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1. 发明申请

WO2011016146A1 干渉顕微鏡及び測定装置审中-公开
标题翻译：干涉显微镜和测量装置
公开(公告)号：WO2011016146A1
公开(公告)日：2011-02-10
申请号：PCT/JP2009/066318
申请日：2009-09-11
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 布川和夫 , 籾内正幸 , 磯崎久 , 宮川一宏
发明人：大友文夫 , 布川和夫 , 籾内正幸 , 磯崎久 , 宮川一宏
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01N21/956
CPC分类号： G01B9/02032 , G01B9/02007 , G01B9/0209 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01N21/9501 , G02B21/0016
摘要：ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定することができる。
摘要翻译：提供了一种干涉显微镜，其中用激光束照射诸如晶片的样品，并且通过使用干涉仪和测量装置观察和检查样品表面的内部。布置用于将光引导到分束器和参考反射镜之间的参考光路，并且还布置用于将光引导到分束器和样本之间的测量光路，因此，在光束分离器和样品之间提供光学光路差异参考光路和测量光路。此外，通过稍微倾斜参考反射镜，在检测装置中形成干涉条纹。通过这样简单的结构，仅通过稍微倾斜参考反射镜来测量诸如晶片的样品（待测对象）的表面形状，并且可以规定灰尘，极片等的精确坐标位置。

2. 发明申请

WO2004085962A1 レーザー用ターゲット装置审中-公开
标题翻译：用于激光束的目标装置
公开(公告)号：WO2004085962A1
公开(公告)日：2004-10-07
申请号：PCT/JP1994/002272
申请日：1994-12-27
申请人：大友文夫 , 林邦広
发明人：大友文夫 , 林邦広
IPC分类号： G01C15/06
CPC分类号： G02B5/0236 , G01C15/02 , G02B5/0257 , G02B5/0278 , G02B6/3628 , Y10S385/901
摘要： A target device for a laser beam, which has a plurality of fiber members, and which is improved in visibility even in a bright ambience because at least one side of the device is a diffusing surface. According to the present invention, a diffusing member transmits visible light and diffuses the same, and the transmitting plate transmits the visible light. An optical member is provided on at least one side of the transmitting plate. The optical member comprises a plurality of fibers arranged in parallel with one another. Therefore, the area where the light passes can be recognized on the diffusing plate, and the light having passed through the device is diffused and does not glare.
摘要翻译：一种用于激光束的目标装置，其具有多个光纤部件，并且即使在明亮的氛围下也能够提高可见度，因为该装置的至少一侧是漫射面。根据本发明，扩散构件透射可见光并使其漫射，并且透射板透射可见光。光学构件设置在透光板的至少一侧上。光学构件包括彼此平行布置的多个光纤。因此，可以在扩散板上识别光通过的区域，并且通过该装置的光被扩散并且不会眩光。

3. 发明申请

WO2004003474A1 位置検出装置审中-公开
标题翻译：位置检测器
公开(公告)号：WO2004003474A1
公开(公告)日：2004-01-08
申请号：PCT/JP2003/008177
申请日：2003-06-27
申请人：株式会社トプコン , 熊谷薫 , 大友文夫
发明人：熊谷薫 , 大友文夫
IPC分类号： G01C15/00
CPC分类号： G01C15/002
摘要：本発明は位置検出装置に係わり、特に、測距光、測定光を照射してターゲット位置の3次元計測を行い、更にその照射方向又はそれ以外の方向の画像データを記録する位置検出装置を提供することを目的とし、光源部が測定光を発し、画像センサが反射光を受光し、射出手段が、測定光を射出すると共に反射光を画像センサに導き、回動機構が、射出手段を回動させ、角度検出器が、射出手段の射出方向を検出し、光源部と画像センサとを固定的に設け、演算処理部が、画像センサの出力及び受光時点の角度検出器の出力に基づき、中心軸に対する反射体の偏差の座標を変換することができる。
摘要翻译：位置检测器，特别是用于通过照射测距光或测量光进行目标位置的三维测量并且沿照射方向或其他方向记录图像数据的位置检测器。特别地，一种位置检测器，包括能够发射测量光的光源部分; 能够接收反射光的图像传感器; 用于发射测量光并进一步将反射光引导到图像传感器的发射装置; 旋转装置，用于旋转发射装置; 以及角度检测器，其能够检测来自发射装置的发射方向，其中光源部分和图像传感器被固定地布置，并且哪个位置检测器还包括能够将反射器偏离的坐标从中心转换的计算部分基于图像传感器输出和光接收时的角度检测器输出。

