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热词
    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HANDHABUNG EINES ZERSÄGTEN WAFERBLOCKS
    • 方法和设备用于处理啥样威化饼块
    • WO2010057671A2
    • 2010-05-27
    • PCT/EP2009/008344
    • 2009-11-24
    • GEBR. SCHMID GMBH & CO.HUBER, Reinhard
    • HUBER, Reinhard
    • H01L21/00H01L21/677
    • H01L21/67706B28D5/0082H01L21/67718
    • Bei einem Verfahren zur Handhabung eines in einzelne Wafer zersägten Waferblocks, der noch von der Trägereinrichtung gehalten wird, werden von beiden Seiten werden an den zersägten Waferblock in horizontaler Position Bürsten mit Borsten als Andrückmittel heran bewegt, die seitlich an die Seitenkanten der Wafer heran und in Zwischenräume zwischen die Wafer reichen um diese auf Abstand zu halten. Die Bürsten verlaufen längs des zersägten Waferblocks und sind entlang dieser Längserstreckung bewegbar. Der zersägte Waferblock wird mit gleichzeitig angedrückten Bürsten aus der horizontalen Position in eine vertikale Position gebracht. Dann werden die Bürsten von oben nach unten entlang des zersägten Waferblocks weg bewegt und ziehen dabei ihre Borsten aus den Zwischenräumen zwischen den einzelnen Wafern heraus zum Absenken der einzelnen Wafer direkt aufeinander ohne Zwischenraum zu einem Waferstapel.
    • 在用于处理锯成这仍然是由载体装置保持单独的晶片的晶片块的方法,将是从刷子的两侧与所述刷毛被移动作为加压装置,以在水平位置与锯晶片块连接,所述侧向接近在晶片和侧缘 丰富的,让他们在海湾晶圆之间的空间。 电刷沿着锯晶片块延伸且可沿所述纵向延伸。 锯开晶片块与从水平位置向垂直位置的按压电刷同时带来的。 然后,将电刷同时从空隙拉动其刷毛之间的各个晶片进行直接降低各个晶片彼此无间隙地成晶片堆叠沿锯晶片块移动从上到下程。
    • 5. 发明申请
    • EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON SILIZIUM-WAFERN ODER FLACHEN GEGENSTÄNDEN
    • DEVICE AND METHOD FOR硅晶片或平面物体的处理
    • WO2009129989A1
    • 2009-10-29
    • PCT/EP2009/002881
    • 2009-04-21
    • GEBR. SCHMID GMBH & CO.LAMPPRECHT, Jörg
    • LAMPPRECHT, Jörg
    • H01L21/677
    • H01L21/67086H01L21/67706H01L31/18
    • Eine Behandlungseinrichtung für eine Textur-Ätzung von Silizium-Wafern weist eine Durchlaufbahn durch eine Behandlungskammer mit einer Ätzlösung auf sowie Transportmittel für den Transport der Substrate. Dabei weisen die Transportmittel untere Transportwalzen entlang der Durchlaufbahn auf, auf denen die Silizium-Wafer mit ihrer Unterseite aufliegen. Die Transportmittel weisen auch obere Transportrollen über den unteren Transportwalzen auf zur Anlage auf der Oberseite der Substrate, wobei die oberen Transportrollen einzelne, voneinander getrennte Einzel-Rollen nebeneinander auf einer oberen Transportwelle und mit sehr geringem Abstand zueinander aufweisen. Eine Lagerung der Einzel-Rollen an der oberen Transportwelle weist ein radiales Spiel auf für eine Bewegbarkeit der Einzel-Rolle in radialer Richtung gegenüber der Transportwelle, also eine Anpassung an unterschiedlich dicke Substrate. Es sind Antriebsmittel für jede Einzel-Rolle vorgesehen.
