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    • 2. 发明申请
    • 窒化物半導体発光素子およびその製造方法
    • 氮化物半导体发光元件及其制造方法
    • WO2006131990A1
    • 2006-12-14
    • PCT/JP2005/010993
    • 2005-06-09
    • 住友化学株式会社小野 善伸山中 貞則秦 雅彦
    • 小野 善伸山中 貞則秦 雅彦
    • H01L33/00
    • H01L33/0079H01L33/32H01L33/42H01L33/46H01L33/64
    • A nitride semiconductor light emitting element and a method for manufacturing such element are provided. The method for manufacturing the nitride semiconductor light emitting element includes steps (a)-(e), which are (a) a step of successively forming a semiconductor layer (i), a light emitting layer and a semiconductor layer (ii) on a single crystal substrate, (b) a step of successively forming a transparent conductive layer and a light reflecting functional layer on the semiconductor layer (ii), (c) a step of forming a heat conductive layer on the light reflecting functional layer, (d) a step of removing the single crystal substrate from the work obtained in the step (c), and (e) a step of forming a transparent conductive layer on the semiconductor layer (i) exposed by removing the single crystal substrate.
    • 提供一种氮化物半导体发光元件及其制造方法。 制造氮化物半导体发光元件的方法包括步骤(a) - (e),它们是(a)连续形成半导体层(i),发光层和半导体层(ii)的步骤 单晶基板,(b)在半导体层(ii)上依次形成透明导电层和光反射功能层的工序,(c)在光反射功能层上形成导热层的工序,(d )从步骤(c)中获得的工件中除去单晶衬底的步骤,以及(e)在通过去除单晶衬底而暴露的半导体层(i)上形成透明导电层的步骤。
    • 4. 发明申请
    • 多結晶シリコンの製造方法
    • 多晶硅生产工艺
    • WO2007077957A1
    • 2007-07-12
    • PCT/JP2006/326358
    • 2006-12-26
    • 住友化学株式会社山林 稔治秦 雅彦
    • 山林 稔治秦 雅彦
    • C01B33/033H01L31/04
    • C01B33/033H01L31/182Y02E10/546Y02P70/521
    • The invention relates to a process for the production of polycrystalline silicon which comprises the following steps (A), (B) and (C): the step (A) of reducing a chlorosilane represented by the general formula (1): SiH n Cl 4-n (1) (wherein n is an integer of 0 to 3) with a metal at a temperature T1 into a silicon compound, the step (B) of transferring the silicon compound to a section having a temperature T2 (wherein T1 > T2), and the step (C) of depositing polycrystalline silicon in the section having a temperature T2, with the provisos that T1 is at least 1.29 times the melting point (absolute temperature) of the metal and that T2 is higher than the subliming or boiling point of chloride of the metal. The process enables the production of high-purity polycrystalline silicon in high yield. Further, the invention includes solar batteries provided with the polycrystalline silicon obtained the process and equipment for manufacturing polycrystalline silicon.
    • 本发明涉及一种生产多晶硅的方法,其包括以下步骤(A),(B)和(C):还原由通式(1)表示的氯硅烷的步骤(A):SiH T2)的部分和在具有温度T2的部分中沉积多晶硅的步骤(C),条件是T1至少为熔点的1.29倍(绝对值 温度),T2高于金属氯化物的升华或沸点。 该方法能够以高产率生产高纯度多晶硅。 此外,本发明包括提供有多晶硅的太阳能电池,获得用于制造多晶硅的工艺和设备。
    • 7. 发明申请
