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    • 3. 发明申请
    • SONDE FÜR EIN OPTISCHES NAHFELDMIKROSKOP UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
    • 光针显微镜探针及其生产方法
    • WO2004068501A2
    • 2004-08-12
    • PCT/EP2003/014555
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BRANDENBURG, AlbrechtKÜNZEL, ChristaEBERHARD, Dietmar
    • BRANDENBURG, AlbrechtKÜNZEL, ChristaEBERHARD, Dietmar
    • G12B21/06
    • G01Q60/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop, welche eine Sondenspitze umfasst, die an einem freitragenden Träger ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop und ein Verfahren zu deren Herstellung zur Verfügung zu stellen, wobei die Sonde eine Sondenspitze mit einem sehr kleinen Blendendurchmesser besitzt und demnach in einem einfachen, vorteilhaft steuerbaren Verfahren reproduzierbar hergestellt werden kann. Diese Aufgabe wird hinsichtlich der Sonde durch eine gattungsgemässe Sonde gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Sondenspitze als eine Vollstruktur ausgebildet ist, die auf einer planaren Oberfläche des Trägers aufgebracht ist. Die Aufgabe wird hinsichtlich eines Verfahrens zur Herstellung einer Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop erfindungsgemäss durch ein Verfahren mit den Schritten gelöst: Aufbringen einer transparenten Schicht auf ein Substrat, wobei eine Dicke der transparenten Schicht wenigstens einer Höhe der Sondenspitze entspricht; Maskieren der transparenten Schicht wenigstens in einem Bereich der Sondenspitze; und Ätzen der transparenten Schicht unter Ausbildung der Sondenspitze.
    • 本发明涉及一种用于近场光学显微镜的探针,其包括形成在悬臂式载体上的探针尖端及其制造方法。 它是本发明的一个目的,为导航用的探针,以提供供应,具有一个非常小的孔直径,因此,在一个简单的,有利的可控过程再现的探针针尖的探针; r用于它们的制备的AV导航用途的光学近场显微镜和方法 可以生产。 该目的相对于通用探针的探针实现,其特征在于探针尖端形成为沉积在载体的平坦表面上的固体结构。 目的是提供一种根据本发明&AUML制造探针用于导航用途为r的光学近场显微镜的方法; SS通过一种方法,包括凝胶ouml的步骤; ST:在衬底上施加一个透明层,其中厚度至少为1 H&ouml的透明层的,探头顶端的高度 对应; 至少在探针尖端的区域中遮蔽透明层; 并蚀刻透明层以形成探针尖端。
    • 4. 发明申请
    • PROBE FOR AN OPTICAL NEAR FIELD MICROSCOPE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
    • 探头的光学近场显微镜和方法及其
    • WO2004068501A3
    • 2004-11-04
    • PCT/EP0314555
    • 2003-12-18
    • FRAUNHOFER GES FORSCHUNGBRANDENBURG ALBRECHTKUENZEL CHRISTAEBERHARD DIETMAR
    • BRANDENBURG ALBRECHTKUENZEL CHRISTAEBERHARD DIETMAR
    • B81B1/00B81B3/00G01Q60/22G12B21/06G12B21/02G21B21/02
    • G01Q60/22
    • The invention relates to a probe for an optical near field microscope, said probe comprising a tip which is formed on a self-contained carrier, and to a method for producing the same. The aim of the invention is to provide a probe for an optical near field microscope and a method for the production thereof, whereby the probe has a tip with a very small aperture diameter and can thus be produced in a reproducible manner, according to a simple, advantageously controllable method. To this end, the inventive probe is characterised in that the probe tip is embodied as a complete structure which is applied to a planar surface of the carrier, and the inventive method comprises the following steps: a transparent layer is applied to a substrate, the thickness of the transparent layer corresponding to at least the height of the probe tip; the transparent layer is masked in at least one region of the probe tip; and the transparent layer is etched, forming the probe tip.
    • 本发明涉及一种探针用于光学近场显微镜,其包括被一个悬臂梁构成的探针尖端,以及它们的制备的方法。 本发明的目的,一种用于光学近场显微镜和方法的探针,以提供它们的,具有非常小的孔直径的探针尖端的探针,并且可以因此可重复地在一个简单的,有利的控制的工艺制造的制剂。 该目的是通过一个通用的探针,其特征在于,探针尖端形成为一个完整的结构,其被施加到载体的平坦表面关于探针实现。 该目的是利用方面取得一种用于根据本发明通过包括以下步骤的方法制造探针的光学近场显微镜:在衬底上沉积透明层,其中厚度至少为所述探针针尖的高度对应的所述透明层的; 在探针尖端的区域中的至少所述透明层的掩蔽; 和下方形成探头尖端蚀刻透明层。