会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 7. 发明申请
    • 誘電体構造及びその製造方法
    • 电介质结构及其制造方法
    • WO2007148459A1
    • 2007-12-27
    • PCT/JP2007/056219
    • 2007-03-26
    • 独立行政法人産業技術総合研究所一木 正聡前田 龍太郎
    • 一木 正聡前田 龍太郎
    • H01L41/22H01L21/316H01L41/09H01L41/18H01L41/187
    • H01L21/31691B81C1/0038B81C2201/0191H01L28/55H01L41/317
    •  誘電体膜を形成する耐熱性基板上の下地電極にあらかじめ剥離性の高い積層構造を導入しておいて転写することにより、低コストで高誘電率を有し、しかも所要の場所に無駄なく形成することのできる誘電体構造体及びその製造方法を提供する。  耐熱性基板6上に形成された絶縁膜7上に、第2の電極用金属8及び誘電体膜9の順に形成する工程と、パターニングによって絶縁膜7上に第2の電極4及び誘電体3を形成する工程と、非耐熱性基板1上に第1の電極2を形成する工程と、非耐熱性基板1上に形成された第1の電極2上に耐熱性基板6上に形成された誘電体3を圧着する工程と、耐熱性基板6上に形成された酸化膜7と第2の電極4間を剥離して、非耐熱性基板上に、第1の電極、誘電体、及び第2の電極の順に形成された誘電体構造体を取得する工程とからなることを特徴とする誘電体構造体の製造方法である。
    • 提供一种低成本的电介质结构,其具有高介电常数并形成在必要的区域上而不浪费。 还提供了制造这种电介质结构的方法。 该电介质结构体是在转印之前,将形成电介质膜的耐热基板上的具有高剥离特性的叠层结构引入基极中形成的。 电介质结构体的制造方法由在耐热基板(6)上形成的绝缘膜(7)依次形成第二电极用金属(8)和电介质膜(9)的工序。 通过图案化在绝缘膜(7)上形成第二电极(4)和电介质体(3)的步骤; 在非耐热基板(1)上形成第一电极(2)的步骤; 将形成在耐热基板(6)上的电介质体(3)压接在形成在非耐热基板(1)上的第一电极(2)上的步骤; 以及从第二电极(4)剥离形成在耐热基板(6)上的氧化膜(7)的步骤,并且获得其中以该顺序形成第一电极,电介质体和第二电极的电介质结构 在非耐热基材上。