
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：WO2005003694A1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：PCT/JP2004/008596
申请日：2004-06-18
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
IPC分类号： G01F1/42
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要：　差圧式流量計の構造を簡素化して製造コストの引下げを図ると共に、１００％～１％の広い流量範囲に亘って誤差Ｅが（１％ＳＰ）以下の高精度な流量計測をリアルタイムに且つインライン状態で行えるようにする。　そのため、オリフィスと、オリフィス上流側の圧力Ｐ 1 の検出器と、オリフィス下流側の流体圧力Ｐ 2 の検出器と、オリフィス上流側の流体温度Ｔの検出器と、前記各検出器からの検出圧力Ｐ 1 、Ｐ 2 及び検出温度Ｔを用いてオリフィスを流通する流体流量Ｑを演算する制御演算回路とからなる差圧式流量計に於いて、前記流体流量ＱをＱ＝Ｃ 1 ・Ｐ 1 ／√Ｔ・（（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） m −（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） n ） 1/2 （但しＣ 1 は比例定数、ｍ及びｎは定数）により演算する。
摘要翻译：可以通过简化结构和降低流量的高精度测量来降低生产成本的差压式流量计可以在线性状态下实时地进行，在宽的流动下，误差E不大于（1％SP））率范围为100％-1％。差压式流量计包括孔口，孔口上游侧的压力P1检测器，孔口下游侧的压力检测器P2，孔口上游侧的流体温度T检测器，以及控制操作电路，用于通过检测压力P1和P2以及来自各个检测器的检测温度T来操作通过孔的流体的流量Q，其中流体的流量Q根据以下表达式操作; Q = C1.P1 /√T（（P2 / P1） - （P2 / P1））1/2（其中，C1是比例常数，m和n是常数）。

3. 发明申请

WO2004113860A1 圧力センサ及び圧力制御装置並びに圧力式流量制御装置の自動零点補正装置审中-公开
标题翻译：压力传感器，压力控制器和压力型流量控制器的自动零点校正装置
公开(公告)号：WO2004113860A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/JP2004/008118
申请日：2004-06-10
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 日野昭一 , 高橋栄治 , 三枝慎 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己 , 杉田勝幸
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 日野昭一 , 高橋栄治 , 三枝慎 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己 , 杉田勝幸
IPC分类号： G01L19/02
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/065 , G01L19/0023 , G05D7/0635
摘要：　圧力センサの経時零点ドリフトを自動補正して、その使用期間に拘わらず圧力を正確に検出できるようにした圧力センサと、これを用いた圧力制御装置及び流量制御装置を提供するものである。　具体的には、流体圧力を測定する半導体感圧素子を用いた圧力センサに於いて、圧力センサからのセンサ出力電圧を増幅器を通して外部へ出力すると共に、前記センサ出力電圧をＤ／Ａ変換器を通して圧力センサの経時零点ドリフト補正手段へ入力し、当該経時零点ドリフト補正手段のセンサ出力判定手段に於いて前記センサ出力電圧が設定値より大きいか否かを判定し、更に前記経時零点ドリフト補正手段の作動条件判定手段に於いて圧力センサの作動条件を判定し、前記センサ出力電圧が設定値より大きく且つ圧力センサの作動条件が予かじめ設定した作動条件下にあるときは、Ｄ／Ａ変換器を通して前記センサ出力電圧と同一電圧で且つ逆極性の零点補正用電圧を前記増幅器のオフセット端子へ入力し、圧力センサの経時零点ドリフトを消去する。