4. 发明申请

WO2008133315A1 多点測定方法及び測量装置审中-公开
标题翻译：多点测量方法和调查仪器
公开(公告)号：WO2008133315A1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/JP2008/057994
申请日：2008-04-18
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 大谷仁志 , 金子順紀 , 穴井哲治 , 永嶋輝一
发明人：大友文夫 , 大谷仁志 , 金子順紀 , 穴井哲治 , 永嶋輝一
IPC分类号： G01C15/00 , G01C7/00
CPC分类号： G01C15/002
摘要：広角画像を取得する第1撮像部と前記広角画像より高倍率の望遠画像を取得する第2撮像部とを有する望遠鏡部(5)と、測距光を射出し、測定対象物からの反射光を受光して測距を行う測距部と、前記望遠鏡部の水平角、鉛直角を検出する測角部と、前記望遠鏡部を水平方向、鉛直方向に回転駆動する駆動部と、前記第1撮像部、前記第2撮像部の撮像を制御し、前記測角部からの検出結果に基づき前記駆動部を制御する制御装置とを具備し、該制御装置は前記第1撮像部で得られる前記広角画像を接続してパノラマ画像を合成し、前記広角画像をエッジ処理して測定予定点を設定し、該測定予定点をスキャンして各測定予定点について前記第2撮像部により前記望遠画像を取得して望遠画像中から前記測定予定点に対応する測定点を抽出し、該測定点について測距を行う様構成した。
摘要翻译：多点测量方法设置有具有用于获取广角图像的第一图像拾取单元和第二图像拾取单元的望远镜单元（5），该第二图像拾取单元用于获取具有比第一个图像拾取单元; 测量光的距离测量单元，从测量对象接收反射光，并测量距离; 用于检测望远镜单元的方位角和仰角的测量角单元; 用于驱动望远镜单元在方位角和仰角方向旋转的驱动单元; 以及控制装置，用于基于来自角度测量单元的检测结果来控制第一和第二图像拾取单元和驱动单元，其中控制装置连接由第一拾取单元获取的广角图像，以合成全景图像，进行广角图像的边缘处理，建立测量平面点，扫描测量点，使望远镜单元获取关于每个测量点的望远镜图像，从中提取与测量计划点对应的测量点伸缩图像，并测量与测量点的距离。

5. 发明申请

WO2004044528A1 測量装置と電子的記憶媒体审中-公开
标题翻译：调查仪器和电子储存媒体
公开(公告)号：WO2004044528A1
公开(公告)日：2004-05-27
申请号：PCT/JP2003/014353
申请日：2003-11-12
申请人：株式会社トプコン , 村井俊治 , 大友文夫 , 大谷仁志
发明人：村井俊治 , 大友文夫 , 大谷仁志
IPC分类号： G01C15/00
CPC分类号： G01C15/002
摘要：本発明は、反射光を利用し、測定目標までの距離と水平角及び高度角を測定するための測量装置等であり、測量装置には撮像装置が接続可能となっており、演算処理手段が、少なくとも3点の測定から、測量目標の平面部分が含まれる式を決定すると共に、その平面部分の属するデジタル画像データを関連付けることで、その平面部分を特定し、3次元位置を決定することができる。
摘要翻译：用于通过使用反射光确定与被摄物体的距离，水平角度和仰角的测量仪器。成像装置可以连接到测量仪器。计算装置根据至少三个点的测量来确定测量对象的平面部分的公式，通过在包括平面部分的数字图像上关联数据来确定平面部分，并确定三维位置。

