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1. 发明申请

WO2012070723A1 유리 기판의 불균일도 측정 시스템 및 방법 审中-公开
标题翻译：用于测量玻璃基板不正常的系统和方法
公开(公告)号：WO2012070723A1
公开(公告)日：2012-05-31
申请号：PCT/KR2011/001340
申请日：2011-02-25
申请人： (주)쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 박병찬 , 최성진 , 정재훈
发明人： 이순종 , 우봉주 , 박병찬 , 최성진 , 정재훈
IPC分类号： G01N21/958 , G01B11/30
CPC分类号： G01B11/30 , G01N21/958
摘要： 측정 시간 및 비용을 감소시키도록 유리 기판으로부터 반사된 반사광들 중 상면으로부터 반사된 광만을 이용하여 상기 유리 기판의 불균일도를 측정하는 시스템 및 방법이 개시된다. 상기 유리 기판의 불균일도 측정 시스템은 제 1 광을 상기 유리 기판으로 조사하는 광원부 및 스크린을 포함한다. 여기서, 상기 광원부로부터 조사된 제 1 광은 상기 유리 기판의 상면 및 하면에서 반사되고, 상기 유리 기판의 상면에 의해 반사된 제 1 반사광이 상기 스크린에 입사되어 제 1 띠를 형성하며, 상기 유리 기판의 하면에 의해 반사되어 상기 상면을 통하여 출력된 제 2 반사광이 상기 스크린에 입사되어 제 2 띠를 형성하고, 상기 제 1 띠와 상기 제 2 띠가 분리되어 형성되도록 상기 광원부 및 상기 스크린이 상기 유리 기판을 기준으로 하여 배열된다.
摘要翻译：公开了通过仅使用从玻璃基板反射的反射光中的从上侧反射的光来测量玻璃基板的不规则性的系统和方法，以减少测量时间和成本。用于测量玻璃基板的不规则性的系统包括：照射玻璃基板上的第一光的光源单元和屏幕。这里，从光源单元照射的第一光在玻璃基板的上侧和下侧被反射，被玻璃基板的上侧反射的第一反射光入射到形成第一带的屏幕和由玻璃基板的下侧反射并通过上侧输出的第二反射光入射到屏幕上以形成第二带，然后光源单元并且相对于玻璃基板布置屏幕，使得第一带和第二带可分离地形成。

2. 发明申请

WO2010147252A1 유리기판의 불균일도 검사장치 审中-公开
标题翻译：用于测量玻璃基板非均匀性的装置
公开(公告)号：WO2010147252A1
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：PCT/KR2009/003336
申请日：2009-06-22
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 최성진
发明人： 이순종 , 우봉주 , 최성진
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/25 , G01N21/88 , G01N21/33
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/33 , G01N21/45 , G01N21/958
摘要： 본 발명은 유리기판의 불균일도를 측정하는 장치에 관한 것으로, 특히 자외광선을 이용하여 간섭무늬를 형성하고, 직접 접촉없이 투명한 유리기판의 한쪽 면만측정할 수 있도록 함으로써, 보다 편리하고 용이하게 불균일도를 측정할 수 있는 장치에 관한 것이다. 구성은 유리기판의 불균일도 측정장치에 있어서, 상기 측정장치는 자외광선을 발생시키는 광원과; 상기 자외광선을 간섭방식으로 사용하여 측정면인 유리기판의 한면을 측정하도록 상기 광원의 일측에 형성되어 상기 광원으로부터 조사 확산되는 자외광선을 평행광으로 바꾸는 시준렌즈와; 상기 시준렌즈의 일측에 형성되어 시준렌즈를 통과하여 진행하는 자외광선을 수용하여 반사시키는 반사경과; 상기 반사경과 대향하는 위치에 형성되어 반사경과 유리기판을 통과한 자외광선을 간섭하여 간섭무늬를 나타내는 상면; 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量玻璃基板的不均匀性的装置，更具体地，涉及一种用于更方便和简单地测量玻璃基板的不均匀性的装置，其中干涉条纹由紫外线和一个可以在不直接接触的情况下测量透明玻璃基板的表面。用于测量玻璃基板的不均匀性的装置包括用于产生紫外线的光源; 准直透镜，形成在用于测量玻璃基板的表面的光源的一侧上，通过以干涉模式将从光源辐射的紫外线扩散并将紫外线转换为平行光线; 反射镜，形成在准直透镜的一侧，用于接收和反射通过准直透镜的紫外线; 以及形成在反射镜的相反侧的顶表面，用于干涉通过反射镜和玻璃基板的紫外线，以产生干涉条纹。

