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1. 发明申请

WO2010105967A3 VACUUM TREATMENT APPARATUS 审中-公开
标题翻译：真空处理设备
公开(公告)号：WO2010105967A3
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：PCT/EP2010053140
申请日：2010-03-11
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , VOSER STEPHAN , DOVIDS GERHARD
发明人： VOSER STEPHAN , DOVIDS GERHARD
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67736 , H01L21/67201 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , Y10S414/139
摘要： A transport arrangement (100) for bi-directionally transporting substrates towards and from a load lock (5) comprises a first substrate handler (1) swivelable about a first axis (A1) and with at least two first substrate carriers (1a, 1b). A second substrate handler (20) swivelable about a second axis (A20) comprises at least four second substrate carriers (20a to 20d). First and second substrate carriers are mutually aligned respectively in one position of their respective swiveling trajectory paths as one of the first substrate carriers is aligned with one of the second substrate carriers and the other of the first substrate carriers is aligned with the load lock (5). The first substrate carriers (1a, 1b) are movable towards and from the load lock (5) once aligned there with and thereby form respectively external valves of the load lock (5).
摘要翻译：用于将基板双向运送到负载锁（5）的传送装置（100）包括可围绕第一轴线（A1）可旋转的第一基板处理器（1）和至少两个第一基板载体（1a，1b）。围绕第二轴线（A20）可旋转的第二衬底处理器（20）包括至少四个第二衬底支架（20a至20d）。第一和第二衬底载体在其各自的旋转轨迹路径的一个位置中相互对准，因为第一衬底载体之一与第二衬底载体中的一个对准，并且另一个第一衬底载体与负载锁（5 ）。第一基板载体（1a，1b）可以朝向和离开装载锁（5）移动，一旦与其对准，从而分别形成加载锁（5）的外部阀。

2. 发明申请

WO1998014632A1 CONVEYOR AND DELIVERY DEVICE 审中-公开
标题翻译：运输及输送装置
公开(公告)号：WO1998014632A1
公开(公告)日：1998-04-09
申请号：PCT/CH1997000344
申请日：1997-09-17
申请人： BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT , TINNER, Peter , MARTHY, Josef , SCHERTLER, Roman , VOSER, Stephan
发明人： BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： H01L21/67236 , C23C14/566 , C23C14/568 , G11B7/26 , Y10S414/121 , Y10S414/135 , Y10S414/139 , Y10T29/49075 , Y10T29/53065
摘要： Disclosed is a workpiece conveyor and delivery device for a vacuum processing plant. Workpieces are delivered from one device to another, both devices (1,7) being located opposite each other and moving in relation to each other. A controllable magnet arrangement (11) is provided on one of the devices (7). A moveable armature element (15) acts as a holding device for the workpiece on one of the two devices (1, 7) which move in relation to each other, namely the device provided with the magnet arrangement. Magnet arrangement (11) is driven to activate the holding device which can be desactivated for delivery of workpiece.
摘要翻译：它提出了一种运输和传送装置用于为真空处理装置中，工件在其中从一个所述工件转移到其他的两个相对的，可相对移动的组件（1,7）。在组件上的所述一个（7）的磁体组件（11）设置，其是可控的。一个可移动的衔铁件（15）同时作为在设置有两个可相对移动组件（1,7），其中，该托架通过驱动磁体组件（11）创建并发布了的工件传送的磁体组件用于工件的支撑件。

3. 发明申请

WO2011089554A1 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG EINER ANTIREFLEXSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT 审中-公开
标题翻译： PROCESS抗REFLEX层对一个基底间距
公开(公告)号：WO2011089554A1
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：PCT/IB2011/050235
申请日：2011-01-19
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , RATTUNDE, Oliver , VOSER, Stephan
发明人： RATTUNDE, Oliver , VOSER, Stephan
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/06 , H01L31/0216
CPC分类号： C23C14/0652 , C23C14/0042 , C23C14/0094 , C23C14/3492 , H01L31/02168 , H01L31/028 , H01L31/03682 , H01L31/03762 , H01L31/1868 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要： Ein Verfahren zur Abscheidung einer Antireflexschicht (6) auf einem Substrat (1) wird angegeben, das folgende Schritte aufweist. Ein Substrat (1), das mehrere Solarzellenstrukturen (2) aufweist, wird bereitgestellt und in eine Vakuumkammer (11) mit einem Festkörper (13), der Silizium aufweist, angeordnet. Ein Fluss eines stickstoffhaltigen reaktiven Gases (20) in die Vakuumkammer (11) wird auf einen ersten Wert eingestellt, während eine Spannung zwischen dem Festkörper (13) und Massepotential (14) ausgeschaltet ist, erhöht auf einen zweiten Wert und eine Spannung zwischen dem Festkörper (13) und Massepotential (14), wobei eine Schicht (6) aus Silizium und Stickstoff auf das Substrat (1) unter eines Flusses des stickstoffhaltigen reaktiven Gases (20), der höher als der erste Wert ist, abgeschieden wird. [Fig. 5a]
摘要翻译：一种用于在衬底（1）上沉积的防反射层（6）的方法，提供了包含以下步骤。具有多个太阳能电池结构（2）的基板（1）被提供并在具有实心体（13）的真空室（11），设置在所述硅。含氮反应气体（20）进入真空室（11）的流被设定为第一值，而被关闭时，在固定体（13）和地电位（14）之间的电压，增加至第二值和固体之间的电压（13）和地电位（14），其中的反应气体（20）的含氮比该第一值时，沉积在流动下的衬底（1）上由硅和氮的层（6）。 [图 5A]