4. 发明申请

WO2003058363A1 改良型圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：先进的压力式流量控制装置
公开(公告)号：WO2003058363A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012250
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： An advanced pressure type flow control device capable of accurately controlling a flow by using an experimental flow expression established to accurately fit to the actual flow of compressible fluid in a non-critical area, wherein the experimental flow expression of the compressible fluid in the non-critical area non-sound velocity area is expressed as Qc = KP2m P1 - P2n, and the fluid flow passing through an orifice 4 is calculated by using the expression Qc = KP2m P1 - P2n K is a proportional constant, m and n are constants so that the flow can be accurately and rapidly controlled to a specified one, and a pressure ratio P2/P1 = r provided by an upstream side pressure P1 and a downstream side pressure P2 is always compared with a critical value rc and the flow is calculated by using an expression Qc = KP1 under the critical condition of r rc so that the flow can be accurately and rapidly controlled to the specified one in correspondence to all conditions of the fluid.
摘要翻译：一种先进的压力型流量控制装置，其能够通过使用建立以准确地适应非关键区域中的可压缩流体的实际流动的实验流程表来精确地控制流量，其中可压缩流体在非关键区域中的实验流量表达，临界面非声速区域表示为Qc = KP2m P1-P2n，并且通过使用表达式Qc = KP2m P1-P2n计算通过孔口4的流体流量，K是比例常数，m和n是常数流量可以精确而快速地控制到指定的流量，并且由上游侧压力P1和下游侧压力P2提供的压力比P2 / P1 = r始终与临界值rc进行比较，流量由在r> rc的非临界条件下，在r <= rc的临界条件下使用表达式Qc = KP1，并且在r> rc的非临界条件下使用表达式Qc = KP2m P1-P2n，使得流动可以被精确和快速地控制到指定的一个对应于流体的所有条件。

5. 发明申请

WO2003058187A1 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置审中-公开
标题翻译：压力传感器，压力控制器和压力型流量控制器的温度变送器
公开(公告)号：WO2003058187A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012251
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要： A pressure sensor, a pressure controller and a flow controller in which the pressure can be detected accurately regardless of temperature variation by correcting temperature drift of the pressure sensor automatically. The temperature drift corrector of a pressure type flow controller comprises an upstream side pressure sensor (10) interposed between an orifice (4) and a control valve (22) and detecting the upstream side pressure P 1 . The pressure type flow controller for controlling flow rate at the orifice (4) by opening/closing the control valve (22) while operating the flow rate at the orifice (4) based on the upstream side pressure P 1 comprises a temperature sensor (14) for measuring the fluid temperature, a memory means (64) for storing the relation between the fluid temperature T and the output drift of the upstream side pressure sensor (10), and means for correcting temperature drift by operating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) from the data of the memory means (64) when the fluid temperature T is varied and eliminating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) by the output drift thus operated. According to the arrangement, temperature drift of the pressure sensor is corrected automatically and accurate flow control is ensured.
摘要翻译：压力传感器，压力控制器和流量控制器，其中通过自动校正压力传感器的温度漂移，可以精确地检测压力，而不管温度变化如何。压力型流量控制器的温度漂移校正器包括介于孔口（4）和控制阀（22）之间的上游侧压力传感器（10），并且检测上游侧压力P 1> 1。压力型流量控制器，用于通过在基于上游侧压力P s1 包括用于测量流体温度的温度传感器（14），用于存储流体温度T和上游侧压力传感器（10）的输出漂移之间的关系的存储装置（64），以及用于校正温度漂移的装置当流体温度T变化时，操作上游侧压力传感器（10）的输出漂移与存储装置（64）的数据，并且消除上游侧压力传感器（10）的输出漂移，由此产生的输出漂移。根据该结构，自动校正压力传感器的温度漂移，并且确保精确的流量控制。