3. 发明申请

WO2013062150A1 기판 검사장치 审中-公开
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：WO2013062150A1
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：PCT/KR2011/007992
申请日：2011-10-25
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 이동석
发明人： 이순종 , 우봉주 , 이동석
IPC分类号： G02F1/13 , H01L51/56 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N21/8901 , G01N21/896
摘要： 본 발명은 기판 검사장치를 개시한 것으로, 이러한 본 발명은 초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)에서의 품질상태가 정상적인지 즉, 크랙이나 치핑이 발생하였는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치를 구성한 것이며, 이에따라 공정챔버로의 기판 투입전에 기판의 품질상태를 미리 체크하고, 이를 통해 공정 중 기판의 파손을 방지함은 물론, 2번에 걸쳐 가로축과 세로축을 별도로 검사할 수 있게 되면서 1차 세정기 진입시 기판의 4면 전체의 이미지를 얻은 상태에서 로봇 포크(Robot Pork)에 의해 가려지는 가로축 일부에 대한 검사가 이루어지지 않는 단점을 해결한 것이다.
摘要翻译：基板检查装置技术领域本发明涉及一种基板检查装置，其构成为能够同时检查基板的纵轴方向（长度方向）和横轴方向（宽度方向）的边缘部的质量是否正常的装置也就是说，在将基板送入超声波清洗机（USC）时以及在通过USC从基板的表面除去杂质的时刻，是否发生了裂纹或碎裂。因此，在将基板送入处理室之前，检查基板的质量，以防止在处理期间对基板的损坏，并且还允许在水平轴和垂直轴的两个阶段中执行单独的检查为了解决在进入第一清洁器期间在获得基板的四个表面的图像的状态下在由机器人叉覆盖的水平轴线的部分上执行检查的缺点。

4. 发明申请

WO2012015096A1 분광기의 슬릿유닛 구조 审中-公开
标题翻译：光谱分析仪的结构
公开(公告)号：WO2012015096A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/KR2010/005162
申请日：2010-08-06
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 이동석 , 민코올렉 , 차영진
发明人： 이순종 , 우봉주 , 이동석 , 민코올렉 , 차영진
IPC分类号： G01J3/04 , G01N21/25 , G02B5/00
CPC分类号： G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G02B7/003
摘要： 본 발명은 분광기의 슬릿 고정 구조에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 슬릿이 기울어짐 없이 수직으로 정교하게 정렬시키는 홀더를 구성한 것이며, 이에따라 슬릿에 의한 빛의 입사각 오류를 방지하여 분광기에 의한 광 에미션의 스펙트럼 집광이 정밀하게 이루어지도록 하고, 스펙트럼 분석에 의한 리크 검출 등의 응용에 오류가 발생하는 문제를 개선하는 등 분광기에 대한 성능을 향상시킨 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于固定分光镜狭缝的结构，该结构具有将狭缝垂直直立而不倾斜地定位的保持器，以防止发生狭缝引起的光入射角误差，从而允许微细通过分光镜对光发射的光谱光收敛，并且改进使用光谱分析的泄漏检查等应用中发生错误的问题，从而提高分光镜的性能。

5. 发明申请

WO2017086582A1 기판 손상 방지 광 소결장치 审中-公开
标题翻译：光刻烧结装置可防止基材损坏
公开(公告)号：WO2017086582A1
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：PCT/KR2016/009911
申请日：2016-09-05
申请人： (주)쎄미시스코
发明人： 이순종 , 우봉주 , 정재훈
IPC分类号： H05K3/12 , H05K1/02 , H05K1/11 , H05K13/04
CPC分类号： H05K1/02 , H05K1/11 , H05K3/12 , H05K13/04
摘要： 본 발명에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치는 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결시키는 광 출력부 및 상기 광 출력부를 통한 소결 시 발생하는 상기 기판의 구겨짐을 방지하기 위하여 상기 기판의 상면 및 하면 중 어느 일면에 구비되는 제1보강부재를 포함한다.
摘要翻译：基板损坏防止光烧结设备包括：光输出部分，用于烧结印刷在基板上的导电油墨;以及光输出部分，用于防止在通过光输出部分在烧结过程中产生的基板的摆动以及设置在基板的上表面和下表面中的任一个上的第一加强构件。

6. 发明申请

WO2014192999A1 불규칙 패턴을 가지는 대상물을 검사하는 불량 검사 시스템 审中-公开
标题翻译：用于检查具有异常模式的对象的缺陷检查系统
公开(公告)号：WO2014192999A1
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：PCT/KR2013/004723
申请日：2013-05-29
申请人： (주)쎄미시스코
发明人： 이순종 , 우봉주 , 최성진 , 원준연
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： G01N21/896 , G01N21/8422 , G01N21/958
摘要： 불규칙 패턴들을 가지는 대상물, 예를 들어 투명 필름의 너울 불량을 검사하는 시스템이 개시된다. 불균일한 두께를 가지는 대상물의 너울 불량을 검사하는 불량 검사 시스템은 면광을 출력하는 광원 및 상기 광원으로부터 출력된 면광을 점광으로 변환하는 광 변환부를 포함한다. 여기서, 상기 광원으로부터 출력된 광은 상기 광 변환부를 통하여 상기 대상물로 입사된다.
摘要翻译：公开了一种用于检查具有不规则图案的物体的系统，例如用于检查透明膜中的波纹缺陷。用于检查具有不均匀厚度的物体中的波纹缺陷的缺陷检查系统包括用于输出平面光的光源和用于将从光源输出的平面光转换成点光的光转换单元，其中从光源通过光转换单元入射到物体上。

