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81. 发明申请

WO2009000885A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN VERSCHIEDENARTIGER MATERIALIEN 审中-公开
标题翻译：装置和方法进行调查不同的材料如表面物性
公开(公告)号：WO2009000885A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/EP2008/058151
申请日：2008-06-26
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAU , RANGELOW, Ivo, W. , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard , GOTSZALK, Teodor , WOSZCZYNA, Miroslaw , MIELCZARSKI, Jerzy , SAROV, Yanko
发明人： RANGELOW, Ivo, W. , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard , GOTSZALK, Teodor , WOSZCZYNA, Miroslaw , MIELCZARSKI, Jerzy , SAROV, Yanko
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q10/045 , G01Q10/065 , G01Q60/26 , G01Q60/38 , G01Q70/06 , G01Q70/10 , G01Q70/12
摘要： Die vorliegenden Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Untersuchung von Oberflächeneigenschaften verschiedenartiger Materialien, mit denen es gelingt, die Raster-Kraft-Mikroskopie mit einem vereinfachten und schnellerem Shear-Force-Verfahren durchzuführen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist charakterisiert durch eine senkrechte Ausrichtung eines selbstaktuierten Cantileversmit seiner Messspitze zur Proben-Oberfläche. Vorzugsweise erfolgt eine galvanische Trennung eines piezoresisitiven Sensors und eines Bimorph-Aktuators. Die Messspitze ist insbesondere als Carbon-Nanotube ausgebildet. Mehrere Cantilever lassen sich als Cantilever-Array anordnen, welches durch eine kammartige Anordnung einzelner vorgebogener Cantilever charakterisiertist. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich durch ein schnelles Feed-Back-Signal aus, aufgrund der Regulierung des Abstandes zwischen der Messspitze und der zu untersuchenden Oberfläche mittels der Änderung eines den Aktuazor versirgenden Gleichstromsignals.
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于研究与它能够以简化的和更快的剪切力的方法进行原子力显微镜各种材料的表面特性的方法。本发明的装置的特征在于selbstaktuierten Cantileversmit其探针尖端与样品表面的垂直方向。优选进行一个压阻传感器和双压电晶片致动器的电流隔离。探针尖端被设计特别是作为碳纳米管。多个悬臂可被布置为一个悬臂阵列，其charakterisiertist个别预弯曲悬臂梁的梳状配置。本发明的方法的特征在于，快速反馈信号，由于测量尖端与表面之间的距离的调节由Aktuazor versirgenden DC信号的变化来进行检测。

82. 发明申请

WO2008145340A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG BIOLOGISCHER SYSTEME UND FESTKÖRPERSYSTEM 审中-公开
标题翻译：设备和方法研究生物系统和固态系统
公开(公告)号：WO2008145340A1
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：PCT/EP2008/004200
申请日：2008-05-27
申请人： NAMBITION GMBH , STRUCKMEIER, Jens
发明人： STRUCKMEIER, Jens
IPC分类号： G01N13/00
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q70/06
摘要： Vorrichtung zur Messung einer jeweiligen Auslenkung mehrerer regelmäßig angeordneter Messbalken (3) in einem Rastersondenmikroskop oder einem Rasterkraftmikroskop, umfassend: wenigstens eine Strahlenquelle (7), die eingerichtet ist wenigstens einen Messstrahl (5) zu erzeugen; eine Strahlenoptik, die eingerichtet ist den wenigstens einen Messstrahl (5) auf zumindest einen Teil der mehreren Messbalken (3) so zu richten, dass jeder Messbalken davon einen Messstrahl reflektiert; einen Detektor (10) mit mehreren Segmenten (12), der die von den Messbalken (3) reflektierten Messstrahlen (5) gleichzeitig detektiert, wobei jedes Segment des Detektors eingerichtet ist, ein von der auf das Segment eingestrahlten Energie abgeleitetes Signal auszugeben; eine Analyseeinrichtung (20), die die von dem Detektor (10) kommenden Signale auswertet und entsprechend einer Auslenkung eines Messbalkens (3) zuordnet.
摘要翻译：装置，用于测量相应的偏转的多个规则排列的测量光束（3）在扫描探针显微镜或原子力显微镜，包括：至少一个辐射源（7），其被布置在至少一个测量光束（5）产生; 一个束光学，其被布置成引导所述至少一个测量光束（5）上的多个测量光束中的至少一个部分（3），使得每个测量光束从其反射的测量束; 一个检测器（10）与所述测量光束的若干段（12）（3）反射的测量光束（5）同时检测，其中，所述检测器的每个段被配置为照射在该段能量导出的信号的输出; 所述分析装置（20），它从评估检测器（10）来的信号和对应于测量光束的位移分配（3）。

