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    • 2. 发明申请
    • 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子
    • QUARTZ振荡器制造方法和QUARTZ振荡器
    • WO2005096493A1
    • 2005-10-13
    • PCT/JP2005/005725
    • 2005-03-28
    • シチズン時計株式会社滝沢 真紀柳沢 徹
    • 滝沢 真紀柳沢 徹
    • H03H3/02
    • H03H9/215G01C19/56G01C25/00H03H3/04H03H2003/0407
    •  水晶振動片に起因する温度ドリフト特性を安定化させることができる水晶振動子の製造方法及び水晶振動子を提供する。  エッチング加工によって水晶振動片を所定形状に加工する水晶エッチング工程S1と、水晶振動片に電極を形成する電極膜形成工程S2と、水晶振動片を振動子パッケージに実装する水晶搭載工程S3と、実装された水晶振動片を駆動して漏れ振動を検出し、この検出された漏れ振動にもとづいて、水晶振動片の一部に対する除去加工を行なう漏れ振動調整工程S4と、除去加工の行なわれた水晶振動片を再度エッチングする再エッチング工程S6と、を有する方法としてある。
    • 公开了一种用于制造具有归因于石英振荡片和石英振荡器的稳定温度漂移特性的石英振荡器的方法。 该方法包括通过蚀刻将石英振荡片加工成预定形状的石英晶体蚀刻步骤(S1),在石英振荡片上形成电极的电极膜形成步骤(S2),石英晶体安装步骤(S3) 将石英振荡片安装在振荡器封装中,驱动安装的石英振荡片的泄漏振荡调节步骤(S4),检测泄漏振荡,以及根据检测到的泄漏振荡去除石英振荡片的一部分,以及 重新蚀刻经过去除的石英振荡片的再蚀刻步骤(S6)。