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1. 发明申请

WO2014083151A1 STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION EN PARTICULES D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS 审中-公开
标题翻译：用于测量输送室和大气储存半导体基板的运输室的颗粒污染的站和方法
公开(公告)号：WO2014083151A1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：PCT/EP2013/075075
申请日：2013-11-29
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： THOVEX, Cindy , BOUNOUAR, Julien , FAVRE, Arnaud
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N15/10 , G01N2015/1062 , H01L21/67389
摘要： L'invention concerne une station de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, ladite enceinte de transport comprenant une enveloppe rigide (2) munie d'une ouverture et une porte (3) amovible permettant d'obturer l'ouverture, la station de mesure comportant : - une chambre à environnement contrôlé (4) comportant au moins un port de chargement (8) susceptible de s'accoupler d'une part à l'enveloppe rigide (2) et d'autre part à la porte (3) de l'enceinte de transport, pour déplacer la porte (3) dans la chambre à environnement contrôlé (4) et mettre l'intérieur de l'enveloppe rigide (2) en communication avec l'intérieur de la chambre à environnement contrôlé (4), - un module de mesure (5) comportant une unité de mesure des particules (14) et une interface de mesure enveloppe (16) configurée pour s'accoupler à l'enveloppe rigide (2) d'enceinte de transport accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4) à la place de la porte (3), caractérisée en ce que ladite interface de mesure enveloppe (16) comporte une tête de mesure faisant saillie d'une base de l'interface de mesure enveloppe portant un premier orifice de prélèvement (12) raccordé à l'unité de mesure des particules (14) et au moins deux buses d'injection (20) configurées pour diriger un jet de gaz sur au moins deux endroits distincts de l'enveloppe rigide (2) accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4), les orientations respectives des buses d'injection (20) étant fixes par rapport à l'enveloppe rigide (2) accouplée. L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量用于输送和大气存储半导体衬底的传送室的颗粒污染的站，所述传送室包括设置有开口的刚性外壳（2）和使开口闭合的可拆卸门（3）。测量站包括：具有受控环境的室（4），包括适于联接到刚性外壳（2）的至少一个装载端口（8）并且还连接到传送室的门（3），例如将门（3）移动到具有受控环境的室（4）中，并将刚性外壳（2）的内部与具有受控环境的室（4）的内部连通; 以及包括用于测量所述颗粒的单元（14）的测量模块（5）以及被配置为联接到耦合到所述室（4）的所述刚性外壳（2）传送室的外壳测量接口（16）控制环境，而不是门（3）。所述测量站的特征在于，所述外壳测量接口（16）包括从外壳测量接口的底部突出的测量头，具有连接到所述单元（14）的第一采样开口（12），用于测量所述颗粒，以及至少两个注射喷嘴（20），其构造成将气流引导到具有受控环境的连接到所述腔室（4）的刚性外壳（2）的至少两个分开的位置。注射喷嘴（20）的相应取向相对于联接的刚性外壳（2）是静止的。本发明还涉及一种用于测量用于输送和大气存储半导体衬底的传送室的颗粒污染物的方法。

