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    • 2. 发明申请
    • 感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法
    • 辐射敏感性树脂组合物,间隔物及其形成方法
    • WO2005109100A1
    • 2005-11-17
    • PCT/JP2005/003090
    • 2005-02-18
    • JSR株式会社梶田 徹一戸 大吾志保 浩司
    • 梶田 徹一戸 大吾志保 浩司
    • G03F7/032
    • G03F7/038G02F1/1339
    • 高感度、高解像度であり、かつパターン形状、圧縮強度、ラビング耐性、透明基板との密着性等の諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、焼成時の昇華物の発生が抑制された感放射線性樹脂組成物、それから形成されたスペーサー、およびその形成方法を提供すること。(A)カルボキシル基およびエポキシ基を有し且つゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)とポリスチレン換算数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.7以下である重合体、(B)重合性不飽和化合物および(C)感放射線性重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
    • 具有高灵敏度和高分辨率的辐射敏感性树脂组合物可以容易地形成包括图案形状,压缩强度,耐摩擦性和对透明基底的粘附性的各种性能优异的图案化薄膜,并且在燃烧时不会发出升华; 由该组合物形成的间隔物; 以及形成间隔物的方法。 辐射敏感性树脂组合物的特征在于:(A)具有羧基和环氧基的聚合物,其中以聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比率 通过凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯(Mw / Mn)为1.7以下,(B)聚合性不饱和化合物,(C)辐射敏感性聚合引发剂。