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    • 5. 发明申请
    • ポジ型感放射線性組成物、硬化膜及びその形成方法
    • 正性辐射敏感性组合物,固化膜及其形成方法
    • WO2011065215A1
    • 2011-06-03
    • PCT/JP2010/069856
    • 2010-11-08
    • JSR株式会社花村 政暁一戸 大吾
    • 花村 政暁一戸 大吾
    • G03F7/023G03F7/004G03F7/075
    • G03F7/0757G03F7/0045G03F7/0233
    •  本発明の目的は、耐熱性、透明性、耐溶媒性及び低誘電性に優れた硬化膜、並びに電圧保持率が高い液晶セルを形成するために好適に用いられ、かつ十分な放射線感度、及び現像後の加熱工程における耐メルトフロー性に優れたポリシロキサン系ポジ型感放射線性組成物、その組成物から形成される硬化膜、並びにその硬化膜の形成方法を提供することである。本発明は、[A]シロキサンポリマー、[B]キノンジアジド化合物、及び[C][B]キノンジアジド化合物の極大吸収波長より短い極大吸収波長を有する感放射線性酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物である。
    • 公开了一种聚硅氧烷正性辐射敏感性组合物,其在显影后的加热步骤中具有足够的辐射灵敏度和优异的熔体流动阻力,并且有利地用于形成:具有优异的耐热性,透明性,耐溶剂性和低 介电性能; 以及具有高电压保持率的液晶单元。 进一步公开了由该组合物形成的固化膜,以及形成固化膜的方法。 正性辐射敏感性组合物含有[A]硅氧烷聚合物[B]醌二叠氮化合物和[C]具有最大吸收波长的辐射敏感性酸发生剂,其比[B ]醌二叠氮化合物。