6. 发明申请

WO2004023073A1 測量装置审中-公开
标题翻译：测量装置
公开(公告)号：WO2004023073A1
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：PCT/JP2003/011193
申请日：2003-09-02
申请人：株式会社トプコン , 熊谷薫 , 大友文夫
发明人：熊谷薫 , 大友文夫
IPC分类号： G01C15/00
CPC分类号： G01C15/002
摘要：装置本体(21)と該装置本体に着脱可能な操作装置(67)とを有し、前記装置本体は測定対象物に向けて測定光を照射し、前記測定対象物からの反射光に基づいて位置を測定する測量装置(20)であり、前記測定光を発し距離を測定する測距部(54),(55)と、画像を取得する為の撮像部(51),(53)と、前記測定対象物に測定光を向け、前記測定対象物からの反射光を受光部に向けると共に照射方向の画像を前記撮像部に向ける回動自在の反射ミラー(45)と、該反射ミラーの回動位置を検知する検知手段(31)と、少なくとも前記測距部、撮像部及び反射ミラーの回動位置を制御する制御部(74)とを具備し、前記操作装置は前記撮像部の取得した画像を表示する表示部を備えている。
摘要翻译：测量装置（20）具有装置主体（21）和可拆卸地安装在装置主体上的操作装置（67）。设备主体将测量光施加到待测对象，并根据从被测量对象反射的光来测量位置。装置主体包括：用于施加上述测量光以测量距离的距离测量部分（54,55）; 用于获取图像的成像部分（51,53）; 用于将测量光引导到被测量物体的旋转反射镜（45），将来自待测物体的反射光引导到光接收部分，并将辐射方向的图像引导到成像部分; 用于检测反射镜的旋转位置的检测装置（31）以及用于至少控制距离测量部分，成像部分和反射镜的旋转位置的控制部分（74）。操作装置包括用于显示由成像部分获取的图像的显示部分。

7. 发明申请

WO2011043275A1 ３次元データ作成方法及び３次元データ作成装置审中-公开
标题翻译：三维数据创建方法和三维数据创建设备
公开(公告)号：WO2011043275A1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：PCT/JP2010/067301
申请日：2010-09-27
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 熊谷薫 , 大谷仁志
发明人：大友　文夫 , 熊谷　薫 , 大谷　仁志
IPC分类号： G01C15/00 , G01C11/06 , G01C21/00 , G06T1/00
CPC分类号： G01C15/00 , G01C11/02 , G01C21/00 , G06T7/593 , G06T7/74 , G06T2207/10012 , G06T2207/30252
摘要：周囲の景色を撮像し、デジタル画像データを取得する撮像装置（８ａ，８ｂ）を用いた３次元データ作成方法であって、移動しつつ前記撮像装置により周囲の景色についての画像を連続的に撮像する工程と、所定の時間間隔毎に撮像した画像を測定用画像として取得する工程と、ランドマークをテンプレートとしてパターン認識により該測定用画像中からランドマークを抽出する工程と、時間的に隣接する２つの測定用画像の対応付けを行う工程と、少なくとも最初の１つの測定用画像に含まれるランドマークの３次元座標が既知であり、該測定用画像のランドマークの３次元座標に基づき測定用画像撮像地点の３次元座標を求める工程とを具備する。
摘要翻译：公开了一种使用拍摄周边视图的图像并获取数字图像数据的图像拾取装置（8a，8b）的三维数据创建方法，其包括在图像拾取期间使用图像拾取装置连续捕获周围视图的图像的步骤设备正在移动; 获取以每个预定时间间隔捕获的图像作为测量图像的步骤; 通过使用地标作为模板执行模式识别来从用于测量的图像中检索地标的步骤; 将两个图像相关联地进行时间上相邻的步骤; 以及基于测量图像中的地标的三维坐标来确定捕获图像的位置处的三维坐标的步骤，至少包括在第一图像中的地标的三维坐标用于测量是已知的。

8. 发明申请

WO2011040239A1 広角撮像装置及び測定システム审中-公开
标题翻译：宽角度成像装置和测量系统
公开(公告)号：WO2011040239A1
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/JP2010/065890
申请日：2010-09-08
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 熊谷薫 , 大谷仁志
发明人：大友　文夫 , 熊谷　薫 , 大谷　仁志
IPC分类号： H04N5/225 , G01B11/00 , G01C11/06 , G01C15/00 , G03B15/00 , G03B19/07 , G03B37/00
CPC分类号： G01C11/06 , G03B15/00 , H04N13/239
摘要：　デジタル画像を撮像する少なくとも２つのカメラ（４ａ，４ｂ）を有し、該２つのカメラが同一平面内で前記２つのカメラの光軸（１１ａ，１１ｂ）が交差する様に配置され、交差点Ｏを中心とした広画角αの画像を取得できる様にすると共に前記２つのカメラの面角の一部が重なり、重なった２つの画像により、オーバラップ部分が形成され、オーバラップ部分の２つの画像に基づきステレオ測定が可能である広角撮像装置を提供する。
摘要翻译：公开了一种具有至少两个照相机（4a，4b）的广角成像装置，用于获取数字图像，所述数字图像被布置为使得所述照相机的光轴（11a，11b）在同一平面内相交，使得可以从宽视场角（a）以光轴的交点（O）为中心，并且基于重叠部分中的两个图像进行立体测量，该重叠部分由来自摄像机的两个重叠图像形成，其中，两个相机的视场角度重叠。

