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    • 6. 发明申请
    • 光学部材およびその製造方法
    • 光学部件及其制造方法
    • WO2005096037A1
    • 2005-10-13
    • PCT/JP2005/006318
    • 2005-03-31
    • 日本ゼオン株式会社大見 忠弘棚橋 直樹林 昌彦
    • 大見 忠弘棚橋 直樹林 昌彦
    • G02B5/18
    • G02B1/118G02B5/008
    •  表面に微細構造を有し、かつ隣接する微細構造の間隔が50~1,000nmである基材の表層部に、該基材の内層部よりもフッ素原子含有量が多い相がある、光の回折現象を利用した光学部材。好ましくは、前記微細構造がモスアイ構造であり、また、前記基材の屈折率が1.4~1.9であり、前記微細構造が前記基材表面の法線方向に伸びる微細突起であり、かつ該突起はその先端に向かって細くなっている。この光学部材は、表面に微細構造を有し、かつ隣接する微細構造の間隔が50~1,000nmである基材の表面を、フッ素ガスを含有する雰囲気に曝す工程を含む方法によって製造される。
    • 在光学构件的表面上,在相邻的精细结构之间以50-1,000nm的间隔设置精细结构。 在表面层部分中,设置比基材的内层部分含有更多的氟原子的相,并且光学部件使用光的衍射现象。 优选的是,微细结构是蛾眼结构,基材的折射系数为1.4〜1.9,细结构是在基材表面的法线方向上延伸的微细的突出部, 前沿。 该光学部件是通过以下方法制造的:一种方法,该方法包括:在含有氟气体的气氛中,在相邻的精细结构之间以50-1,000nm的间隔在表面上具有微细结构的表面露出的方法 。