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1. 发明申请

WO2011016146A1 干渉顕微鏡及び測定装置审中-公开
标题翻译：干涉显微镜和测量装置
公开(公告)号：WO2011016146A1
公开(公告)日：2011-02-10
申请号：PCT/JP2009/066318
申请日：2009-09-11
申请人：株式会社トプコン , 大友文夫 , 布川和夫 , 籾内正幸 , 磯崎久 , 宮川一宏
发明人：大友文夫 , 布川和夫 , 籾内正幸 , 磯崎久 , 宮川一宏
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01N21/956
CPC分类号： G01B9/02032 , G01B9/02007 , G01B9/0209 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01N21/9501 , G02B21/0016
摘要：ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定することができる。
摘要翻译：提供了一种干涉显微镜，其中用激光束照射诸如晶片的样品，并且通过使用干涉仪和测量装置观察和检查样品表面的内部。布置用于将光引导到分束器和参考反射镜之间的参考光路，并且还布置用于将光引导到分束器和样本之间的测量光路，因此，在光束分离器和样品之间提供光学光路差异参考光路和测量光路。此外，通过稍微倾斜参考反射镜，在检测装置中形成干涉条纹。通过这样简单的结构，仅通过稍微倾斜参考反射镜来测量诸如晶片的样品（待测对象）的表面形状，并且可以规定灰尘，极片等的精确坐标位置。

2. 发明申请

WO2003069590A1 空中可視像形成装置审中-公开
标题翻译： AERIAL可见图像形成装置
公开(公告)号：WO2003069590A1
公开(公告)日：2003-08-21
申请号：PCT/JP2003/001375
申请日：2003-02-10
申请人：株式会社バートン , 籾内正幸 , 木村秀尉
发明人：籾内正幸 , 木村秀尉
IPC分类号： G09F19/18
CPC分类号： G09F19/18 , G02B27/2292 , G03B21/00
摘要： A visible image forming device for forming a two- or three-dimensional image in the air though the path of the scanned laser beam cannot be viewed by the viewers. The visible image forming device is characterized by comprising a laser light source for emitting a laser beam in an invisible range, scanning means for scanning a laser beam two- or three-dimensionally, a focusing optical system for focusing the laser beam on a place in the air where an image is to be formed so as to cause the gas to do plasma emission, and control means for controlling the oscillation timing of the laser light source and the timing of the scanning by the scanning means so as to form a visible image by use of the after image of the emission caused in time series at the place where the image is formed.
摘要翻译：用于通过扫描的激光束的路径在空气中形成二维或三维图像的可见图像形成装置不能被观看者观看。可视图像形成装置的特征在于包括用于发射不可见范围内的激光束的激光源，用于二维或三维扫描激光束的扫描装置，用于将激光束聚焦在一个位置上的位置的聚焦光学系统要形成图像以使气体进行等离子体发射的空气，以及用于控制激光源的振荡定时和扫描装置的扫描定时的控制装置，以便形成可见光图像通过使用在形成图像的地方以时间序列引起的发射的后续图像。

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