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    • 2. 发明申请
    • キャビティリングダウン分光方法及びそれに用いるプローブ
    • CAVITY RINGDOWN光谱法和使用它的探测器
    • WO2007010951A1
    • 2007-01-25
    • PCT/JP2006/314305
    • 2006-07-19
    • 国立大学法人名古屋大学NUエコ・エンジニアリング株式会社堀 勝西澤 典彦伊藤 昌文加納 浩之
    • 堀 勝西澤 典彦伊藤 昌文加納 浩之
    • G01N21/27
    • G01N21/552G01N21/7746
    •  キャビティ外壁面に付着した試料を分析するギャビティリングダウン分光。 (図1.A)底面が直角二等辺三角形状の三角柱プリズム13の、底面の長辺を含む側面にミラー21及び22を設ける。光ファイバ等11から入射された検出光はミラー21を介してプリズム13に供給される。検出光はプリズム13の各々2つの底面の短辺を包含する2つの面とミラー21及び22の4箇所の反射面にてリングダウンされる。この際、プリズム13の各々2つの底面の短辺を包含する反射面であるプローブ外壁面に被測定物質を付着させると、エバネッセント波又は近接場光の吸収によりリングダウン率が増加する。これをミラー12から射出される射出光の強度の変化から時定数を求め、吸収係数を算出できる。1.B~1.Dの構成も可能である。尚、1.Cの符号25は圧電素子であって連続光(CW)をパルス状にするもの、1.Dの符号14は等脚台形状のプリズムである。
    • 用于分析沉积在腔体外壁表面上的试样的腔体衰落光谱。 (图1A)在具有矩形等边三角形底面的三角柱棱镜(13)的侧表面(包括底面的长边)上设置镜子(21,22)。 从光纤等入射的检测光经由反射镜(21)供给到棱镜(13)。 检测光在棱镜(13)和反射镜(21,22)的四个反射面上包括两个平面,包括底面的相应两个短边。 当要测量的物体沉积在探头的外壁表面上时,其是包括底表面的相应两个短边的反射平面的棱镜(13),通过吸收ev逝波或接近 场地光。 因此,根据来自反射镜(12)的输出光的强度的变化来确定时间常数,以能够计算吸收系数。 1.B-1.D中的宪法也是可以的。 1.C中的符号25表示形成脉冲形状的连续光(CW)的压电元件,而1.D中的符号14表示等腰梯形棱镜。
    • 3. 发明申请
    • プラズマ発生装置
    • 等离子发生器
    • WO2009041334A1
    • 2009-04-02
    • PCT/JP2008/066813
    • 2008-09-18
    • NUエコ・エンジニアリング株式会社堀 勝加納 浩之
    • 堀 勝加納 浩之
    • H05H1/24
    • H05H1/24H01J37/3244H01J37/32449H01J37/32834H05H1/48
    • 【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置。 【解決手段】プラズマ発生装置110は、アルミナ(Al 2 O 3 )を原料とする焼結体から成る筐体部11を有する。筐体部11は、スリット状のガス導入口11i及び複数個の円筒状のガス噴出口11oを有する。ガス導入口11iからプラズマ化領域Pの直上までは、スリット幅(2.Aの前後方向、図2.Bの左右方向)を1mmとし、内径1~2mmのガス噴出口11oはプラズマ化領域Pの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Pの断面は一辺2~5mmの正方形とした。電極2a及び2bは各々向き合った表面に凹部(ホロー)を有する。商用交流電圧である、60Hz、100Vを用いて約9kVに昇圧し、20mAで電極2a、2b間に印加し、アルゴンをガス導入口11iから導入すると、電極2a及び2b間を4cm迄離間しても、プラズマ化が確認された。
    • 提供具有增加等离子体产生区域的体积的等离子体发生器。 解决问题的手段等离子体发生器(110)具有由材料为氧化铝(Al2O3)的烧结体制成的壳体(11)。 壳体(11)具有狭缝状气体入口(11i)和圆柱形气体出口(11o)。 狭缝的宽度(图2.A中的垂直方向和图2.B中的水平方向)为1mm,并且从气体入口(11i)到等离子体产生区域正上方的区域是恒定的 (P)。 内径为1〜2mm的气体出口(11o)沿等离子体产生区域(P)的长度线性排列。 等离子体产生区域(P)的横截面为2至5mm的边的正方形。 在电极(2a,2b)的相对表面上形成有凹部(凹部)。 将商业交流电压100V(60Hz)升高至约9kV,并且以20mA的电流在电极(2a,2b)之间施加电压。 即使电极(2a,2b)被分离直到4cm,氩气也通过气体入口(11i)引入等离子体。
