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1. 发明申请

WO2008047541A1 膜塗布装置および膜塗布方法审中-公开
标题翻译：电影涂装和胶片涂布方法
公开(公告)号：WO2008047541A1
公开(公告)日：2008-04-24
申请号：PCT/JP2007/068757
申请日：2007-09-27
申请人：国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 大蔵領一 , 中村修 , 松岡孝明
发明人：大見忠弘 , 大蔵領一 , 中村修 , 松岡孝明
IPC分类号： H01L21/027 , B05C11/04 , B05C11/10 , B05D3/00 , B05D3/04 , G03F7/16
CPC分类号： G11B7/266 , B05D1/002 , G11B5/842
摘要：　被塗布基板を内部に導入して、この基板に膜塗布を行うための塗布容器と、塗布液を保持する塗布液容器と、前記塗布液容器から塗布液を前記塗布容器に輸送する液輸送系とを含む膜塗布装置において、塗布された膜内における酸素及び水分の内の少なくとも一方の含有を抑制する手段を有する。
摘要翻译：涂膜装置设置有涂布容器，其在待涂布的基材内部引入并涂覆基材; 用于储存涂布溶液的涂布溶液容器; 以及用于从涂布液容器将涂布液输送到涂布容器的液体输送系统。膜涂装置还具有抑制所施加的膜中至少氧或水的含量的装置。

2. 发明申请

WO2008041625A1 塗布膜コーティング装置审中-公开
标题翻译：电影涂装
公开(公告)号：WO2008041625A1
公开(公告)日：2008-04-10
申请号：PCT/JP2007/068936
申请日：2007-09-28
申请人：国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 大蔵領一 , 中村修 , 松岡孝明
发明人：大見忠弘 , 大蔵領一 , 中村修 , 松岡孝明
IPC分类号： H01L21/027 , B05C11/00 , B05C11/08 , B05D1/40 , G03F7/16 , G11B5/84 , G11B7/26
CPC分类号： G11B5/84 , G03F7/162 , G11B7/261 , H01L21/6715 , H01L21/6838
摘要：　音速ノズルより、ウェーハの裏面に向かってガスを噴出させる。ウェーハの裏面に沿って外周側へと流れるガスの流速が、ウェーハの裏面と第２カップとの間で速められ、ベルヌーイ効果により保持される。これによって、ウェーハのバタツキが抑えられる。また、裏面へレジスト液が回り込むのを防止することができる。
摘要翻译：从声波喷嘴向晶片的后表面喷射气体。沿着晶片的后表面流动到外周侧的气体的流速在晶片的后表面和第二杯之间增加，并且保持由伯努利的作用。因此，晶片的摇摆被抑制。此外，防止抗蚀剂溶液流到背面。

3. 发明申请

WO2007119745A1 薬液または純水供給装置、基板処理システム、基板処理装置または基板処理方法审中-公开
标题翻译：用于药物溶液或超声波水，板处理系统，板处理设备或板处理方法
公开(公告)号：WO2007119745A1
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：PCT/JP2007/057971
申请日：2007-04-11
申请人：国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , リアライズ・アドバンストテクノロジ株式会社 , 大見忠弘 , 寺本章伸 , 山中二朗 , 水谷信崇 , 中村修 , 松岡孝明 , 大蔵領一
发明人：大見忠弘 , 寺本章伸 , 山中二朗 , 水谷信崇 , 中村修 , 松岡孝明 , 大蔵領一
IPC分类号： H01L21/304 , F16L11/06
CPC分类号： H01L21/67051 , H01L21/6708
摘要： By softening PVDF, which is a fluorinated resin, by adding a perfluoro monomer thereto, the oxygen permeation level can be remarkably lowered and a flexible fluorinated resin tube can be obtained. By providing a nylon tube as an outer layer, the oxygen permeation level can be lowered too. These tubes are employed between a feeder (111) for drug solution(s) or ultrapurified water and a washing device or a device (101) for utilizing drug solution(s) or ultrapurified water such as a wet etching device.
摘要翻译：通过使氟化树脂软化PVDF，通过向其中加入全氟单体，可以显着降低氧渗透水平，并且可以获得柔性的氟化树脂管。通过提供尼龙管作为外层，氧渗透水平也可以降低。这些管被用在药液供给器（111）或超纯水之间，洗涤装置或用于利用药物溶液或超级水如湿蚀刻装置的装置（101）。

