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1. 发明申请

WO2011138331A2 PVD-HYBRIDVERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON MISCHKRISTALLSCHICHTEN 审中-公开
标题翻译： PVD混合法分离混合晶体层
公开(公告)号：WO2011138331A2
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/EP2011/057064
申请日：2011-05-03
申请人： WALTER AG , ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit
发明人： ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit
CPC分类号： C23C14/325 , B32B15/01 , B32B15/012 , B32B15/013 , C23C14/08 , C23C14/22 , C23C14/35 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/12493 , Y10T428/12972
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden von Mischkristallschichten mit wenigstens zwei verschiedenen Metallen (M1, M2) auf einem Substrat mittels PVD-Verfahren. Um ein Verfahren zum Abscheiden von Mischkristallschichten mit wenigstens zwei verschiedenen Metallen auf einem Substrat mittels PVD-Verfahren bereitzustellen, mit dem man Mischkristallschichten erhält, die möglichst frei sind von Makropartikeln (Droplets) und die einen möglichst hohen Anteil einer gewünschten kristallinen Phase aufweisen und hochkristallin sind, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Abscheiden der Mischkristallschicht unter gleichzeitiger Anwendung i) des Kathodenzerstäubungsverfahrens duales Magnetronsputtern oder High Power Impulse Magnetronsputtern (HIPIMS) und ii) Lichtbogenverdampfen (Arc-PVD) durchgeführt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于沉积混合晶体层具有通过PVD法在基板上的至少两种不同的金属（M1，M2）的处理。到用于与至少两种不同的金属在基板上通过PVD法用其是尽可能不含宏观颗粒（液滴）的并且具有所希望的结晶相和高度结晶是高比例的所获得的混合晶体层沉积混合晶体层提供一种方法，本发明提出进行同时施加i）所述双阴极溅射磁控管或高功率脉冲磁控管溅射法，在混晶层（HIPIMS）和ii）电弧蒸发（电弧-PVD）的沉积。

2. 发明申请

WO2010106142A1 SCHNEIDWERKZEUG 审中-公开
标题翻译：切削刀具
公开(公告)号：WO2010106142A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/053551
申请日：2010-03-18
申请人： WALTER AG , EBERHARD KARLS UNIVERSITÄT TÜBINGEN , EIBL, Oliver , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： EIBL, Oliver , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/08 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/08 , B23B27/14 , B23B2228/08 , B23B2228/105 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C16/40 , C23C30/005 , Y10T428/257 , Y10T428/265
摘要： Schneidwerkzeug mit einem Substratgrundkörper und einer darauf aufgebrachten ein- oder mehrlagigen Beschichtung, wobei wenigstens eine Lage der Beschichtung eine im PVD-Verfahren oder im CVD- Verfahren hergestellte Metalloxidlage ist und die Metalloxidlage eine Kornstruktur aufweist, bei der innerhalb einer Mehrzahl der vorhandenen Körner strukturelle Unordnungen vorhanden sind, die dadurch charakterisiert sind, dass in den Elektronenbeugungsbildern der Körner bis zu einem maximalen Netzebenenabstand d GRENZ punktförmige Reflexe auftreten und für Netzebenenabstände grösser d GRENZ keine punktförmigen Reflexe auftreten, sondern eine für amorphe Strukturen typische diffuse Intensitätsverteilung.
摘要翻译：一种切削工具，其包括基体和涂覆在其上的一个或多层涂层，其中该涂层的层通过PVD法或CVD法，至少金属氧化物层中产生，并且该金属氧化物层具有的晶粒结构，其中，多个现有晶粒病症的内结构都存在，其特征在于发生在晶粒的电子衍射图像，最多面间距dGRENZ点状的反应和更大的对晶面间距dGRENZ没有点状的反射发生，但一个典型的无定形结构的漫强度分布。