    • 4. 发明申请
    • 放電光源
    • 放电光源
    • WO2007136033A1
    • 2007-11-29
    • PCT/JP2007/060370
    • 2007-05-21
    • NUエコ・エンジニアリング株式会社堀 勝加納 浩之
    • 堀 勝加納 浩之
    • H01J61/16H01J61/067H01J61/76H05B31/26
    • H01J61/86H01J61/0732H01J61/16H01J61/28
    • The present invention aims to provide a light-emitting device as a point light source having a broad emission spectrum by a safe and simple process. Specifically disclosed is a discharge light source comprising an insulated pipe (30) and electrodes (31a, 31b) as shown in Fig. 1. Projections (32a, 32b) respectively protrude from the electrodes (31a, 31b). By applying a voltage to the electrodes (31a, 31b) while flowing an argon gas between the projection (32a) and the projection (32b) through the insulated pipe (30), a glow discharge is produced between the projection (32a) and the projection (32b), thereby emitting light. Since the distance between the projection (32a) and the projection (32b) is very narrow, the emission area is small, thereby forming a point light source. By increasing the flow rate of the gas, luminous intensity is increased and thus there can be obtained a wide continuous emission spectrum from ultraviolet to visible region.
    • 本发明的目的在于提供一种通过安全且简单的方法具有宽发射光谱的点光源的发光装置。 具体公开的是包括绝缘管(30)和如图1所示的电极(31a,31b)的放电光源。 突起(32a,32b)分别从电极(31a,31b)突出。 通过在通过绝缘管(30)在突起(32a)和突起(32b)之间流动氩气的同时向电极(31a,31b)施加电压,在突起(32a)和 突起(32b),从而发光。 由于突起(32a)和突起(32b)之间的距离非常窄,所以发射面积小,从而形成点光源。 通过增加气体的流量,增加发光强度,从而可以获得从紫外到可见光区域的宽的连续发射光谱。
    • 7. 发明申请
    • 分光方法及び分光装置
    • 光谱法和器件
    • WO2007034681A1
    • 2007-03-29
    • PCT/JP2006/317683
    • 2006-09-06
    • 国立大学法人名古屋大学NUエコ・エンジニアリング株式会社伊藤 昌文西澤 典彦堀 勝後藤 俊夫加納 浩之
    • 伊藤 昌文西澤 典彦堀 勝後藤 俊夫加納 浩之
    • G01N21/27G01N21/39
    • G01N21/39G01J3/02G01J3/0218G01J3/0224G01J3/10G01J3/42G01J2001/4242G01N2201/0697G02B6/2861
    • 【課題】試料の光吸収係数を高感度で測定する装置を実現する。 【解決手段】リングダウン分光装置は、波長可変フェムト秒ソリトンパルス光源1を用いる。パルス光は、第1光伝送路4、光切換スイッチ5を介して、ループ状の光ファイバー6に入力する。リングダウンパルス光は、光切換スイッチ5を介して、ホモダイン検波器40に入力する。一方、第1光伝送路4を伝搬するパルス光は、光方向性結合器8、第1光スイッチ素子12を介して、第2光伝送路20を構成する各光伝送路に分岐入力される。この第2光伝送路20を伝搬するパルス光が参照光として、ホモダイン検波器40に入力して、同期検波される。第2光伝送路20を構成する複数の光伝送路の光路長は、光ファイバー6の長さだけ、順次、異なると共に、それぞれの光伝送路は、光路長を微小変動させることができる。
