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    • 1. 发明申请
    • 気体搬送ポンプ、ヒータの形成方法、検出センサ
    • 气体输送泵,形成加热器和传感器的方法
    • WO2008038611A1
    • 2008-04-03
    • PCT/JP2007/068507
    • 2007-09-25
    • 独立行政法人産業技術総合研究所オリンパス株式会社ヘイシグ スベン池原 毅三原 孝士
    • ヘイシグ スベン池原 毅三原 孝士
    • F04B37/06G01N5/02
    • F04B19/006G01N1/24G01N5/02
    •  気体を微量であっても高い精度で搬送することができ、しかも信頼性に優れる技術を提供することを目的として、気体搬送ポンプ10は、チャンバー部12、入口側チャンネル13、出口側チャンネル14、テーパ状の入口側ディフューザ部15、テーパ状の出口側ディフューザ部16からなる流路と、ヒータ20を備えるようにし、ヒータ20によってチャンバー部12内の気体を膨張・収縮させて体積変化を生じさせることで、入口側チャンネル13から出口側チャンネル14へと気体を確実に搬送するようにした。そして、チャンバー部12に設けたヒータ20は、ホウ素を拡散させたシリコンによって形成するようにした。さらに、ヒータ20は、棒状のヒータ部材20aを複数本並べ、チャンバー部12内を貫通するように設けるのが好ましい。
    • 这种技术能够高精度地输送甚至少量的气体并且高可靠性。 气体输送泵(10)具有流动通道和加热器(20)。 流动通道由腔室(12),入口侧通道(13),出口侧通道(14)和锥形入口侧扩散器部分(15)组成,锥形出口侧扩散器部分(16)组成。 加热器(20)使得室(12)内部的气体膨胀和收缩,从而改变了腔室(12)的体积,从而可靠地将气体从入口侧通道(13)输送到出口侧通道(14)。 设置在室(12)中的加热器(20)由在其中扩散的硼的硅形成。 优选地,加热器(20)由并排设置的加热器构件(20a)构成,以便穿透室(12)的内部。
    • 2. 发明申请
    • 検出センサ
    • 检测传感器
    • WO2007148522A1
    • 2007-12-27
    • PCT/JP2007/061170
    • 2007-06-01
    • 独立行政法人産業技術総合研究所オリンパス株式会社昆野 舜夫池原 毅三原 孝士
    • 昆野 舜夫池原 毅三原 孝士
    • G01N5/02G01G3/16
    • G01G3/16G01N5/02
    •  振動子の高感度化を図ることのできる技術を提供することを目的とする。  センサの振動子20に、ブリッジ51を介し、物質が付着または吸着するプラットフォーム50を機械的に結合して設ける。そして、プラットフォーム50上に付着または吸着した物質の質量が、あたかもプラットフォーム50が振動子20に接続された箇所に集中的に付着または吸着しているかのように作用させることで、センサの感度を向上させる。プラットフォーム50は、ブリッジ51を介し、振動子20と一体的に振動するような箇所に接続するのが好ましく、これには、振動子20において、r方向またはθ方向のいずれか一方のみに振動が生じる部位に、ブリッジ51を介してプラットフォーム50を機械的に結合するのが好ましい。
    • 提供了一种提高振荡器灵敏度的技术。 用于粘附或吸附物质的平台(50)通过桥接器(51)将平台机械耦合到传感器的振荡器(20)上来布置。 然后,通过允许平台(50)上的粘附或吸附物质的质量如同该物质以集中的方式粘附或吸附在平台(50)连接到的区域 振荡器(20)。 平台(50)优选地连接到通过桥(51)与振荡器(20)一体振荡的区域,并且对于这种连接,平台(50)优选地通过桥接机械地耦合到振荡器(20) (51),在仅在r方向产生振荡的部分或 方向。
    • 3. 发明申请
    • 検出センサ
    • 检测传感器
    • WO2009041371A1
    • 2009-04-02
    • PCT/JP2008/067036
    • 2008-09-19
    • 独立行政法人産業技術総合研究所オリンパス株式会社昆野 舜夫池原 毅高野 貴之三原 孝士
    • 昆野 舜夫池原 毅高野 貴之三原 孝士
    • G01G3/16G01N5/02
    • G01N5/02G01G3/16G01N29/022G01N29/32G01N2291/0255G01N2291/0256
    •  振動子の高感度化を図ることのできる技術を提供することを目的とする。  振動子20の内径Rbと外径Raとの比Rb/Raを適切に選ぶことにより、振動子20の外径部分もしくは内径部分において、Radial方向の変位のr成分(U(Ra)もしくはU(Rb))、Tangential方向の変位のr成分(V(Ra)もしくはV(Rb))が0になる不動点が存在する場合がある。その場合、振動子20を、不動点において、振動子20側の境界条件をPinned、振動子20を支持するアンカー側の境界条件をClampedとして設定されたシングルスパンビームからなる保持部材22によって支持することで、振動子20の振動エネルギが保持部材22を通じて失われるのを防ぎ、振動姿態が乱される状態を回避して、センサの高感度化を実現する。
    • 本发明的目的是提供一种能使振动器灵敏度高的技术。 如果适当地选择振子(20)的内径(Ra)与外径(Rb)的比(Rb / Ra),则可以存在(r)位移分量(U(Ra) 或U(Rb))或振动器(20)的外径部或内径部的切线方向的(r)位移分量(V(Ra)或V(Rb))为零。 在这种情况下,振动器(20)由包括单跨距梁组成的保持构件(22)支撑,使得将振动器(20)侧的边界条件设定为固定,边界条件 在支撑振动器(20)的锚的一侧被设定为被夹紧,使得这种支撑件防止振动器(20)的振动能量通过保持构件(22)的损失而避免振动模式 ,从而使传感器的灵敏度高。