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1. 发明申请

WO2011138331A2 PVD-HYBRIDVERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON MISCHKRISTALLSCHICHTEN 审中-公开
标题翻译： PVD混合法分离混合晶体层
公开(公告)号：WO2011138331A2
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/EP2011/057064
申请日：2011-05-03
申请人： WALTER AG , ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit
发明人： ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit
CPC分类号： C23C14/325 , B32B15/01 , B32B15/012 , B32B15/013 , C23C14/08 , C23C14/22 , C23C14/35 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/12493 , Y10T428/12972
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden von Mischkristallschichten mit wenigstens zwei verschiedenen Metallen (M1, M2) auf einem Substrat mittels PVD-Verfahren. Um ein Verfahren zum Abscheiden von Mischkristallschichten mit wenigstens zwei verschiedenen Metallen auf einem Substrat mittels PVD-Verfahren bereitzustellen, mit dem man Mischkristallschichten erhält, die möglichst frei sind von Makropartikeln (Droplets) und die einen möglichst hohen Anteil einer gewünschten kristallinen Phase aufweisen und hochkristallin sind, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Abscheiden der Mischkristallschicht unter gleichzeitiger Anwendung i) des Kathodenzerstäubungsverfahrens duales Magnetronsputtern oder High Power Impulse Magnetronsputtern (HIPIMS) und ii) Lichtbogenverdampfen (Arc-PVD) durchgeführt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于沉积混合晶体层具有通过PVD法在基板上的至少两种不同的金属（M1，M2）的处理。到用于与至少两种不同的金属在基板上通过PVD法用其是尽可能不含宏观颗粒（液滴）的并且具有所希望的结晶相和高度结晶是高比例的所获得的混合晶体层沉积混合晶体层提供一种方法，本发明提出进行同时施加i）所述双阴极溅射磁控管或高功率脉冲磁控管溅射法，在混晶层（HIPIMS）和ii）电弧蒸发（电弧-PVD）的沉积。

2. 发明申请

WO2010106142A1 SCHNEIDWERKZEUG 审中-公开
标题翻译：切削刀具
公开(公告)号：WO2010106142A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/053551
申请日：2010-03-18
申请人： WALTER AG , EBERHARD KARLS UNIVERSITÄT TÜBINGEN , EIBL, Oliver , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： EIBL, Oliver , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/08 , C23C30/00
CPC分类号： C23C14/08 , B23B27/14 , B23B2228/08 , B23B2228/105 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C16/40 , C23C30/005 , Y10T428/257 , Y10T428/265
摘要： Schneidwerkzeug mit einem Substratgrundkörper und einer darauf aufgebrachten ein- oder mehrlagigen Beschichtung, wobei wenigstens eine Lage der Beschichtung eine im PVD-Verfahren oder im CVD- Verfahren hergestellte Metalloxidlage ist und die Metalloxidlage eine Kornstruktur aufweist, bei der innerhalb einer Mehrzahl der vorhandenen Körner strukturelle Unordnungen vorhanden sind, die dadurch charakterisiert sind, dass in den Elektronenbeugungsbildern der Körner bis zu einem maximalen Netzebenenabstand d GRENZ punktförmige Reflexe auftreten und für Netzebenenabstände grösser d GRENZ keine punktförmigen Reflexe auftreten, sondern eine für amorphe Strukturen typische diffuse Intensitätsverteilung.
摘要翻译：一种切削工具，其包括基体和涂覆在其上的一个或多层涂层，其中该涂层的层通过PVD法或CVD法，至少金属氧化物层中产生，并且该金属氧化物层具有的晶粒结构，其中，多个现有晶粒病症的内结构都存在，其特征在于发生在晶粒的电子衍射图像，最多面间距dGRENZ点状的反应和更大的对晶面间距dGRENZ没有点状的反射发生，但一个典型的无定形结构的漫强度分布。

