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1. 发明申请

WO2012029846A1 画像形成装置、及びコンピュータプログラム审中-公开
标题翻译：图像形成设备和计算机程序
公开(公告)号：WO2012029846A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/JP2011/069760
申请日：2011-08-31
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 瀬戸口勝美 , 小室修
发明人：瀬戸口　勝美 , 小室　修
IPC分类号： H01J37/22
CPC分类号： H04N7/18 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24578 , H01J2237/2826
摘要：　本発明は、荷電粒子ビームの走査領域内の歪みに関する情報の抽出を実現する画像形成装置、及びコンピュータプログラムの提供を目的とする。　上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線装置によって得られた画像データを積算する画像形成装置であって、荷電粒子線装置の走査方向が異なる複数の画像から、荷電粒子線のビーム照射時間に応じて変化する特徴量の変化量に関する第１の情報と、ビームの走査方向の変化前と変化後の特徴量の変化量に関する第２の情報、及び／又はビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上のパターンの位置ずれに関する第３の情報を算出する画像形成装置、及び上記処理を演算装置に実行させるコンピュータプログラムを提案する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够提取与带电粒子束的扫描区域内的变形有关的数据的图像形成装置; 和计算机程序。为了实现上述目的，提供了：一种图像形成装置，其对由带电粒子束装置获得的图像数据进行积分，并且从具有不同扫描方向的多个图像计算带电粒子束装置的第一数据，根据带电粒子束的束照射时间而变化的特征量的变化量，与光束扫描方向变化前后特征量的变化量有关的第二数据，和/或与位置光束扫描方向前后的图像上的图案位移变化; 以及使计算装置执行上述处理的计算机程序（参见图3）。

2. 发明申请

WO2012099190A1 荷電粒子線装置、及び画像解析装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置和图像分析装置
公开(公告)号：WO2012099190A1
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：PCT/JP2012/051044
申请日：2012-01-19
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 白井真純 , 小室修
发明人：白井　真純 , 小室　修
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： G06T7/0004 , H01J37/28 , H01J2237/0216 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578 , H01J2237/2803 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826
摘要：　走査電子顕微鏡において、装置内及び装置外からの磁場や振動などの影響により、ＳＥＭ画像に障害が発生した場合、そのＳＥＭ画像を用いて簡単に精度よく原因を特定することを目的とする。また、ＳＥＭ画像のパターンのラフネスに計測精度が影響されない測定手法を目的とする。ＳＥＭ画像取得時にＹ方向の走査ゲインをゼロにすることで、走査線方向（Ｘ方向）に一次元走査を行うと共に、当該走査によって得られる画像情報を、Ｙ方向に時系列的に配列することで、二次元画像を作成する。相関関数により、当該二次元画像のずれ量データを取得し、当該データを周波数解析することで画像中に含まれる磁場や振動などを測定する。
摘要翻译：为了使扫描电子显微镜图像能够容易且准确地识别由于扫描型电子显微镜的内部或外部的振动，磁场等的影响而在SEM图像中产生故障的原因，并且为了提供测量精度不受SEM图像的图案粗糙度的影响的测量方法：当获取SEM图像时，通过使Y方向上的扫描增益为零，进行一维扫描扫描线方向（X方向），并且通过在Y方向上按时间顺序排列通过扫描获取的图像信息，形成二维图像。通过相关函数获取二维图像的位移数据，并且可以通过对数据进行频率分析来测量包括在图像中的磁场或振动等。