7. 发明申请

WO2017086583A1 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치 审中-公开
标题翻译：一种轻烧结装置，具有用于去除烟雾的倾斜输送部分
公开(公告)号：WO2017086583A1
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：PCT/KR2016/009913
申请日：2016-09-05
申请人： (주)쎄미시스코
发明人： 이순종 , 우봉주 , 정재훈
IPC分类号： H05K3/12 , B41J2/435 , H05K13/04
CPC分类号： B41J2/435 , H05K3/12 , H05K13/04
摘要： 본 발명에 따른 연기 제거를 위한 경사 이송부를 구비한 광 소결장치는 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판에 광을 조사하여 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결하는 광 출력부 및 상기 광 출력부의 하부에 상기 광 출력부와 대응되는 위치로 상기 기판을 이송시킬 수 있도록 구비되고, 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결 시 발생하는 연기가 상기 광 출력부에서 조사되는 광의 조사 경로를 차단 또는 억제하지 않도록 소정각도 경사지게 구비되는 기판 이송부를 포함한다.
摘要翻译：
与倾斜输送烟雾去除在根据本发明的光通过用导电性油墨照射在基材上的光烧结装置被印刷烧结印刷在所述导电油墨在所述衬底输出部和被设置在光输出部分，以使得所述衬底可以被转移到对应于部分的位置越低，其中，所述光输出，在烧结印刷在光输出部照射在基底上的所述导电油墨中产生的烟并且以预定角度设置基板传送单元，以便不阻挡或抑制光的照射路径。

8. 发明申请

WO2017104954A1 방출광 검출모듈 및 이를 이용한 관리시스템 审中-公开
标题翻译：发光检测模块和管理系统使用相同
公开(公告)号：WO2017104954A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/KR2016/011361
申请日：2016-10-11
申请人： (주)쎄미시스코
发明人： 이순종 , 우봉주 , 정재훈
IPC分类号： H05B37/03 , G01J3/02 , G01J1/02 , F21K9/00
CPC分类号： F21K9/00 , G01J1/02 , G01J3/02 , H05B37/03
摘要： 본 발명은 대상물을 향해 방출광을 조사한 후 반사되는 반사광의 정보를 계측하는 검출모듈로서, 상기 대상물을 향해 상기 방출광을 조사하는 램프유닛, 상기 대상물에서 반사되는 상기 반사광을 감지하여 파장영역을 분광하는 제1감지기 및 상기 반사광의 세기를 감지하는 제2감지기를 포함하는 감지유닛 및 상기 감지유닛으로부터 측정된 상기 반사광의 측정값을 상기 램프유닛의 정상출력값과 비교하여 상기 램프유닛의 정상출력여부를 판단하는 판단유닛을 포함하는 방출광 검출모듈 및 이를 이용한 모니터링 시스템을 개시한다.
摘要翻译：本发明涉及一种检测模块，其用于在朝向物体照射发射的光之后测量反射光的信息，所述检测模块包括：灯单元，用于朝向物体照射所发射的光; 并通过相对于所述第一传感器和检测单元的正常输出值和灯单元通过感测单元包括第二传感器，用于感测所述反射光的强度，以光谱波长区域中测量的反射光的测量值检测反射光以及用于判断灯单元是否正常输出的判断单元以及使用该判断单元的监控系统。

9. 发明申请

WO2017086581A1 연기 제거 광 소결장치 审中-公开
标题翻译：除烟光烧结装置
公开(公告)号：WO2017086581A1
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：PCT/KR2016/009910
申请日：2016-09-05
申请人： (주)쎄미시스코
发明人： 이순종 , 우봉주 , 정재훈
IPC分类号： H05K3/12 , C23C14/58
CPC分类号： C23C14/58 , H05K3/12
摘要： 본 발명에 따른 연기제거 광 소결장치는 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판에 광을 조사하여 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결하는 광 출력부 및 상기 광 출력부와 대응되는 일측에 구비되어 상기 기판에 인쇄된 상기 전기 전도성 잉크를 소결 시 발생하는 연기를 제거하는 연기 제거부를 포함한다.
摘要翻译：
根据本发明的烟光烧结装置用于照射光到衬底的导电油墨被印刷烧结印刷在基板上的所述导电墨水和所述光输出部分的光输出部并且在一侧设置一个与在基底上印刷的导电油墨相对应的排烟器，以去除导电油墨烧结时产生的烟雾。

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