2. 发明申请

WO2014016308A4 PROCEDE ET INSTALLATION DE DETECTION POUR LE CONTROLE D'ETANCHEITE DE PRODUITS SCELLES 审中-公开
标题翻译：检测密封产品的方法和设备
公开(公告)号：WO2014016308A4
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/EP2013/065541
申请日：2013-07-23
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： BOUNOUAR, Julien , PALISSON, Julien , BUNOD, Philippe , RIOUFRAYS, Sylvain , HADJ-RABAH, Smail
IPC分类号： G01M3/22 , G01M3/38
摘要： L'invention concerne un procédé de détection pour le contrôle d'étanchéité d'emballages de produits scellés caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: on place au moins un produit qui a été scellé (2) au préalable sous atmosphère d'air, d'azote ou d'oxygène, dans une enceinte (3) (étape 101), on abaisse la pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide secondaire inférieure à 10 -1 mbar et, tout en poursuivant le pompage sous vide secondaire dans l'enceinte (3), on ionise les gaz contenus dans l'enceinte pour surveiller l'évolution dans l'enceinte (3) de la concentration d'au moins une espèce gazeuse du volume gazeux contenu dans le produit scellé (2) parmi l'azote, l'oxygène ou l'argon, par analyse par spectrométrie d'émission optique ou de masse (étape 102).
摘要翻译：
本发明涉及一种方法检测控制气密性和相关性; 密封产品包装字符eac ris ris＆＆＆＆＆＆d'd'd' 其中包括以下步骤：放置至少一个已被移除的产品; 密封＆eacute; （2）预先在空气，氮气或氧气的气氛中，在外壳（3）中（步骤101），外壳（3）中的压力降低 ; 较低的二次真空压力> 10 -1毫巴，并且在室（3）中继续进行二次真空泵送时，室中所含的气体被离子化以监测室中的演变（ 3）密封产品中所含气态体积的至少一种气态物质的浓度; （2）通过光学或质谱分析（102）从氮气，氧气或氩气中分离出来（102）

3. 发明申请

WO2012032059A1 METHOD AND DEVICE FOR THE DEPOLLUTION OF A PELLICULATED RETICLE 审中-公开
标题翻译：用于溶剂化物溶液的方法和装置
公开(公告)号：WO2012032059A1
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：PCT/EP2011/065408
申请日：2011-09-06
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , FAVRE, Arnaud , HADJ RABAH, Smail , BOUNOUAR, Julien
发明人： FAVRE, Arnaud , HADJ RABAH, Smail , BOUNOUAR, Julien
IPC分类号： G03F1/64 , G03F7/20 , G03F1/00
CPC分类号： B08B5/00 , G03F1/64 , G03F1/82 , G03F7/70983
摘要： The object of the present invention is a device for depolluting a non-sealed, confined environment (1) having a natural leakage (6) and including an interior space (9) bounded by a wall (7), comprising a depollution enclosure (11, 30) means (32, 42) for pumping gas and means (33, 43) for introducing gas. The depollution enclosure (11, 30) has at least two chambers (12, 13; 31, 41) separated by a sealing wall (14, 49). A first chamber (12, 31) is constituted by the part of the enclosure that is situated in contact with the wall (7) of the non-sealed, confined environment (1) and cooperates with first means for pumping (42) and first means for introducing gas (43), and a second chamber (13, 41) is constituted by the part of the enclosure which is situated in contact with the natural leakage (6) from the non- sealed, confined environment (1) and cooperates with second means for pumping (42) and second means for introducing gas (43). The first and second means for pumping gas (32) and (42) have a pumping capacity which can vary independently, and the first and second means for introducing gas (33) and (43) having a gas injection flow rate which can vary independently. The device for depolluting also has means to control the difference in pressure between the interior space (9) and the first chamber (12, 31).
摘要翻译：本发明的目的是一种用于对具有自然泄漏（6）并包括由壁（7）限定的内部空间（9））的非密封的密封环境（1）进行污染的装置，包括一个去污的外壳（11），30）用于泵送气体的装置（32,42）和用于引入气体的装置（33,43）。污染污物外壳（11,30）具有由密封壁（14,49）分开的至少两个腔室（12,13; 31,41）。第一室（12,31）由外壳的与非密封的有限环境（1）的壁（7）接触的部分构成，并与第一装置（42）和第一室用于引入气体（43）的装置，并且第二室（13,41）由与非密封的有限环境（1）中的与自然泄漏（6）接触的外壳的一部分构成，具有用于泵送的第二装置（42）和用于引入气体（43）的第二装置。用于泵送气体（32）和（42）的第一和第二装置具有可以独立变化的泵送能力，并且用于引入气体（33）和（43）的第一和第二装置具有可独立变化的气体注入流量。用于去污化的装置还具有控制内部空间（9）和第一室（12,31）之间的压力差的装置。

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