3. 发明申请

WO2011138331A3 PVD HYBRID METHOD FOR DEPOSITING MIXED CRYSTAL LAYERS 审中-公开
标题翻译： PVD混合法分离混合晶体层
公开(公告)号：WO2011138331A3
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：PCT/EP2011057064
申请日：2011-05-03
申请人： WALTER AG , ENGELHART WOLFGANG , SCHIER VEIT
发明人： ENGELHART WOLFGANG , SCHIER VEIT
IPC分类号： C23C14/22 , C23C14/32 , C23C14/35
CPC分类号： C23C14/325 , B32B15/01 , B32B15/012 , B32B15/013 , C23C14/08 , C23C14/22 , C23C14/35 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/12493 , Y10T428/12972
摘要： The present invention relates to a method for depositing mixed crystal layers having at least two different metals (M1, M2) on a substrate by means of a PVD method. In order to provide a method for depositing mixed crystal layers having at least two different metals on a substrate by means of a PVD method, by means of which mixed crystal layers that are as free as possible from macroparticles (droplets) and that have as great a proportion as possible of a desired crystalline phase and that are highly crystalline are obtained, the deposition of the mixed crystal layer is performed while simultaneously applying I) the cathode sputtering method of dual magnetron sputtering or high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) and ii) arc vaporization (arc PVD).
摘要翻译：本发明涉及一种用于沉积混合晶体层具有通过PVD法在基板上的至少两种不同的金属（M1，M2）的处理。到用于与至少两种不同的金属在基板上通过PVD法用其是尽可能不含宏观颗粒（液滴）的并且具有所希望的结晶相和高度结晶是高比例的所获得的混合晶体层沉积混合晶体层提供一种方法，本发明提出进行同时施加i）所述双阴极溅射磁控管或高功率脉冲磁控管溅射法，在混晶层（HIPIMS）和ii）电弧蒸发（电弧-PVD）的沉积。

4. 发明申请

WO2010106142A8 CUTTING TOOL 审中-公开
标题翻译：切削刀具
公开(公告)号：WO2010106142A8
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：PCT/EP2010053551
申请日：2010-03-18
申请人： WALTER AG , EIBL OLIVER , SCHIER VEIT , ENGELHART WOLFGANG
发明人： EIBL OLIVER , SCHIER VEIT , ENGELHART WOLFGANG
IPC分类号： C23C14/08 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/08 , B23B27/14 , B23B2228/08 , B23B2228/105 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C16/40 , C23C30/005 , Y10T428/257 , Y10T428/265
摘要： The invention relates to a cutting tool having a substrate base body and a single or multi-layered coating attached thereupon, wherein at least one layer of the coating is a metal oxide layer produced in the PVD process or in the CVD process and the metal oxide layer has a grain structure wherein there is structural disorder within a plurality of the existing grains that are characterized in that in electron diffraction images of the grains, point-shaped reflections occur up to a maximum lattice spacing dGRENZ and for lattice spacing greater than dGRENZ no point-shaped reflections occur, but rather a diffuse intensity distribution typical for amorphous structures.
摘要翻译：一种切削工具，其包括基体和涂覆在其上的一个或多层涂层，其中该涂层的层通过PVD法或CVD法，至少金属氧化物层中产生，并且该金属氧化物层具有的晶粒结构，其中，多个现有晶粒病症的内结构都存在，其特征在于发生在晶粒的电子衍射图像，最多面间距dGRENZ点状的反应和更大的对晶面间距dGRENZ没有点状的反射发生，但一个典型的无定形结构的漫强度分布。

5. 发明申请

WO2009144119A1 WERKZEUG MIT METALLOXIDBESCHICHTUNG 审中-公开
标题翻译：金属氧化物TOOL
公开(公告)号：WO2009144119A1
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：PCT/EP2009/055403
申请日：2009-05-05
申请人： WALTER AG , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/08 , C23C28/04
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C30/005 , Y10T407/27 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
摘要： Die Erfindung betrifft ein Schneidwerkzeug mit einem Grundkörper und einer darauf aufgebrachten mehrlagigen Beschichtung, welche, gegebenenfalls neben weiteren Lagen, mehrere abwechselnd direkt übereinander aufgebrachte Hauptlagen A und Zwischenlagen B umfaßt, wobei die Hauptlagen A und die Zwischenlagen B jeweils im PVD-Verfahren hergestellte Metalloxidlagen sind, die Dicke der Hauptlagen A im Bereich von 4 nm bis 1 μm liegt und die Dicke der Zwischenlagen B im Bereich von 2 nm bis 50 nm liegt, wobei das Verhältnis der Dicken der Zwischenlagen B zu den Dicken der Hauptlagen A im Bereich von 1 :2 bis 1 :100 liegt.
摘要翻译：本发明涉及一种具有基体的切削工具，并且，其中，所述主层A和在PVD过程中产生的中间层B的金属氧化物，其分别任选地与其它层一起的多个交替直接一个在另一个应用的主层A和中间层B以上的在其上具有多层涂层中，主层A的在4纳米至1微米的范围内的厚度和中间层B是在2nm至50nm的范围内的厚度，其中，所述中间层的B至在1的范围内的主层A的厚度的厚度的比率： 2至1：100。