6. 发明申请

WO2004114038A1 流量制御装置を備えたガス供給設備からチャンバーへのガス分流供給装置及びガス分流供給方法审中-公开
标题翻译：用于分配和进料气体流量的装置 - 调节装置的气体输送装置到室
公开(公告)号：WO2004114038A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/JP2004/008117
申请日：2004-06-10
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
发明人：杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要：　流量制御装置を備えたガス供給設備から所定流量Ｑの処理ガスを正確且つ迅速に、所望の流量比Ｑ 1 ／Ｑ 2 でもってチャンバー内へ分流供給できるようにしたものである。そのために、本発明では、流量制御装置ＱＣＳを備えたガス供給設備１から所定流量ＱのガスＧをチャンバーへ供給するための複数の分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 に、夫々開閉弁ＯＶ 1 、ＯＶ 2 を介設し、前記開閉弁ＯＶ 1 の下流側にあってＧＬ 1 から分岐したバイパスラインＢＬ 1 と、開閉弁ＯＶ 2 の下流側にあってＧＬ 2 から分岐したＢＬ 2 と、バイパスラインＢＬ 1 とバイパスラインＢＬ 2 に接続した圧力式分流量制御器ＦＶと、分流供給ラインＧＬ 1 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 1 と、分流供給ラインＧＬ 2 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 2 を用い、分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 の端末に固定したシャワープレート３、４を通して、所望の分流流量Ｑ 1 、Ｑ 2 でもって、チャンバーＣ内へ総量Ｑ＝Ｑ 1 ＋Ｑ 2 のガスを分流供給する。
摘要翻译：具有预定流量（Q）的处理气体被准确且快速地分离并从具有流量调节装置的气体供给设备进料到具有期望流量比（Q1 / Q2）的室中。开/关阀（OV1，OV2）设置在用于从具有流量的气体供给设备（1）向腔室供给具有预定流量（Q）的气体（G）的分支供给管线（GL1，GL2）调节装置（QCS）。还设置有位于阀（OV1）的下游侧并从位于阀（OV2）的下游侧的（GL1，BL2）分支并从（GL2）分支的旁路管线（BL1），压力型连接到旁路管线（BL1）和旁路管路（BL2）的分段流量调节器（FV），用于测量分支供给管线（GL1）中的压力的压力传感器（PS1）测量分支供给管线（GL2）中的压力。通过上述结构，将总量为Q = Q1 + Q2的气体通过固定到端子的喷淋板（3,4）以具有期望的分流流量（Q1，Q2）的分流供给到室（C）分支喂养线（GL1，GL2）。

7. 发明申请

WO2003102707A1 流量制御装置を備えたガス供給設備からのチャンバーへのガス分流供給方法审中-公开
标题翻译：从配有流量控制器的气体供应设备供应到气室的气体供应方法
公开(公告)号：WO2003102707A1
公开(公告)日：2003-12-11
申请号：PCT/JP2003/000437
申请日：2003-01-20
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
发明人：杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： A method for supplying a specified quantity Q of processing gas while dividing at a desired flow rate ratio Q1/Q2 accurately and quickly from a gas supply facility equipped with a flow controller into a chamber. When a specified quantity Q of gas is supplied while being divided at a desired flow rate ratio Q1/Q2 from a gas supply facility equipped with a flow controller into a pressure reduced chamber C through a plurality of branch supply lines and shower plates fixed to the ends thereof, pressure type division quantity controllers FV1 and FV2 are provided in the plurality of branch supply lines GL1 and GL2. Opening control of both division quantity controllers FV1 and FV2 is started by an initial flow rate set signal from a division quantity control board FRC for fully opening the control valve CV of the pressure type division quantity controller having a higher flow rate and pressures P3' and P3" on the downstream side of the control valve CV are regulated thus supplying a total quantity Q=Q1+Q2 of gas while dividing into the chamber C through orifice holes (3a, 4a) made in shower plates (3, 4) at desired division quantities Q1 and Q2 represented by formulas Q1=C1P3' and Q2=C2P3" (where, C1 and C2 are constants dependent on the cross-sectional area of the orifice hole or the gas temperature on the upstream side thereof).
摘要翻译：一种用于在从配备有流量控制器的气体供给设备进入腔室的情况下，以期望的流量比Q1 / Q2精确而快速地分配处理气体的规定量Q的方法。当通过多个分支供应管线和固定到所述流体控制器的喷淋板以预期的流量比Q1 / Q2从装备有流量控制器的气体供应设备分配到减压室C中时供应指定数量的气体在多个分支供给线GL1和GL2中设置有压力分离量控制器FV1和FV2。通过来自分割量控制板FRC的初始流量设定信号来开始分控数量控制器FV1和FV2的打开控制，以完全打开具有较高流量和压力P3'的压力型分配量控制器的控制阀CV，并且调节控制阀CV的下游侧的P3“被调节，从而通过在喷淋板（3,4）中制造的孔口（3a，4a）分成腔室C，从而提供气体的总量Q = Q1 + Q2，由公式Q1 = C1P3'和Q2 = C2P3“表示的分割量Q1和Q2（其中C1和C2是取决于孔口的横截面积或其上游侧的气体温度的常数）。

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