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    • 3. 发明申请
    • 薄膜形成用スパッタリングターゲット、誘電体薄膜、光ディスク及びその製造方法
    • 薄膜形成用溅射靶,介质薄膜,光盘及其制造方法
    • WO2006001138A1
    • 2006-01-05
    • PCT/JP2005/009101
    • 2005-05-18
    • パイオニア株式会社細田 康雄樋口 隆信上野 崇
    • 細田 康雄樋口 隆信上野 崇
    • C23C14/34
    • G11B7/266C23C14/3414
    •  誘電体保護膜としての特性を維持しながら、酸化物薄膜中の遊離酸素を無くし、誘電体保護膜中に存在する水や酸素の拡散を抑制する。光ディスクなどの誘電体保護膜を形成する誘電体材料として、酸化ニオブと、酸化ケイ素又は酸化チタンとの混合酸化物薄膜を使用する。好適な例では、スパッタリングによる酸化物薄膜の形成において、酸化ニオブを主成分として酸化ケイ素を1~30重量%添加されてなるターゲットを使用する。また、上記の酸化物薄膜は好ましくは窒素雰囲気中で成膜される。酸素を欠損させたターゲットを使用し、微量に窒素を添加してスパッタリングを行うことにより窒素含有酸化物薄膜を作製する。これにより、完全な酸化物と同等の特性を持ちながら、還元作用が少なくバリヤ性の高い薄膜を作製することができる。
    • 在保持作为电介质保护膜的性能的同时能够消除氧化物薄膜中的游离氧并能够抑制介电保护膜中存在的水和氧的扩散的电介质薄膜。 使用由氧化铌和氧化硅或氧化钛构成的混合氧化物薄膜作为用于形成光盘等的介电保护膜的电介质材料。 在优选的实施方案中,在通过溅射形成氧化物薄膜时,使用包含氧化铌作为主要成分的靶和1至30重量%的氧化硅作为添加剂。 氧化物薄膜优选在氮气气氛中形成。 提供氧缺乏的靶,同时在加入极少量的氮以形成含氧氧化物薄膜的同时进行溅射,由此不具有显着还原作用并具有高水平阻隔性的薄膜可以是 同时保持与完全氧化物相同的性质。
    • 4. 发明申请
    • パターンド媒体およびその製造方法
    • 中国制造及其制造方法
    • WO2008126315A1
    • 2008-10-23
    • PCT/JP2007/057270
    • 2007-03-30
    • パイオニア株式会社細田 康雄
    • 細田 康雄
    • G11B5/65G11B5/84
    • G11B5/855G11B5/82
    •  パターンド媒体に形成された各ドット上にヘッドを高精度に位置決めすることを可能にし、しかも高い記録密度を実現し得るパターンド媒体を提供する。パターンド媒体は、ベース基板と、前記ベース基板上に所定のデータトラックに沿って規則的に配列して形成された記録材料からなる複数のドットと、前記ドットを物理的に互いに孤立させる分離領域とを有する。前記ドットは、前記データトラックにおいて所定周期毎に少なくとも1つのドットが欠落するスペース領域を除いて前記所定周期よりも微細な一定周期で形成され、前記各スペース領域の長さは前記ドットの一定周期に対応する一定長である。
    • 提供了一种图案化介质,用于使头部被精确地定位在形成在图案化介质上的每个点上,并且还提供了要实现的高记录密度。 图案化介质具有基底基板,由沿着基底基板上的预定数据轨道规则排列并形成的记录材料构成的多个点以及彼此物理隔离的隔离区域。 除了在数据轨道中的每个预定周期中至少有一个点被错过的空间区域之外,以比预定周期更细的恒定周期形成点,并且每个空间区域的长度是对应于恒定周期的恒定长度 点。
    • 10. 发明申请
    • 情報記録媒体及びその製造方法
    • 信息记录介质及其生产方法
    • WO2003101750A1
    • 2003-12-11
    • PCT/JP2003/006439
    • 2003-05-23
    • パイオニア株式会社細田 康雄三森 歩美佐藤 恵山口 政孝泉 知明神野 智施奥村 陽一
    • 細田 康雄三森 歩美佐藤 恵山口 政孝泉 知明神野 智施奥村 陽一
    • B41M5/26
    • G11B7/266G11B7/243G11B2007/24306G11B2007/24312G11B2007/24314G11B2007/24322Y10S430/146
    • 記録前後の反射率の差が大きくジッタ特性が優れた情報記録媒体は、光ビームの照射により反射率が変化する材料からなり情報が反射率の変化として記録される記録層と、記録層を担持する基板とからなり、記録層が金属窒化物を主成分とする。記録層は、完全に窒化していない所定温度で分解し窒素を生成する低温分解窒化物と、所定温度を越える温度で分解する高温分解化合物と、の混合物からなる。光ビームの照射により反射率が変化する材料からなり情報が反射率の変化として記録される記録層と、記録層を担持する基板とからなり、記録層が金属窒化物を主成分とする情報記録媒体を製造する製造方法において、金属窒化物を構成する金属を主成分とするターゲットを用いた反応スパッタ法により記録層を形成する記録層形成工程を含み、記録層形成工程におけるAr及びN 2 を含む雰囲気中で流量比Ar:N 2 が80:10~10:80の範囲内に設定されている。
    • 一种具有优异的抖动特性的信息记录介质,其具有记录前的反射率和记录后的反射率之间的差异大,该记录介质包括基板,并由其支撑由其反射率通过光束照射而改变的材料构成的记录层, 记录信息作为反射率的变化,记录层由以金属氮化物为主要成分组成。 记录层由不完全氮化并在给定温度下分解并产生氮的低温可分解氮化物和在超过给定温度的温度下分解的高温可分解氮化物的混合物组成。 用于制造信息记录介质的方法包括:基板,由其支撑由反射率通过光束照射改变的材料构成的记录层,能够记录作为反射率变化的信息的记录层,记录层由 作为主要成分的金属氮化物,包括记录层形成步骤,其中通过使用主要成分是构成金属氮化物的金属的靶的反应溅射法形成记录层,其中,所述气氛包含Ar和N2,其流量比 Ar:N2设定为80:10〜10:80的范围。