3. 发明申请

WO2013034598A1 WERKZEUG MIT CHROMHALTIGER FUNKTIONSSCHICHT 审中-公开
标题翻译：用含有铬的故事片TOOL
公开(公告)号：WO2013034598A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/EP2012/067328
申请日：2012-09-05
申请人： WALTER AG , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/35 , C23C30/00
CPC分类号： C23C30/00 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/32 , C23C14/325 , C23C14/35 , C23C14/354 , C23C28/04 , C23C28/044 , C23C30/005 , Y10T428/265
摘要： Die Erfindung betrifft ein Schneidwerkzeug mit einem Substrat aus Hartmetall, Cermet, Stahl oder Schnellarbeitsstahl (HSS) und einer darauf im PVD-Verfahren abgeschiedenen mehrlagigen Beschichtung, welche eine Basislage aus einer oder mehreren übereinander angeordneten gleichen oder verschiedenen Schichten aus einem Nitrid oder Carbonitrid, welches wenigstens Aluminium (AI) und optional ein oder mehrere weitere Metalle, ausgewählt unter AI, Cr, Si, Y, Ru und Mo, enthält, und eine chromhaltige, oxidische Funktionslage umfasst. Um die Anbindung der chromhaltigen Funktionslage zu verbessern, ist erfindungsgemäß zwischen der Basislage und der Funktionslage eine Zwischenlage vorgesehen aus einem oder mehreren Oxiden oder Oxinitriden der Metalle AI, Cr, Si und/oder Zr, wobei die Zwischenlage eine kubische Struktur aufweist und wobei die chromhaltige Funktionslage ausgewählt ist unter Chromoxid (Cr 2 O 3 ), Chromoxinitrid, Aluminium-Chrom-Oxid (AICr) 2 O 3 , Aluminium-Chrom-Oxinitrid oder einem Mischoxid oder Mischoxinitrid aus Aluminium, Chrom und weiteren Metallen (AICrMe 1 , Me n ) 2 -Oxid oder (AICrMe- 1 , Me n ) 2 -Oxinitrid, wobei Me 1 ....Me n ein oder mehrere weitere Metalle bedeutet, ausgewählt unter Hf, Y, Zr und Ru, und wobei die Funktionslage rhomboedrische Struktur aufweist.
摘要翻译：本发明涉及具有硬质合金，金属陶瓷，钢或高速钢（HSS）的基板的切削工具，并通过PVD工艺多层涂层沉积在其上包括的氮化物或碳氮化物的一个或多个重叠的相同或不同的层的基础层，其至少铝（Al）和任选地含有一个或选自Al，Cr，硅，Y，Ru和Mo中的几个其它金属，并包括含铬，氧化功能层。为了根据基本层和功能层之间的本发明，以提高含铬功能层的结合，中间层是由金属铝，铬，Si和/或Zr，其中，所述中间层具有立方结构的一种或多种氧化物或氧氮化物提供，其中所述含铬功能层由氧化铬（的Cr2O3），Chromoxinitrid，铝 - 铬氧化物（ALCR）2O3，铝 - 铬氮氧化物，或铝，铬和其它金属的混合氧化物或Mischoxinitrid（AICrMe1，男性）2-氧化物或（AICrMe-选择 1男性）-2-氧氮化物，其特征在于，ME1 ....男性表示选自Hf，Y，Zr和Ru中的一种或多种其它金属，并且其中，所述功能层具有菱面体结构。

4. 发明申请

WO2009144119A1 WERKZEUG MIT METALLOXIDBESCHICHTUNG 审中-公开
标题翻译：金属氧化物TOOL
公开(公告)号：WO2009144119A1
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：PCT/EP2009/055403
申请日：2009-05-05
申请人： WALTER AG , SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/08 , C23C28/04
CPC分类号： C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C30/005 , Y10T407/27 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
摘要： Die Erfindung betrifft ein Schneidwerkzeug mit einem Grundkörper und einer darauf aufgebrachten mehrlagigen Beschichtung, welche, gegebenenfalls neben weiteren Lagen, mehrere abwechselnd direkt übereinander aufgebrachte Hauptlagen A und Zwischenlagen B umfaßt, wobei die Hauptlagen A und die Zwischenlagen B jeweils im PVD-Verfahren hergestellte Metalloxidlagen sind, die Dicke der Hauptlagen A im Bereich von 4 nm bis 1 μm liegt und die Dicke der Zwischenlagen B im Bereich von 2 nm bis 50 nm liegt, wobei das Verhältnis der Dicken der Zwischenlagen B zu den Dicken der Hauptlagen A im Bereich von 1 :2 bis 1 :100 liegt.
摘要翻译：本发明涉及一种具有基体的切削工具，并且，其中，所述主层A和在PVD过程中产生的中间层B的金属氧化物，其分别任选地与其它层一起的多个交替直接一个在另一个应用的主层A和中间层B以上的在其上具有多层涂层中，主层A的在4纳米至1微米的范围内的厚度和中间层B是在2nm至50nm的范围内的厚度，其中，所述中间层的B至在1的范围内的主层A的厚度的厚度的比率： 2至1：100。

5. 发明申请

WO2022229429A1 A COATED CUTTING TOOL 审中-公开
公开(公告)号：WO2022229429A1
公开(公告)日：2022-11-03
申请号：PCT/EP2022/061565
申请日：2022-04-29
申请人： WALTER AG
发明人： LIEBIG, Jan Philipp , ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit
IPC分类号： C23C30/00 , C23C28/04 , C23C28/00
摘要： The invention relates to a coated cutting tool having at least one rake face and at least one flank face and a cutting edge inbetween, the coated cutting tool comprising a substrate and a coating, the coating comprises a (Ti, AI)N layer, the (Ti,AI)N layer having an overall atomic ratio AI/(Ti+AI) of >0.67 but ≤ 0.85, wherein the (Ti, Al) N layer shows a distribution of 111 misorientation angles, a 111 misorientation angle being the angle between a normal vector to the surface of the (Ti, AI)N layer and the direction that is closest to the normal vector to the surface of the (Ti, Al) N layer, a cumulative frequency distribution of the 111 misorientation angles is such that-≥ 60% of the 111 misorientation angles are less than 10 degrees.