3. 发明申请

WO2012101704A1 荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：WO2012101704A1
公开(公告)日：2012-08-02
申请号：PCT/JP2011/006672
申请日：2011-11-30
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 松井啓之 , 小室修 , 西原誠 , 程朝輝
发明人：松井　啓之 , 小室　修 , 西原　誠 , 程　朝輝
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , H01J2237/047
摘要：　荷電粒子線装置に新たに別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を高速に除電する方法を提供する。　試料の測定のために荷電粒子線を照射したのち、次の測定を行う前の段階において、リターディング電圧または／及び加速電圧を調整し、リターディング電圧の値と加速電圧の値の差が、測定時よりも小さくすることで除電を行うよう制御する。　荷電粒子線装置に別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を除電できるため、スループットを低下させることなく除電が可能となる。
摘要翻译：提供了一种用于高速中和由带电粒子束照射的样品的区域中产生的电荷的方法，而不在带电粒子束装置中提供新的分离装置。在用于测量样品的带电粒子束照射之后并且在进行下一次测量之前的阶段，调节和控制延迟电压和/或加速电压，使得通过延迟电压的值和延迟电压的值之间的差来实现中和加速电压的值小于测量时的值。可以在带电粒子束装置中不设置单独的装置的情况下中和由带电粒子束照射的样品的区域产生的电荷; 因此，中和是可能的，而不降低生产量。

4. 发明申请

WO2012042738A1 走査電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜
公开(公告)号：WO2012042738A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/JP2011/004749
申请日：2011-08-26
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 早田康成 , 山梨弘将 , 福田宗行 , 大橋健良 , 小室修
发明人：早田　康成 , 山梨　弘将 , 福田　宗行 , 大橋　健良 , 小室　修
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/153 , H01J2237/1506 , H01J2237/1532 , H01J2237/2826
摘要：　電子ビーム鏡体から発生する非点収差と測定試料周辺から発生する非点収差の双方が存在する場合の高速かつ高精度な非点収差の測定手段を備えた走査電子顕微鏡において、非点収差補正器２０１の強度を変化させながら得られる２次元画像の質から求める方法と、チルト偏向器２０２により電子ビームをチルトさせたときに生じる電子ビームの位置ずれの変化から非点収差を計測する方法とを併用することで高速かつ高精度に非点収差補正器２０１を制御し、非点収差を補正することを特徴とする。
摘要翻译：本发明提供一种扫描电子显微镜，其具有当由电子束镜体产生的散光和从测量样品的周围产生的散光存在时使用的高速和高精度散光测量装置。该扫描电子显微镜的特征在于以高速和高精度控制像散校正器（201），以通过使用从改变后获得的二维图像的质量获得散光的方法来校正像散散光校正器（201）的强度，以及根据使用倾斜偏转器（202）使电子束倾斜时发生的电子束的位置偏差的变化来测量像散的方法。

5. 发明申请

WO2011016208A1 走査型電子顕微鏡及び試料観察方法审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜和样品观察方法
公开(公告)号：WO2011016208A1
公开(公告)日：2011-02-10
申请号：PCT/JP2010/004843
申请日：2010-07-30
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 程朝輝 , 小山光 , 木村嘉伸 , 品田博之 , 小室修
发明人：程　朝輝 , 小山　光 , 木村　嘉伸 , 品田　博之 , 小室　修
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/28 , H01J2237/2803
摘要：　本発明の走査型電子顕微鏡は、試料（８）上の二次元領域に対し電子線（４）を走査して走査領域の画像を形成する際に、試料に応じて走査線密度を変化させて走査すること、又は、試料（８）に関する情報を入力する試料情報入力手段と、前記入力に応じた推奨走査条件を表示する表示手段（４０５）とを有するＧＵＩ（４０１）を備え、該推奨走査条件を選択することによって前記試料に応じた走査線密度で走査すること、を特徴とする。これにより、走査型電子顕微鏡を用いた観察の際に、一次荷電粒子線照射起因帯電の影響を抑制し、二次電子の検出率を向上させることで二次元パターンの輪郭のコントラストを向上させると共にシェーディングを抑制できる好適な走査装置及び走査方法を提供することが可能になった。
摘要翻译：扫描电子显微镜通过用电子束（4）扫描样品（8）的二维区域来形成要扫描的区域的图像时，根据样品改变扫描线密度以扫描该区域，包括GUI（401），其包括用于输入关于样本（8）的信息的样本信息输入装置和用于基于输入显示推荐扫描条件的显示装置（405），并且基于扫描线密度扫描该区域样品通过选择推荐的扫描条件。因此，可以提供通过使用扫描电子显微镜适合于观察的扫描装置和扫描方法，其可以通过减少由一次带电粒子引起的充电的影响来改善二维图案的轮廓对比度并抑制阴影光束照射以增加二次电子检测率。

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