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    • 4. 发明申请
    • SONDE FÜR EIN OPTISCHES NAHFELDMIKROSKOP MIT VERBESSERTER STREULICHTUNTERDRÜCKUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
    • 随着对改善的镜头抑制与方法探头的光学近场显微镜及其
    • WO2004068502A2
    • 2004-08-12
    • PCT/EP2003/014557
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BRANDENBURG, Albrecht
    • BRANDENBURG, Albrecht
    • G12B21/06
    • G01Q60/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop, welche einen planaren Träger mit einer Sondenspitze aufweist, wobei die Sondenspitze zumindest teilweise aus einem transparenten Material besteht. Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Sonde. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop und ein Verfahren zu deren Herstellung zur Verfügung zu stellen, wobei die Sonde mit einer hohen Reproduzierbarkeit in einer einfachen Technologie gefertigt werden kann und die Sonde eine einfache aber effiziente Lichtzuführung aufweist. Die Aufgabe wird bei einer Sonde der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Träger einen Lichtwellenleiter aufweist. Hinsichtlich eines Verfahrens zur Herstellung einer Sonde wird die vorgenannte Aufgabe erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren mit den Schritten: Aufbringen einer Beschichtung auf ein Substrat in einem ersten Schritt, wobei die Beschichtung einen Lichtwellenleiter aufweist; Aufbringen einer transparenten Schicht in einem zweiten Schritt, so dass der Lichtwellenleiter zwischen dem Substrat und der transparenten Schicht angeordnet ist; Maskieren der transparenten Schicht wenigstens in einem Bereich oberhalb der Sondenspitze in einem dritten Schritt; und Ätzen der transparenten Schicht unter Ausbildung der Sondenspitze, in einem vierten Schritt.
    • 本发明涉及一种用于光学近场显微镜,其包括:包括探针尖端的平面载体的探针,所述探针针尖至少部分地由透明材料制成。 本发明还涉及一种用于制造这样的探针的方法。 本发明的目的,一种用于光学近场显微镜和方法的探针,以提供它们的制备,所述探针可以在一个简单的技术高的再现性和具有简单但有效的光递送探头来制造。 该目的是通过根据其特征在于,支撑件包括一个光波导本发明中提到的类型的探针来实现。 至于用于制备探针的方法,上述目的按本发明通过包括以下步骤的方法来实现:将涂层施加到在第一步骤中,其中所述涂层具有光波导基板; 在第二步骤中的透明层中的应用,从而使光波导被布置在基板和透明层之间; 至少在第三步骤中,探针针尖正上方的区域的透明层的掩蔽; 和下成形在第四步中,探针尖端蚀刻透明层。
    • 7. 发明申请
    • SONDE FÜR EIN OPTISCHES NAHFELDMIKROSKOP UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
    • 光针显微镜探针及其生产方法
    • WO2004068501A2
    • 2004-08-12
    • PCT/EP2003/014555
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BRANDENBURG, AlbrechtKÜNZEL, ChristaEBERHARD, Dietmar
    • BRANDENBURG, AlbrechtKÜNZEL, ChristaEBERHARD, Dietmar
    • G12B21/06
    • G01Q60/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop, welche eine Sondenspitze umfasst, die an einem freitragenden Träger ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop und ein Verfahren zu deren Herstellung zur Verfügung zu stellen, wobei die Sonde eine Sondenspitze mit einem sehr kleinen Blendendurchmesser besitzt und demnach in einem einfachen, vorteilhaft steuerbaren Verfahren reproduzierbar hergestellt werden kann. Diese Aufgabe wird hinsichtlich der Sonde durch eine gattungsgemässe Sonde gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Sondenspitze als eine Vollstruktur ausgebildet ist, die auf einer planaren Oberfläche des Trägers aufgebracht ist. Die Aufgabe wird hinsichtlich eines Verfahrens zur Herstellung einer Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop erfindungsgemäss durch ein Verfahren mit den Schritten gelöst: Aufbringen einer transparenten Schicht auf ein Substrat, wobei eine Dicke der transparenten Schicht wenigstens einer Höhe der Sondenspitze entspricht; Maskieren der transparenten Schicht wenigstens in einem Bereich der Sondenspitze; und Ätzen der transparenten Schicht unter Ausbildung der Sondenspitze.