6. 发明申请

WO2013034598A1 WERKZEUG MIT CHROMHALTIGER FUNKTIONSSCHICHT 审中-公开
标题翻译：用含有铬的故事片TOOL
公开(公告)号：WO2013034598A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/EP2012/067328
申请日：2012-09-05
申请人： WALTER AG , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/35 , C23C30/00
CPC分类号： C23C30/00 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/32 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C14/354 , C23C28/04 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/265
摘要： Die Erfindung betrifft ein Schneidwerkzeug mit einem Substrat aus Hartmetall, Cermet, Stahl oder Schnellarbeitsstahl (HSS) und einer darauf im PVD-Verfahren abgeschiedenen mehrlagigen Beschichtung, welche eine Basislage aus einer oder mehreren übereinander angeordneten gleichen oder verschiedenen Schichten aus einem Nitrid oder Carbonitrid, welches wenigstens Aluminium (AI) und optional ein oder mehrere weitere Metalle, ausgewählt unter AI, Cr, Si, Y, Ru und Mo, enthält, und eine chromhaltige, oxidische Funktionslage umfasst. Um die Anbindung der chromhaltigen Funktionslage zu verbessern, ist erfindungsgemäß zwischen der Basislage und der Funktionslage eine Zwischenlage vorgesehen aus einem oder mehreren Oxiden oder Oxinitriden der Metalle AI, Cr, Si und/oder Zr, wobei die Zwischenlage eine kubische Struktur aufweist und wobei die chromhaltige Funktionslage ausgewählt ist unter Chromoxid (Cr 2 O 3 ), Chromoxinitrid, Aluminium-Chrom-Oxid (AICr) 2 O 3 , Aluminium-Chrom-Oxinitrid oder einem Mischoxid oder Mischoxinitrid aus Aluminium, Chrom und weiteren Metallen (AICrMe 1 , Me n ) 2 -Oxid oder (AICrMe- 1 , Me n ) 2 -Oxinitrid, wobei Me 1 ....Me n ein oder mehrere weitere Metalle bedeutet, ausgewählt unter Hf, Y, Zr und Ru, und wobei die Funktionslage rhomboedrische Struktur aufweist.
摘要翻译：本发明涉及具有硬质合金，金属陶瓷，钢或高速钢（HSS）的基板的切削工具，并通过PVD工艺多层涂层沉积在其上包括的氮化物或碳氮化物的一个或多个重叠的相同或不同的层的基础层，其至少铝（Al）和任选地含有一个或选自Al，Cr，硅，Y，Ru和Mo中的几个其它金属，并包括含铬，氧化功能层。为了根据基本层和功能层之间的本发明，以提高含铬功能层的结合，中间层是由金属铝，铬，Si和/或Zr，其中，所述中间层具有立方结构的一种或多种氧化物或氧氮化物提供，其中所述含铬功能层由氧化铬（的Cr2O3），Chromoxinitrid，铝 - 铬氧化物（ALCR）2O3，铝 - 铬氮氧化物，或铝，铬和其它金属的混合氧化物或Mischoxinitrid（AICrMe1，男性）2-氧化物或（AICrMe-选择 1男性）-2-氧氮化物，其特征在于，ME1 ....男性表示选自Hf，Y，Zr和Ru中的一种或多种其它金属，并且其中，所述功能层具有菱面体结构。

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