4. 发明申请

WO2006064840A3 洗浄装置、この洗浄装置を用いた洗浄システム、及び被洗浄基板の洗浄方法审中-公开
公开(公告)号：WO2006064840A3
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：PCT/JP2005/022951
申请日：2005-12-14
申请人：リアライズ・アドバンストテクノロジ株式会社 , 大蔵領一 , 吉田達朗 , 瀧川喜重 , 中村修
发明人：大蔵領一 , 吉田達朗 , 瀧川喜重 , 中村修
IPC分类号： H01L21/304 , B01J4/00 , H01L21/677

5. 发明申请

WO2005003694A1 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置审中-公开
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：WO2005003694A1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：PCT/JP2004/008596
申请日：2004-06-18
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
IPC分类号： G01F1/42
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要：　差圧式流量計の構造を簡素化して製造コストの引下げを図ると共に、１００％～１％の広い流量範囲に亘って誤差Ｅが（１％ＳＰ）以下の高精度な流量計測をリアルタイムに且つインライン状態で行えるようにする。　そのため、オリフィスと、オリフィス上流側の圧力Ｐ 1 の検出器と、オリフィス下流側の流体圧力Ｐ 2 の検出器と、オリフィス上流側の流体温度Ｔの検出器と、前記各検出器からの検出圧力Ｐ 1 、Ｐ 2 及び検出温度Ｔを用いてオリフィスを流通する流体流量Ｑを演算する制御演算回路とからなる差圧式流量計に於いて、前記流体流量ＱをＱ＝Ｃ 1 ・Ｐ 1 ／√Ｔ・（（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） m −（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） n ） 1/2 （但しＣ 1 は比例定数、ｍ及びｎは定数）により演算する。
摘要翻译：可以通过简化结构和降低流量的高精度测量来降低生产成本的差压式流量计可以在线性状态下实时地进行，在宽的流动下，误差E不大于（1％SP））率范围为100％-1％。差压式流量计包括孔口，孔口上游侧的压力P1检测器，孔口下游侧的压力检测器P2，孔口上游侧的流体温度T检测器，以及控制操作电路，用于通过检测压力P1和P2以及来自各个检测器的检测温度T来操作通过孔的流体的流量Q，其中流体的流量Q根据以下表达式操作; Q = C1.P1 /√T（（P2 / P1） - （P2 / P1））1/2（其中，C1是比例常数，m和n是常数）。

6. 发明申请

WO2005033817A1 チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ审中-公开
标题翻译：用于控制室内压力和内压控制室的装置
公开(公告)号：WO2005033817A1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/JP2004/013368
申请日：2004-09-14
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 寺本章伸 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 永瀬正明 , 池田信一
发明人：大見忠弘 , 寺本章伸 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 永瀬正明 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D16/208 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要：　流量の制御精度が小流量域で大幅に低下するのを防止し、全流量制御域に亘って高精度な流量制御を可能とすることにより、チャンバへ供給するガス流量を調整してチャンバ内圧を広範囲に亘って高精度で制御する。　具体的には、並列状に接続した複数基の圧力式流量制御装置と、複数基の圧力式流量制御装置の作動を制御する制御装置とから形成され、真空ポンプにより排気されたチャンバへ所望のガスを流量制御しつつ供給するチャンバへのガス供給装置に於いて、一基の圧力式流量制御装置をチャンバへ供給する最大流量の多くとも１０％までのガス流量域を制御する装置に、残余の圧力式流量制御装置を残りのガス流量域を制御する装置とし、更にチャンバに圧力検出器を設けると共に当該圧力検出器の検出値を制御装置へ入力し、圧力式流量制御装置への制御信号を調整してチャンバへのガス供給量を制御することにより、チャンバ内圧を制御する。
摘要翻译：在低流量区域防止流量控制精度降低，从而能够对整个流量控制区域进行高精度的流量控制。由此，通过调节供给到室的气体的流量，可以在宽范围内高精度地控制室内压力。一种用于将气体供给到室的气体供给装置，其中该装置由并联连接的压力型流量控制装置和用于控制流量控制装置并输送所需气体的控制装置同时控制流量，到由真空泵脱气的室。气体供给装置被构造成使得压力型流量控制装置之一控制供给到室的最大流量的最大值的10％的气体流量范围，并且剩余流量控制装置控制剩余范围。此外，压力检测器安装在室中，并且来自检测器的检测值被输入到控制装置中。对压力式流量控制装置的控制信号进行调节，以控制供给室的气体量，控制室内压力。