    • [问题]实现用于以高灵敏度测量样品的光吸收系数的装置。 解决问题的手段下降光谱装置使用可变波长飞秒级孤子脉冲光源(1)。 脉冲光束经由第一光传输路径(4)和光转换开关(5)输入到环形光纤(6)。 经由光转换开关(5)将衰减脉冲波束输入到零差检测器(40)。 在第一光传输路径(4)上传播的脉冲光束经由光指向性耦合器(8)和第一光开关元件(12)被分支并输入到构成第二光传输路径(20)的各个光传输路径。 在该第二光传输路径(20)上传播的脉冲光束作为参考光输入到零差检测器(40),并被同步检测。 构成第二光传输路径(20)的多个光传输路径的光路长度依次不同于光纤(6)的长度,并且各个光传输路径的光路长度可以稍微改变。
    • 8. 发明申请
    • 光源
    • WO2008123196A1
    • 2008-10-16
    • PCT/JP2008/055439
    • 2008-03-24
    • NUエコ・エンジニアリング株式会社株式会社片桐エンジニアリング堀 勝加納 浩之田 昭治
    • 堀 勝加納 浩之田 昭治
    • H05H1/00G01N21/01G01N21/31H01L21/3065
    • H05H1/0025G01N21/15G01N21/3103G01N2021/158G01N2201/023G01N2201/0233G01N2201/061
    • 【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できる光源を実現すること。 【解決手段】本光源は、管状の筐体12と、筐体の内壁に沿って設けられた、冷却媒体を流通させる冷却媒体流通路30と、筐体の先端に配設されたレンズ50と、レンズの手前であって、筐体内部において、その筐体の軸に垂直に、相互に平行に、配設された第1電極44及び第2電極46と、その間に配設された絶縁スペーサ46とを有する。第1電極、絶縁スペーサ及び第2電極の中央部を軸の方向に貫通する孔47を有する。冷却媒体流通路の内壁に沿って、放電ガスを、レンズの裏面に向かって導入し、レンズで反射させて、孔を通して、流通させる放電ガス流通路を設けた。
    • [问题]实现能够精确测量颗粒密度而不干扰等离子体条件的光源。 解决问题的手段光源具有管状壳体(12),沿着壳体的内壁设置的允许冷却介质在通道中流动的冷却介质通道(30),设置有透镜(50) 在壳体的前端处设置有第一电极(44)和第二电极(45),所述第一电极(44)和第二电极(45)设置在位于透镜的该侧面上且位于壳体内的位置,以垂直于壳体的轴线并平行于每个 以及设置在第一和第二电极之间的绝缘间隔物(46)。 一个孔(47)轴向延伸穿过第一电极,绝缘垫片和第二电极的中心。 光源还具有放电气体通道,用于沿着冷却介质通道的内壁朝向透镜的后表面引入放电气体,并使放电气体被透镜反射,以允许气体流过 那个洞。
    • 10. 发明申请
    • プラズマ発生装置
    • 等离子体发生装置
    • WO2006075570A1
    • 2006-07-20
    • PCT/JP2006/300128
    • 2006-01-10
    • 国立大学法人名古屋大学NUエコ・エンジニアリング株式会社堀 勝加納 浩之
    • 堀 勝加納 浩之
    • H05H1/24H01L21/304H01L21/302H01L21/31
    • H01J37/32596H01J37/32009H05H1/46H05H2001/466
    • 【課題】任意形状の領域に効率良くプラズマを照射すること。 【解決手段】電極10A及び10Bは、互いに対峙する面に各々一連の溝部11を有する。電極10A及び10Bと、プラズマを発生させるガスの流路201を有する絶縁物から成る治具20とを組み合わせて開口部101を形成する。こうして電極10A及び10Bに交流電位を印加すると、陰極側となった電極の溝部11にホローカソードプラズマが発生し、プラズマを発生させるガスの流れと共に図面上方に位置する被加工物に照射される。電極10A及び10Bの対峙する領域、即ちの開口部101の形状を設計することで、任意形状の領域に効率良くプラズマを照射することが可能となる。
    • [问题]用等离子体有效地照射具有任意形状的区域。 解决问题的手段电极(10A,10B)分别在面对面上设置有一系列槽部(11)。 通过组合电极(10A,10B)和由具有用于产生等离子体的气体流路(201)的绝缘材料构成的夹具(20)形成开口部(101)。 因此,当向电极(10A,10B)施加交替电位时,在阴极侧的电极的槽部(11)中产生空心阴极等离子体,并且将等离子体施加到待处理物体上 图中的上部,用于产生等离子体的气体流。 通过设计电极(10A,10B)彼此面对的区域,即开口部(101)的形状,有效地照射等离子体的区域。