    • 对于硅晶片的纹理蚀刻的处理装置具有通过与蚀刻液的处理室以及传输装置,用于在基板的输送的连续路径。 传输具有沿其上躺有其下侧的硅晶片轧制线下输送辊。 输送装置包括上输送辊和超过上在基片上,其中所述上输送辊对的上部进给轴单独的,分离各个轧辊并排的上表面上的植物中的下输送辊,并与彼此非常小的距离。 在上输送轴的各个辊子的存储有相对于传送轴的径向方向上的单辊的移动性的径向间隙,因此一种适应基板的不同的厚度。 有驱动装置,用于提供每个单独的辊。
    • 8. 发明申请
    • ELEKTRISCHE SCHALTUNGSANORDNUNG
    • 电路
    • WO2002061933A1
    • 2002-08-08
    • PCT/EP2002/000876
    • 2002-01-29
    • E.G.O. CONTROL SYSTEMS GMBH & CO. KGBAYER, EwaldBECK, Walter
    • BAYER, EwaldBECK, Walter
    • H02M3/335
    • H02M3/33507H02H7/1227H02M3/33523
    • Durch die Erfindung kann beispielhaft eine Schaltungsanordnung (11) geschaffen werden, die folgende Merkmale aufweist:Ein Schaltnetzteil mit einem Übertrager (12), ein Gleichrichterteil mit anliegender Eingangswechselspannung, ein Schaltregel-IC (13), einen ersten Regelkreis (15) mit einem ersten Optokoppler (OK1), wobei der erste Regelkreis mit dem Schaltregel-IC (13) verbunden ist und mittels einer Zener-Diode (ZD1) eine bestimmte Arbeitsspannung einstellt, eine Überwachungsschaltung (17) mit einem zweiten Optokoppler (OK2) und einer Einrichtung (R2, ZD2) zur Detektierung eines Spannungsgrenzwertes aufweist. Die Überwachungsschaltung ist parallel zu dem ersten Regelkreis geschaltet und davon getrennt angesteuert; außerdem ist sie an das Schaltregel-IC (13) angeschlossen und bei einem von dem ersten Regelkreis durch einen Fehlerfall erzeugten Überschreiten der Arbeitsspannung über einen bestimmten Spannungsgrenzwert schaltet die Überwachungsschaltung den ersten Regelkreis über einen Anschluss (BP) am Schaltregel-IC ab. Als Vorteil ergibt sich hier vor allem, dass durch den fehlerhaften ersten Regelkreis keine Beschädigung von Bauteilen mehr durch Überspannung erfolgen kann.
    • 本发明可以通过一个电路装置(11)来例示提供了具有以下特征:一个变压器(12),与所述的输入交流电压的整流器部分,一个开关调节器IC(13),一个第一控制电路(15)的开关电源,其具有第一 光耦合器(OK1),其中所述第一控制电路到开关调节器IC(13)由一个齐纳二极管(ZD1)连接设置的预定操作电压,具有第二光耦合器(OK2)监控电路(17),以及装置(R2 ,ZD2),用于检测一个电压极限值。 所述监控电路连接在与所述第一控制电路并联以及它们的单独控制; 它也被连接到开关调节器IC(13),并在由第一控制电路所产生的信号因故障超过了给定阈值电压的电压,监控电路通过从所述开关调节器IC上的端子(BP)切换所述第一控制电路。 作为优点,上面有所有可以通过浪涌来实现由所述故障第一环路到部件无损坏更多。
    • 9. 发明申请
    • ELEKTRISCHE SCHALTUNGSANORDNUNG
    • 电路
    • WO2002061915A1
    • 2002-08-08
    • PCT/EP2002/000875
    • 2002-01-29
    • E.G.O. CONTROL SYSTEMS GMBH & CO. KGBAYER, Ewald
    • BAYER, Ewald
    • H02J7/02
    • H02M3/33523
    • Durch die Erfindung kann beispielhaft eine Schaltungsanordnung (11) geschaffen werden, die folgende Merkmale aufweist: Ein Schaltnetzteil mit einem Übertrager (13), ein Gleichrichterteil mit anliegender Eingangswechselspannung, ein Schaltregel-IC (14), einen ersten Regelkreis (15) mit einem ersten Optokoppler (OK1), wobei der erste Regelkreis mit dem Schaltregel-IC (14) verbunden ist und mittels einer Zener-Diode (ZD1) eine bestimmte Arbeitsspannung einstellt, eine Überwachungsschaltung (12) mit einer Zener-Diode (ZD2) und einem Thyristor (T) zur Detektierung eines Spannungsgrenzwertes. Die Überwachungsschaltung ist parallel zu der Primärseite des Übertragers (13) geschaltet und wird von der Rückschlagspannung ausgelöst. Die Überwachungsschaltung ist auch an das Schaltregel-IC (14) angeschlossen und bei einem von dem ersten Regelkreis durch einen Fehlerfall erzeugten Überschreiten der Arbeitsspannung über einen bestimmten Spannungsgrenzwert schaltet die Überwachungsschaltung das Schaltregel-IC ab. Als Vorteil ergibt sich hier vor allem, dass durch den fehlerhaften ersten Regelkreis keine Beschädigung von Bauteilen mehr durch Überspannung erfolgen kann.
    • 本发明可以通过一个电路装置(11)来例示提供了具有以下特征:一个变压器(13),与所述的输入交流电压的整流器部分,一个开关调节器IC(14),一个第一控制电路(15)的开关电源,其具有第一 光耦合器(OK1),其中所述第一控制电路到开关调节器IC(14)由一个齐纳二极管(ZD1)连接设置的预定操作电压,监视电路(12)与齐纳二极管(ZD2)和晶闸管( T)用于检测电压限值。 监控电路并联连接到变压器(13)的初级侧,并通过反冲电压触发。 监控电路还连接到开关调节器IC(14),并在由第一控制电路所产生的信号因故障超过了给定阈值电压的电压,监控电路断开开关调节器IC。 作为优点,上面有所有可以通过浪涌来实现由所述故障第一环路到部件无损坏更多。