    • 薄膜結晶ウェーハの製造方法、それを用いた半導体デバイス及びその製造方法
    • 薄膜晶体生产方法,使用其的半导体器件及其生产方法
    • WO2004036635A1
    • 2004-04-29
    • PCT/JP2003/013067
    • 2003-10-10
    • 住友化学工業株式会社秦 雅彦
    • 秦 雅彦
    • H01L21/28
    • H01L29/267H01L21/28575H01L29/456
    •  GaAs単結晶10のn + −GaAs層8をエピタキシャル成長により成膜した後、引き続きSi層11を同一のエピタキシャル成長炉内においてエピタキシャル成長させ、しかる後アルミニウムの電極12をオーミック電極としてSi層11上に形成する。Si層11によってn + −GaAs層8の表面に表面欠陥準位が形成されるのを抑制することができ、不要な電位障壁の形成を有効に防止できる。Si層11は表面状態が平坦で且つ化学的安定性に優れているので、Si層11に対して適切な仕事関数を有するアルミニウム等を用いて電極12を形成することにより、良好なオーミック電極とすることができる。
    • 通过外延生长将GaAs单晶(10)的n + GaAs层(8)形成为膜,随后在同一外延生长炉中外延生长Si层(11),然后将铝 在Si层(11)上形成电极(12)作为欧姆电极。 Si层(11)可以限制在n + GaAs层(8)的表面上形成表面缺陷水平,以有效地防止形成不必要的势垒。 由于Si层(11)具有平坦的表面状态和优异的化学稳定性,因此通过使用对Si层(11)具有适当的功函的铝等形成电极(12),从而产生良好的欧姆电极 。
    • 8. 发明申请
    • 化合物半導体エピタキシャル基板及びその製造方法
    • 化合物半导体外延基材及其制造方法
    • WO2005117076A1
    • 2005-12-08
    • PCT/JP2005/010090
    • 2005-05-26
    • 住友化学株式会社小廣 健司高田 朋幸上田 和正秦 雅彦
    • 小廣 健司高田 朋幸上田 和正秦 雅彦
    • H01L21/20
    • H01L29/7785H01L21/0237H01L21/02395H01L21/02461H01L21/02463H01L21/02505H01L21/02546H01L21/0262
    • 化合物半導体エピタキシャル基板及びその製造方法を提供する。 化合物半導体エピタキシャル基板は、単結晶基板、格子不整合化合物半導体層及び応力補償層を含み、かつ、格子不整合化合物半導体層及び応力補償層は、単結晶基板に対して同一面側にあり、格子不整合化合物半導体層は、格子緩和が生じていず、応力補償層は、格子緩和が生じていず; 単結晶基板の格子定数Ls、格子不整合化合物半導体層の格子定数Lm、及び、応力補償層の格子定数Lcは、式(1a)又は(2a) Lm<Ls<Lc (1a) Lm>Ls>Lc (2a)を満足する。 化合物半導体エピタキシャル基板の製造方法は、(1)及び(2)の工程を含む。(1) 単結晶基板の上に、格子緩和が生じない化合物半導体層Iをエピタキシャル成長させ、(2) 得られた化合物半導体層Iの上に、格子緩和が生じない化合物半導体層IIをエピタキシャル成長させ; 単結晶基板の格子定数Ls、化合物半導体層Iの格子定数L I 、及び、化合物半導体層IIの格子定数L II は、式(1b)又は(2b)を満足する。L I <Ls<L II  (1b) L I >Ls>L II  (2b)
    • 化合物半导体外延基板; 及其制造方法。 提供了包括单晶衬底,晶格失配化合物半导体层和应力补偿层的化合物半导体外延衬底,其中晶格失配化合物半导体层和应力补偿层设置在单晶衬底的同一表面侧 其中在晶格失配化合物半导体层以及应力补偿层中不存在晶格弛豫,其中表示单晶衬底的晶格常数的Ls表示晶格失配化合物半导体层的晶格常数的Lm和 表示应力补偿层的晶格常数的Lc满足公式:Lm Ls> Lc(2a)。 此外,提供了一种制备化合物半导体外延基板的方法,包括以下步骤:(1)在单晶基板上进行不发生晶格关系的化合物半导体层(I)的外延生长,(2) 在所获得的化合物半导体层(I)上进行不发生晶格关系的化合物半导体层(II)的外延生长,其中表示单晶衬底的晶格常数的Ls表示化合物半导体层的晶格常数 I)和表示化合物半导体层(II)的晶格常数的LII满足下式:LI Ls> LII(2b)。
    • 9. 发明申请
    • 化合物半導体基板の製造方法
    • 制造化合物半导体基板的方法
    • WO2005041287A1
    • 2005-05-06
    • PCT/JP2004/016186
    • 2004-10-25
    • 住友化学株式会社秦 雅彦小野 善伸上田 和正
    • 秦 雅彦小野 善伸上田 和正
    • H01L21/331
    • H01L29/66462H01L21/2007H01L29/2003
    • 本発明は化合物半導体基板の製造方法を提供する。化合物半導体基板の製造方法は、次の工程(a)−(e)を含む。(a)基板1の上に、化合物半導体機能層2をエピタキシャル成長により形成する、(b)化合物半導体機能層2に、支持基板3を接着する、(c)基板1と、基板1に接触していた側の化合物半導体機能層2の一部を研磨により除去する、(d)工程(c)により露出した化合物半導体機能層2の表面に、基板1より大きい熱伝導率を有する高熱伝導性基板(高熱伝導性基板は、例えば、Siまたはサファイアの基板4およびダイヤモンド薄膜5からなる。)を接着して、多層基板を得る、(e)支持基板3を多層基板から分離する。
    • 公开了一种制造化合物半导体衬底的方法,其包括以下步骤(a) - (e):(a)化合物半导体功能层(2)在衬底(1)上外延生长; (b)支撑基板(3)与化合物半导体功能层(2)接合; (c)通过研磨除去基板(1)和与基板(1)接触的化合物半导体功能层(2)的一部分; (d)通过将导热性高​​于基板的热导率的导热性高的基板(例如由Si或蓝宝石基板(4)构成的基板和金刚石薄膜(5))接合而得到多层基板, (1)到步骤(c)中暴露的化合物半导体功能层(2)的表面; 和(e)支撑基板(3)与多层基板分离。