9. 发明申请

WO2006132420A1 時間差測定装置および距離測定装置並びに距離測定方法审中-公开
标题翻译：时差测量装置，距离测量装置和距离测量方法
公开(公告)号：WO2006132420A1
公开(公告)日：2006-12-14
申请号：PCT/JP2006/311767
申请日：2006-06-12
申请人：株式会社トプコン , 大石政裕 , 徳田義克 , 大友文夫
发明人：大石政裕 , 徳田義克 , 大友文夫
IPC分类号： G01S17/10 , G01C3/06 , G04F10/06
CPC分类号： G01S17/10 , G01S7/4865 , G01S7/487 , G04F10/06
摘要：時間差測定装置において、所定の時間差を以て生じる２つのパルス信号の当該時間差の測定に際し、この時間差測定に用いられる２つの基準信号間に差異が生じても、測定結果に誤差が生じるのを防止する。スタート信号Ｍ１とストップ信号Ｍ２との間の時間差を測定する時間差測定装置であって、π／２の位相差を有する２つの基準信号Ｓ１，Ｓ２を基準信号発生部４１により発生させ、振幅検出部４２が、スタート信号Ｍ１およびストップ信号Ｍ２の各発生タイミングにおける両基準信号Ｓ１，Ｓ２の対応振幅値Ａ11，Ａ12およびＡ21，Ａ22を検出し、位相差検出部４３が、各振幅の組（Ａ11，Ａ12）および（Ａ21，Ａ22）に基づいて、基準信号Ｓにおける位相θを算出するに際し、補正部４６が、基準信号Ｓ１，Ｓ２の誤差を補正する補正用データを用いて、算出される位相を補正する。
摘要翻译：在时差测量装置中，即使在用于测量在给定时间差之间发生的两个脉冲信号之间的时间差的两个参考信号之间出现差异，也可以防止在测量结果中发生任何误差。在用于测量起始信号（M1）和停止信号（M2）之间的时间差的时差测量装置中，参考信号产生部分（41）产生两个相位差为p / s的参考信号（S1，S2） 2之间。幅度检测部分（42）检测对应于开始信号（M1）和停止信号（M2）发生的定时的两个参考信号（S1，S2）的振幅值（A11，A12; A21，A22）。当相位差检测部（43）基于振幅组（A11，A12; A21，A22）的参考信号（S），校正部分（46）通过使用校正数据来校正所计算的相位，校正数据用于校正参考信号（S1， S2）。

10. 发明申请

WO2006132060A1 距離測定装置审中-公开
标题翻译：距离测量装置
公开(公告)号：WO2006132060A1
公开(公告)日：2006-12-14
申请号：PCT/JP2006/309772
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 神酒直人
发明人：大友文夫 , 神酒直人
IPC分类号： G01S7/497 , G01S17/36 , G01C3/06
CPC分类号： G01S7/497 , G01C3/08 , G01C15/002 , G01S17/36 , G01S17/42
摘要：測距光(22)を測定対象物に照射する投光部と、照射される測距光に対して横断する様に相対移動可能に設けられ既知の位置にある基準反射部(55)と、前記測定対象物からの反射光を反射測距光(22')とし、前記基準反射部からの反射光を内部参照光(22'')として受光する受光部(7)と、前記反射測距光に関する受光信号と前記内部参照光に関する受光信号を基に測定対象物迄の距離を演算する制御演算部(15)とを具備した。
摘要翻译：一种距离测量装置，包括用于用距离测量光（22）照射测量对象的光投射单元，设置在已知位置处的参考反射单元（55），以便能够相对于照射距离测量光，用于接收来自作为反射距离测量光（22'）的测量对象的反射光和来自基准反射单元的反射光作为内部参考光（22“）的光接收单元（7），以及控制计算单元（15），用于基于与上述反射距离测量光有关的接收信号和与上述内部参考光相关的接收信号计算到测量对象的距离。

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