6. 发明申请

WO2022117754A1 A COATED CUTTING TOOL WITH AN ALTERNATING LAYER COMPOSITION 审中-公开
公开(公告)号：WO2022117754A1
公开(公告)日：2022-06-09
申请号：PCT/EP2021/084033
申请日：2021-12-02
申请人： WALTER AG
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C28/04 , C23C28/00 , C23C14/35 , C23C14/34 , C23C14/06 , C23C14/32 , H01J37/34
摘要： The invention relates to a coated cutting tool comprising a substrate and a coating, the coating comprises a (Ti,Al,Si)N layer, the (Ti,Al,Si)N layer comprises a periodical change in contents of the elements Ti, Al, and Si, over the thickness of the (Ti,Al,Si)N layer, between a minimum content and a maximum content of each element, wherein the average minimum content of Ti being from 14 to 18 at.%, the average maximum content of Ti being from 18 to 22 at.%, the average minimum content of Al being from 18 to 22 at.%, the average maximum content of Al being from 24 to 28 at.%, the average minimum content of Si being from 0 to 2 at.%, the average maximum content of Si being from 1 to 5 at.%, the remaining content in the (Ti,Al,Si)N layer being a noble gas in an average content of from 0.1 to 5 at.% and the element N.

7. 发明申请

WO2019043167A1 WEAR RESISTANT PVD TOOL COATING CONTAINING TIALN NANOLAYER FILMS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019043167A1
公开(公告)日：2019-03-07
申请号：PCT/EP2018/073490
申请日：2018-08-31
申请人： WALTER AG
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C28/04 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/32 , C23C30/00
摘要： The invention relates to a coated cutting tool and a process for the production thereof, the coated cutting tool consisting of a substrate and a hard material coating, the substrate being selected from cemented carbide, cermet, ceramics, cubic boron nitride (cBN), polycrystalline diamond (PCD) or high-speed steel (HSS), wherein the hard material coating comprises a (Ti,Al)N layer stack (L) of alternately stacked (Ti,Al)N sub-layers, the layer stack (L) having the following characteristics: - the overall atomic ratio of Ti:Al within the (Ti,Al)N layer stack (L) is within the range from 0.33:0.67 to 0.67:0.33; - the total thickness of the (Ti,Al)N layer stack (L) is within the range from 1 µm to 20 µm; - each of the individual (Ti,Al)N sub-layers within the (Ti,Al)N layer stack (L) of alternately stacked (Ti,Al)N sub-layers has a thickness within the range from 0.5 nm to 50 nm; - each of the individual (Ti,Al)N sub-layers within the (Ti,Al)N layer stack (L) of alternately stacked (Ti,Al)N sub-layers being different in respect of the atomic ratio Ti:Al than an immediately adjacent (Ti,Al)N sub-layer; - over the thickness of the (Ti,Al)N layer stack (L) perpendicular to the substrate surface the content of Al increases and the content of Ti decreases from the interface of the (Ti,Al)N layer stack (L) arranged in the direction towards the substrate to the interface of the (Ti,Al)N layer (L) stack arranged in the direction towards the outer surface of the coating; - over the thickness of the (Ti,Al)N layer stack (L) perpendicular to the substrate surface the residual stress σ decreases from the interface of the (Ti,Al)N layer stack (L) arranged in the direction towards the substrate to the interface of the (Ti,Al)N layer stack (L) arranged in the direction towards the outer surface of the coating by an amount of at least 150 MPa to at most 900 MPa, whereby the residual stress σ is measured by X-ray diffraction applying the sin 2 Ψ method based on the (2 0 0) reflection; - the residual stress σ within a portion of a thickness of at least 100 nm to at most 1 µm within the (Ti,Al)N layer stack (L) from the interface of the (Ti,Al)N layer stack (L) arranged in the direction towards the substrate is within the range of from 0 MPa to +450 MPa.

