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1. 发明申请

WO2013062150A1 기판 검사장치 审中-公开
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：WO2013062150A1
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：PCT/KR2011/007992
申请日：2011-10-25
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 이동석
发明人： 이순종 , 우봉주 , 이동석
IPC分类号： G02F1/13 , H01L51/56 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8851 , G01N21/8901 , G01N21/896
摘要： 본 발명은 기판 검사장치를 개시한 것으로, 이러한 본 발명은 초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)에서의 품질상태가 정상적인지 즉, 크랙이나 치핑이 발생하였는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치를 구성한 것이며, 이에따라 공정챔버로의 기판 투입전에 기판의 품질상태를 미리 체크하고, 이를 통해 공정 중 기판의 파손을 방지함은 물론, 2번에 걸쳐 가로축과 세로축을 별도로 검사할 수 있게 되면서 1차 세정기 진입시 기판의 4면 전체의 이미지를 얻은 상태에서 로봇 포크(Robot Pork)에 의해 가려지는 가로축 일부에 대한 검사가 이루어지지 않는 단점을 해결한 것이다.
摘要翻译：基板检查装置技术领域本发明涉及一种基板检查装置，其构成为能够同时检查基板的纵轴方向（长度方向）和横轴方向（宽度方向）的边缘部的质量是否正常的装置也就是说，在将基板送入超声波清洗机（USC）时以及在通过USC从基板的表面除去杂质的时刻，是否发生了裂纹或碎裂。因此，在将基板送入处理室之前，检查基板的质量，以防止在处理期间对基板的损坏，并且还允许在水平轴和垂直轴的两个阶段中执行单独的检查为了解决在进入第一清洁器期间在获得基板的四个表面的图像的状态下在由机器人叉覆盖的水平轴线的部分上执行检查的缺点。

2. 发明申请

WO2010147252A1 유리기판의 불균일도 검사장치 审中-公开
标题翻译：用于测量玻璃基板非均匀性的装置
公开(公告)号：WO2010147252A1
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：PCT/KR2009/003336
申请日：2009-06-22
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 최성진
发明人： 이순종 , 우봉주 , 최성진
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/25 , G01N21/88 , G01N21/33
CPC分类号： G01B11/24 , G01N21/33 , G01N21/45 , G01N21/958
摘要： 본 발명은 유리기판의 불균일도를 측정하는 장치에 관한 것으로, 특히 자외광선을 이용하여 간섭무늬를 형성하고, 직접 접촉없이 투명한 유리기판의 한쪽 면만측정할 수 있도록 함으로써, 보다 편리하고 용이하게 불균일도를 측정할 수 있는 장치에 관한 것이다. 구성은 유리기판의 불균일도 측정장치에 있어서, 상기 측정장치는 자외광선을 발생시키는 광원과; 상기 자외광선을 간섭방식으로 사용하여 측정면인 유리기판의 한면을 측정하도록 상기 광원의 일측에 형성되어 상기 광원으로부터 조사 확산되는 자외광선을 평행광으로 바꾸는 시준렌즈와; 상기 시준렌즈의 일측에 형성되어 시준렌즈를 통과하여 진행하는 자외광선을 수용하여 반사시키는 반사경과; 상기 반사경과 대향하는 위치에 형성되어 반사경과 유리기판을 통과한 자외광선을 간섭하여 간섭무늬를 나타내는 상면; 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量玻璃基板的不均匀性的装置，更具体地，涉及一种用于更方便和简单地测量玻璃基板的不均匀性的装置，其中干涉条纹由紫外线和一个可以在不直接接触的情况下测量透明玻璃基板的表面。用于测量玻璃基板的不均匀性的装置包括用于产生紫外线的光源; 准直透镜，形成在用于测量玻璃基板的表面的光源的一侧上，通过以干涉模式将从光源辐射的紫外线扩散并将紫外线转换为平行光线; 反射镜，形成在准直透镜的一侧，用于接收和反射通过准直透镜的紫外线; 以及形成在反射镜的相反侧的顶表面，用于干涉通过反射镜和玻璃基板的紫外线，以产生干涉条纹。

3. 发明申请

WO2012015096A1 분광기의 슬릿유닛 구조 审中-公开
标题翻译：光谱分析仪的结构
公开(公告)号：WO2012015096A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/KR2010/005162
申请日：2010-08-06
申请人： 주식회사 쎄미시스코 , 이순종 , 우봉주 , 이동석 , 민코올렉 , 차영진
发明人： 이순종 , 우봉주 , 이동석 , 민코올렉 , 차영진
IPC分类号： G01J3/04 , G01N21/25 , G02B5/00
CPC分类号： G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G02B7/003
摘要： 본 발명은 분광기의 슬릿 고정 구조에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 슬릿이 기울어짐 없이 수직으로 정교하게 정렬시키는 홀더를 구성한 것이며, 이에따라 슬릿에 의한 빛의 입사각 오류를 방지하여 분광기에 의한 광 에미션의 스펙트럼 집광이 정밀하게 이루어지도록 하고, 스펙트럼 분석에 의한 리크 검출 등의 응용에 오류가 발생하는 문제를 개선하는 등 분광기에 대한 성능을 향상시킨 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于固定分光镜狭缝的结构，该结构具有将狭缝垂直直立而不倾斜地定位的保持器，以防止发生狭缝引起的光入射角误差，从而允许微细通过分光镜对光发射的光谱光收敛，并且改进使用光谱分析的泄漏检查等应用中发生错误的问题，从而提高分光镜的性能。

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