7. 发明申请

WO2003058363A1 改良型圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：先进的压力式流量控制装置
公开(公告)号：WO2003058363A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012250
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： An advanced pressure type flow control device capable of accurately controlling a flow by using an experimental flow expression established to accurately fit to the actual flow of compressible fluid in a non-critical area, wherein the experimental flow expression of the compressible fluid in the non-critical area non-sound velocity area is expressed as Qc = KP2m P1 - P2n, and the fluid flow passing through an orifice 4 is calculated by using the expression Qc = KP2m P1 - P2n K is a proportional constant, m and n are constants so that the flow can be accurately and rapidly controlled to a specified one, and a pressure ratio P2/P1 = r provided by an upstream side pressure P1 and a downstream side pressure P2 is always compared with a critical value rc and the flow is calculated by using an expression Qc = KP1 under the critical condition of r rc so that the flow can be accurately and rapidly controlled to the specified one in correspondence to all conditions of the fluid.
摘要翻译：一种先进的压力型流量控制装置，其能够通过使用建立以准确地适应非关键区域中的可压缩流体的实际流动的实验流程表来精确地控制流量，其中可压缩流体在非关键区域中的实验流量表达，临界面非声速区域表示为Qc = KP2m P1-P2n，并且通过使用表达式Qc = KP2m P1-P2n计算通过孔口4的流体流量，K是比例常数，m和n是常数流量可以精确而快速地控制到指定的流量，并且由上游侧压力P1和下游侧压力P2提供的压力比P2 / P1 = r始终与临界值rc进行比较，流量由在r> rc的非临界条件下，在r <= rc的临界条件下使用表达式Qc = KP1，并且在r> rc的非临界条件下使用表达式Qc = KP2m P1-P2n，使得流动可以被精确和快速地控制到指定的一个对应于流体的所有条件。

8. 发明申请

WO2003058187A1 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置审中-公开
标题翻译：压力传感器，压力控制器和压力型流量控制器的温度变送器
公开(公告)号：WO2003058187A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012251
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要： A pressure sensor, a pressure controller and a flow controller in which the pressure can be detected accurately regardless of temperature variation by correcting temperature drift of the pressure sensor automatically. The temperature drift corrector of a pressure type flow controller comprises an upstream side pressure sensor (10) interposed between an orifice (4) and a control valve (22) and detecting the upstream side pressure P 1 . The pressure type flow controller for controlling flow rate at the orifice (4) by opening/closing the control valve (22) while operating the flow rate at the orifice (4) based on the upstream side pressure P 1 comprises a temperature sensor (14) for measuring the fluid temperature, a memory means (64) for storing the relation between the fluid temperature T and the output drift of the upstream side pressure sensor (10), and means for correcting temperature drift by operating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) from the data of the memory means (64) when the fluid temperature T is varied and eliminating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) by the output drift thus operated. According to the arrangement, temperature drift of the pressure sensor is corrected automatically and accurate flow control is ensured.
摘要翻译：压力传感器，压力控制器和流量控制器，其中通过自动校正压力传感器的温度漂移，可以精确地检测压力，而不管温度变化如何。压力型流量控制器的温度漂移校正器包括介于孔口（4）和控制阀（22）之间的上游侧压力传感器（10），并且检测上游侧压力P 1> 1。压力型流量控制器，用于通过在基于上游侧压力P s1 包括用于测量流体温度的温度传感器（14），用于存储流体温度T和上游侧压力传感器（10）的输出漂移之间的关系的存储装置（64），以及用于校正温度漂移的装置当流体温度T变化时，操作上游侧压力传感器（10）的输出漂移与存储装置（64）的数据，并且消除上游侧压力传感器（10）的输出漂移，由此产生的输出漂移。根据该结构，自动校正压力传感器的温度漂移，并且确保精确的流量控制。

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