8. 发明申请

WO2021122892A A COATED CUTTING TOOL 审中-公开
公开(公告)号：WO2021122892A
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：PCT/EP2020/086640
申请日：2020-12-17
申请人： WALTER AG [DE]/[DE]
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C28/04 , C23C14/06 , C23C14/35 , C23C28/00 , C23C30/00 , C23C14/0036 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/345 , C23C14/3485 , C23C14/3492 , C23C14/352 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/42 , C23C30/005
摘要： The invention relates to a coated cutting tool comprising a substrate with a coating comprising a (Ti,AI)N layer having an overall composition (TixAl1-x)N, 0.34≤x≤0.65, the (Ti,AI)N layer contains columnar (Ti,AI)N grains with an average grain size of from 10 to 100 nm, the (Ti,AI)N layer comprises lattice planes of a cubic crystal structure, the (Ti,AI)N layer shows a pattern in electron diffraction analysis wherein there is a diffraction signal existing which is shown as a peak (P) in an averaged radial intensity distribution profile having its maximum within a scattering vector range of from 3.2 to 4.0 nm-1, the full width half maximum (FWHM) of the peak (P) is from 0.8 to 2.0 nm-1.

9. 发明申请

WO2021122905A1 A COATED CUTTING TOOL 审中-公开
公开(公告)号：WO2021122905A1
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：PCT/EP2020/086659
申请日：2020-12-17
申请人： WALTER AG
发明人： ENGELHART, Wolfgang , SCHIER, Veit , MAJCHRZAK, Sven
IPC分类号： C23C28/04 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/32 , C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C28/00 , C23C30/00 , C23C14/021 , C23C14/024 , C23C14/027 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C23C14/325 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C28/048 , C23C28/40 , C23C28/42 , C23C28/44 , C23C30/005
摘要： The invention relates to a coated cutting tool and a process for the production thereof, the coated cutting tool consisting of a substrate body of WC-Co based cemented carbide and a coating, the coating comprises, a first (Ti,Al)N multilayer, a first gamma-aluminium oxide layer, and a set of alternating second (Ti,Al)N multilayers and second gamma-aluminium oxide layers.

10. 发明申请

WO2016128504A1 VHM-SCHAFTFRÄSER MIT TiAlN-ZrN-BESCHICHTUNG 审中-公开
标题翻译：整体硬质合金立铣刀的TiAlN涂层的ZrN
公开(公告)号：WO2016128504A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/EP2016/052891
申请日：2016-02-11
申请人： WALTER AG
发明人： SCHIER, Veit , ENGELHART, Wolfgang
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/35 , C23C14/06 , C23C28/04 , H01J37/34 , C23C30/00 , C23C28/00
CPC分类号： C23C14/3485 , B23C5/16 , B23C2222/14 , B23C2222/84 , B23C2228/08 , B23C2228/10 , C23C14/0641 , C23C14/35 , C23C28/042 , C23C28/044 , C23C30/005 , H01J37/3426 , H01J37/3467
摘要： Vollhartmetallfräser (VHM-Fräser) mit einem Substrat aus Hartmetall und einer wenigstens auf den beim Fräsvorgang mit einem Werkstück in Kontakt tretenden Oberflächenbereichen im PVD-Verfahren aufgebrachten mehrlagigen Beschichtung, wobei die mehrlagige Beschichtung eine unmittelbar auf der Substratoberfläche abgeschiedene ein- oder mehrlagige Funktionsschicht und eine darüber abgeschiedene ein- oder mehrlagige Deckschicht umfasst, wobei die Funktionsschicht aus einer oder mehreren Lagen von Ti x Al 1-x N mit 0,3 ≤ x ≤ 0,55 besteht und eine Gesamtdicke von 1 µm bis 15 µm aufweist, die Deckschicht aus einer oder mehreren Lagen von ZrN besteht und eine Gesamtdicke von 50 nm bis 1 µm aufweist und die Funktionsschicht und die Deckschicht mittels High Power Impulse Magnetronsputtern (HI-PIMS) abgeschieden sind, wobei bei der Abscheidung der Funktionsschicht jedes Sputtertarget aus abzuscheidendem Material in der Beschichtungskammer mit Leistungspulsen beaufschlagt wird, welche eine Energiemenge auf das Sputtertarget übertragen, die eine maximale Leistungsdichte im Puls von ≤ 500 W/cm 2 übersteigt.
摘要翻译：整体硬质合金端铣刀（整体硬质合金端铣刀）用硬金属基材和至少施加的涂层，以与PVD工艺多层涂层的工件表面区域中的研磨操作过程中接触，所述多层涂覆直接在基板表面上沉积单层或多层功能层和一个它包括沉积单层或多层涂层，其中所述功能层由具有0.3≤X≤0.55 TixAl1-Xn中的一个或多个层，并且具有1微米至15微米的总厚度，一个或多个层的顶层由氮化锆，并且具有由高功率脉冲磁控管（HI-PIMS）被沉积的装置的50纳米至1微米的总厚度，并且所述功能层和覆盖层，各溅射靶是由材料中的功能层的沉积过程中施加在与功率脉冲涂覆室将被沉积含 È发送能量的量至超过在≤500 W / cm 2的脉冲的最大功率密度的溅射靶。

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