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    • 2. 发明申请
    • 有機金属化合物供給装置
    • 有机复合饲料
    • WO2009123117A1
    • 2009-10-08
    • PCT/JP2009/056502
    • 2009-03-30
    • 住友化学株式会社安部 寿充
    • 安部 寿充
    • H01L21/205C23C16/448
    • C23C16/4481C30B25/14
    •  常温で固体の有機金属化合物を充填し、キャリアガスを供給して該有機金属化合物を昇華せしめる充填容器を有して成る有機金属化合物供給装置は、 該充填容器内に不活性担体に担持された該有機金属化合物を保持し、キャリアガスが通過することのできる支持板、該充填容器の上部にキャリアガス導入口、該充填容器の底部であって該支持板の下方に開口したキャリアガス導出口、および該支持板と該キャリアガス導出口との間に取り付けられた、該キャリアガス導出口の口径よりも大である邪魔板を更に有して成り、キャリアガスを支持板上に充填した不活性担体に担持された該有機金属化合物中を上方から下方へ通過させるようにしたことを特徴とする。
    • 一种有机金属化合物进料器,其包含容器,其中装有常温下为固体的有机金属化合物。 将载气供给到容器以使有机金属化合物升华。 进料器的特征在于还具有:保持板,其已经设置在容器中并且保持沉积在惰性载体上的有机金属化合物并允许载气通过; 设置在容器的上部的载气入口; 承载气体出口,其位于容器底部的位于所述保持板下方的区域中; 以及已经安装在保持板和载气出口之间并且大于载气出口的孔的挡板。 进料器的特征还在于,载气从上方通过装在保持板上的有机金属化合物向下通过并沉积在惰性载体上。