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热词
    • 1. 发明申请
    • 被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法
    • 待检物体成像装置,物体成像方法,表面检测装置和表面检测方法
    • WO2017179243A1
    • 2017-10-19
    • PCT/JP2016/087728
    • 2016-12-19
    • 新日鐵住金株式会社
    • 今野 雄介小林 尊道赤木 俊夫日比 厚裕古家 順弘中崎 昭仁
    • G01N21/892
    • G01N21/8806G01B11/303G01N15/06G01N21/00G01N21/359G01N21/55G01N21/57G01N21/88G01N21/8851G01N21/8901G01N21/8914G01N21/892G01N21/8922G01N21/94G01N21/952G01N2021/8918G01N2201/0697
    • 【課題】可視光の波長程度の表面粗度を有する被検査体の表面に生じた表面粗度の数倍程度の凹凸欠陥等を高感度に発見し、被検査体の表面に存在する汚れと凹凸疵との区別を正確に行うとともに装置の小型化を図ること。 【解決手段】本発明に係る被検査体撮像装置は、赤外波長帯域に属し、被検査体の表面において所定の広がり半角を有する光束を発生させる光源と、光束を所定の投射角で被検査体の表面に投射する投射光学系と、被検査体の表面からの反射光を撮像する撮像部とを備え、撮像部は、少なくとも1つの凸レンズを有し、反射光を集光しつつ当該反射光を二つの異なった方向へ分岐する撮像光学系と、撮像光学系を透過した各反射光を撮像する第1及び第2の撮像素子とを有しており、第1の撮像素子は反射光の光軸に沿って撮像光学系の被検査体の表面に共役な位置よりも被検査体側に位置し、第2の撮像素子は当該共役な位置よりも反射光の進行方向側に位置する。
    • 它发现

      上具有约可见光的波长或具有高灵敏度等的表面粗糙度检查对象的表面上产生的表面粗糙度的不规则缺陷A几次,被检 为了准确区分身体表面存在的污染物和不规则的瑕疵并使装置小型化。 属于红外线波段的光源,其在被检测体的表面产生具有规定的扩散半角的光束;光源,其以规定的投射角度发光 投影光学系统,其将光投影到身体的表面上;以及成像单元,其捕获来自待检查对象的表面的反射光,其中,所述成像单元包括至少一个凸透镜, 用于将光分裂到两个不同的方向上的成像光学系统,具有第一和用于成像通过成像光学系统传输的各自的反射光的第二图像传感器,所述第一图像传感器被反射 沿着位于所述检查侧比共轭的位置与成像光学系统的测试对象的表面的光轴,所述第二成像元件位于比所述共轭的位置的反射光的前进方向。

    • 8. 发明申请
    • MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD, TOMOGRAPHY APPARATUS AND METHOD
    • 测量装置和方法,测量装置和方法
    • WO2013133294A1
    • 2013-09-12
    • PCT/JP2013/056060
    • 2013-02-27
    • CANON KABUSHIKI KAISHA
    • ITSUJI, Takeaki
    • G01N21/41G01B11/06G01N21/35G01N21/47
    • G01N21/3586G01B11/06G01N21/35G01N21/3581G01N21/41G01N21/47G01N21/4795G01N2201/06113G01N2201/0638G01N2201/0697
    • An apparatus configured to obtain a physical property of an object by time-domain spectroscopy includes: a detection unit (101); a delay unit (104) configured to adjust a time difference between generation and detection; a shaping unit (102) configured to collect the electromagnetic wave pulses; a waveform obtaining unit (105) configured to construct a time waveform of the electromagnetic wave pulses; and a collecting position adjusting unit (106) configured to adjust a collecting position. When the collecting position is moved, an amount of adjustment when the collecting position matches first (114) and second reflection portions (115), respectively, of the object, and a difference by the delay unit required for detecting first and second pulses of the time waveform are obtained, and from an amount of change of the amount of adjustment and the difference, a thickness and a refractive index of a region between the first and second reflection portions of the object are calculated.
    • 一种被配置为通过时域光谱获得物体的物理性质的装置包括:检测单元(101); 延迟单元(104),被配置为调整生成和检测之间的时间差; 被配置为收集电磁波脉冲的成形单元(102) 波形获取单元,被构造成构成电磁波脉冲的时间波形; 以及被配置为调整收集位置的收集位置调整单元(106)。 当收集位置移动时,当收集位置分别与物体的第一反射部分(114)和第二反射部分(115)匹配时,调节量以及通过检测物体的第一和第二脉冲检测所需的延迟单元的差值 获得时间波形,并且根据调整量和差值的变化量计算物体的第一和第二反射部分之间的区域的厚度和折射率。