4. 发明申请

WO2010106012A2 METHOD OF INLINE MANUFACTURING A SOLAR CELL PANEL 审中-公开
标题翻译：线性制造太阳能电池板的方法
公开(公告)号：WO2010106012A2
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/053273
申请日：2010-03-15
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , VOSER, Stephan , RATTUNDE, Oliver , DUBS, Martin , FEISTRITZER, Gerald , WUESTENHAGEN, Volker , DOVIDS, Gerhard
发明人： VOSER, Stephan , RATTUNDE, Oliver , DUBS, Martin , FEISTRITZER, Gerald , WUESTENHAGEN, Volker , DOVIDS, Gerhard
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67207
摘要： Throughput of manufacturing thin-film solar panels by inline technique is made substantially independent from the time extent of different surface treatment steps by accordingly subdividing treatment steps in sub-steps performed in inline subsequent treatment stations. Treatment duration in each of the subsequent treatment stations is equal (τ).
摘要翻译：通过在线技术制造薄膜太阳能电池板的生产量通过相应地将处理步骤细分到在后续处理站中执行的子步骤中，基本上独立于不同表面处理步骤的时间范围。每个后续治疗站的治疗持续时间相等（t）。

5. 发明申请

WO2010106012A3 METHOD OF INLINE MANUFACTURING A SOLAR CELL PANEL 审中-公开
标题翻译：线性制造太阳能电池板的方法
公开(公告)号：WO2010106012A3
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：PCT/EP2010053273
申请日：2010-03-15
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , VOSER STEPHAN , RATTUNDE OLIVER , DUBS MARTIN , FEISTRITZER GERALD , WUESTENHAGEN VOLKER , DOVIDS GERHARD
发明人： VOSER STEPHAN , RATTUNDE OLIVER , DUBS MARTIN , FEISTRITZER GERALD , WUESTENHAGEN VOLKER , DOVIDS GERHARD
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67207
摘要： Throughput of manufacturing thin-film solar panels by inline technique is made substantially independent from the time extent of different surface treatment steps by accordingly subdividing treatment steps in sub-steps performed in inline subsequent treatment stations. Treatment duration in each of the subsequent treatment stations is equal (t).
摘要翻译：通过在线技术制造薄膜太阳能电池板的生产量通过相应地在后续处理站中执行的子步骤中的处理步骤进行分割而与不同的表面处理步骤的时间范围基本上独立。每个后续治疗站的治疗持续时间相等（t）。

6. 发明申请

WO2010105967A2 VACUUM TREATMENT APPARATUS 审中-公开
标题翻译：真空处理设备
公开(公告)号：WO2010105967A2
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/053140
申请日：2010-03-11
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , VOSER, Stephan , DOVIDS, Gerhard
发明人： VOSER, Stephan , DOVIDS, Gerhard
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67736 , H01L21/67201 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , Y10S414/139
摘要： A transport arrangement (100) for bi-directionally transporting substrates towards and from a load lock (5) comprises a first substrate handler (1) swivelable about a first axis (A 1 ) and with at least two first substrate carriers (1a, 1b). A second substrate handler (20) swivelable about a second axis (A 20 ) comprises at least four second substrate carriers (20a to 20d). First and second substrate carriers are mutually aligned respectively in one position of their respective swiveling trajectory paths as one of the first substrate carriers is aligned with one of the second substrate carriers and the other of the first substrate carriers is aligned with the load lock (5). The first substrate carriers (1a, 1b) are movable towards and from the load lock (5) once aligned there with and thereby form respectively external valves of the load lock (5).
摘要翻译：用于将基板双向运送到负载锁（5）的传送装置（100）包括可围绕第一轴线（A1）可旋转的第一基板处理器（1）和至少两个第一基板载体（1a，1b）。围绕第二轴线（A20）可旋转的第二衬底处理器（20）包括至少四个第二衬底支架（20a至20d）。第一和第二基板载体分别在它们各自的旋转轨迹路径的一个位置上相互对准，因为第一基板载体之一与第二基板载体中的一个对准，并且第一基板载体中的另一个与负载锁定（5 ）。第一基板载体（1a，1b）可以朝向和离开装载锁（5）移动，一旦与其对准，从而分别形成加载锁（5）的外部阀。

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