    • 本发明涉及一种用于近场光学显微镜的探针,其包括形成在悬臂式载体上的探针尖端及其制造方法。 它是本发明的一个目的,为导航用的探针,以提供供应,具有一个非常小的孔直径,因此,在一个简单的,有利的可控过程再现的探针针尖的探针; r用于它们的制备的AV导航用途的光学近场显微镜和方法 可以生产。 该目的相对于通用探针的探针实现,其特征在于探针尖端形成为沉积在载体的平坦表面上的固体结构。 目的是提供一种根据本发明&AUML制造探针用于导航用途为r的光学近场显微镜的方法; SS通过一种方法,包括凝胶ouml的步骤; ST:在衬底上施加一个透明层,其中厚度至少为1 H&ouml的透明层的,探头顶端的高度 对应; 至少在探针尖端的区域中遮蔽透明层; 并蚀刻透明层以形成探针尖端。
    • 8. 发明申请
    • PROBE FOR AN OPTICAL NEAR FIELD MICROSCOPE WITH IMPROVED SCATTERED LIGHT SUPPRESSION AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
    • 具有改进的交叉引用的光学针显微镜探针及其制造方法
    • WO2004068502A3
    • 2004-11-04
    • PCT/EP0314557
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER GES FORSCHUNGBRANDENBURG ALBRECHT
    • BRANDENBURG ALBRECHT
    • B81B1/00B81B3/00G01Q60/22G12B21/06G12B21/02
    • G01Q60/22
    • The invention relates to a probe for an optical near field microscope, said probe comprising a planar carrier carrying a probe tip at least partially consisting of a transparent material. The invention also relates to a method for producing one such probe. The aim of the invention is to provide a probe for an optical near field microscope and a method for the production thereof, whereby the probe can be produced with high reproducibility according to a simple technology and can have a simple but efficient light supply. To this end, the carrier of one such probe comprises an optical waveguide, and the inventive method comprises the following steps: a coating comprising an optical waveguide is applied to a substrate in a first step; a transparent layer is applied in a second step, such that the optical waveguide is arranged between the substrate and the transparent layer; the transparent layer is masked in at least one region above the probe tip in a third step; and the transparent layer is etched, forming the probe tip, in a fourth step.
    • 本发明涉及用于近场光学显微镜的探针,其具有带探针尖端的平面载体,其中探针尖端至少部分由透明材料构成。 本发明还涉及制造这种探针的方法。 本发明的目的,一种用于光学近场显微镜和方法的探针,以提供它们的制备,所述探针可以在一个简单的技术高的再现性和具有简单但有效的光递送探头来制造。 该目的是在本发明提到的类型的探测器中实现的,其中载体具有光波导。 关于探针的制造方法,根据本发明通过包括以下步骤的方法实现上述目的:在第一步骤中将涂层涂覆到基底上,所述涂层具有光波导; 在第二步中施加透明层,使得光波导布置在基板和透明层之间; 在第三步骤中至少在探针尖端上方的区域中遮蔽透明层; 以及在第四步骤中蚀刻透明层以形成探针尖端。
    • 9. 发明申请
    • PROBE FOR AN OPTICAL NEAR FIELD MICROSCOPE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
    • 探头的光学近场显微镜和方法及其
    • WO2004068501A3
    • 2004-11-04
    • PCT/EP0314555
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER GES FORSCHUNGBRANDENBURG ALBRECHTKUENZEL CHRISTAEBERHARD DIETMAR
    • BRANDENBURG ALBRECHTKUENZEL CHRISTAEBERHARD DIETMAR
    • B81B1/00B81B3/00G01Q60/22G12B21/06G12B21/02G21B21/02
    • G01Q60/22
    • The invention relates to a probe for an optical near field microscope, said probe comprising a tip which is formed on a self-contained carrier, and to a method for producing the same. The aim of the invention is to provide a probe for an optical near field microscope and a method for the production thereof, whereby the probe has a tip with a very small aperture diameter and can thus be produced in a reproducible manner, according to a simple, advantageously controllable method. To this end, the inventive probe is characterised in that the probe tip is embodied as a complete structure which is applied to a planar surface of the carrier, and the inventive method comprises the following steps: a transparent layer is applied to a substrate, the thickness of the transparent layer corresponding to at least the height of the probe tip; the transparent layer is masked in at least one region of the probe tip; and the transparent layer is etched, forming the probe tip.
    • 本发明涉及一种探针用于光学近场显微镜,其包括被一个悬臂梁构成的探针尖端,以及它们的制备的方法。 本发明的目的,一种用于光学近场显微镜和方法的探针,以提供它们的,具有非常小的孔直径的探针尖端的探针,并且可以因此可重复地在一个简单的,有利的控制的工艺制造的制剂。 该目的是通过一个通用的探针,其特征在于,探针尖端形成为一个完整的结构,其被施加到载体的平坦表面关于探针实现。 该目的是利用方面取得一种用于根据本发明通过包括以下步骤的方法制造探针的光学近场显微镜:在衬底上沉积透明层,其中厚度至少为所述探针针尖的高度对应的所述透明层的; 在探针尖端的区域中的至少所述透明层的掩蔽; 和下方形成探头尖端蚀刻透明层。