83. 发明申请

WO2008112713A1 NANOLITHOGRAPHY WITH USE OF VIEWPORTS 审中-公开
标题翻译：使用视图的纳米图
公开(公告)号：WO2008112713A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：PCT/US2008/056555
申请日：2008-03-11
申请人： NANOINK, INC. , HAAHEIM, Jason , FRAGALA, Joseph, S. , SHILE, Raymond, R.
发明人： HAAHEIM, Jason , FRAGALA, Joseph, S. , SHILE, Raymond, R.
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q70/06 , G01Q80/00
摘要： Two dimensional arrays of cantilevers for use in transferring inks from the cantilever tip to substrates are improved with use of viewports to view the cantilevers from a far side. This improves the leveling behavior when large numbers of cantilevers are present. It also provides for better laser access. Bioarrays and combinatorial applications are particularly important. Massively parallel direct write printing with more than 55,000 cantilever tips can be achieved.
摘要翻译：通过使用视口来从远侧观察悬臂，改进了用于将墨水从悬臂尖端转移到基板的二维悬臂阵列。当存在大量的悬臂时，这改善了流平行为。它还提供更好的激光接入。生物芯片和组合应用尤为重要。可以实现具有超过55,000个悬臂尖端的大规模并行直写写入。

84. 发明申请

WO2007006834A3 SYSTEM AND METHOD FOR THE INSPECTION OF MICRO AND NANOMECHANICAL STRUCTURES 审中-公开
标题翻译：用于检测微米和纳米力学结构的系统和方法
公开(公告)号：WO2007006834A3
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/ES2006000405
申请日：2006-07-13
申请人： CONSEJO SUPERIOR INVESTIGACION , TAMAYO DE MIGUEL FRANCISCO JAV , MERTENS JOHAN , CALLEJA GOMEZ MONTSERRAT
发明人： TAMAYO DE MIGUEL FRANCISCO JAV , MERTENS JOHAN , CALLEJA GOMEZ MONTSERRAT
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/02
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/02 , G01Q70/06
摘要： The invention relates to a system for the inspection of surfaces, which is configured to detect vibration and/or relative displacement characteristics at different points of various elements (51) forming part of a mechanical structure (5), such as a micro or nanomechanical structure. According to the invention, a light beam is moved by the mechanical structure along a first path (A) in order to detect different successive reference positions (C) along the length of said path (A) and the light beam is also moved by the mechanical structure along various secondary paths (B) which are each associated with one of the aforementioned reference positions (C). In addition, the invention relates to a corresponding method and a program for performing said method.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检查表面的系统，其被配置为检测形成机械结构（5）的一部分的各种元件（51）的不同点处的振动和/或相对位移特性，例如微或纳机械结构。根据本发明，光束通过机械结构沿第一路径（A）移动，以沿着所述路径（A）的长度检测不同的连续参考位置（C），并且光束也通过沿各种次级路径（B）的机械结构，每个次级路径（B）都与前述参考位置（C）中的一个相关联。另外，本发明涉及用于执行所述方法的对应方法和程序。

85. 发明申请

WO2007006834A2 SISTEMA Y MÉTODO PARA LA INSPECCIÓN DE ESTRUCTURAS MICRO Y NANOMECÁNICA 审中-公开
标题翻译：用于检测微米和纳米结构的系统和方法
公开(公告)号：WO2007006834A2
公开(公告)日：2007-01-18
申请号：PCT/ES2006/000405
申请日：2006-07-13
申请人： CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES , TAMAYO DE MIGUEL, Francisco Javier , MERTENS, Johan , CALLEJA GOMEZ, Montserrat
发明人： TAMAYO DE MIGUEL, Francisco Javier , MERTENS, Johan , CALLEJA GOMEZ, Montserrat
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/02
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/02 , G01Q70/06
摘要： El sistema para la inspección de superficies está configurado para detectar características de desplazamiento relativo y/o de vibración de diversos puntos de varios elementos (51) que forman parte de una estructura mecánica (5), tal como una estructura micro o nanomecánica. Un haz de luz es desplazado por la estructura mecánica a lo largo de una primera trayectoria (A) para detectar varias posiciones de referencia subsiguientes (C) a lo largo de dicha trayectoria (A), y el haz de luz es desplazado, además, por la estructura mecánica a lo largo de varias segundas trayectorias (B), siendo asociada cada una de dichas segundas trayectorias (B) con una de dichas posiciones de referencia (C). Además, la invención se refiere a un correspondiente método y a un programa para la realización del método.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检查表面的系统，其被配置为检测构成机械结构（5）的一部分的各种元件（51）的不同点处的振动和/或相对位移特性，例如微型或纳米机械结构。根据本发明，光束通过机械结构沿着第一路径（A）移动，以便沿着所述路径（A）的长度检测不同的连续参考位置（C），并且光束也被移动各个次要路径（B）的机械结构各自与上述参考位置（C）中的一个相关联。此外，本发明涉及用于执行所述方法的相应方法和程序。

86. 发明申请

WO2006102478A2 DECONVOLVING TIP ARTIFACTS USING MULTIPLE SCANNING PROBES 审中-公开
标题翻译：使用多个扫描探针解开提示
公开(公告)号：WO2006102478A2
公开(公告)日：2006-09-28
申请号：PCT/US2006/010512
申请日：2006-03-21
申请人： MULTIPROBE, INC.
发明人： HARE, Casey Patrick , ERICKSON, Andrew Norman
IPC分类号： G01B5/28
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q30/04 , G01Q40/00 , G01Q40/02 , G01Q70/06
摘要： The present invention comprises an apparatus and a method for using multiple scanning probes to deconvolve tip artifacts in scanning probe microscopes and other scanning probe systems. The invention uses multiple scanning probe tips (130, 312) of different geometries or orientations to scan a feature, such as a semiconductor line or trench (134), and to display the scan data such that tip artifacts (138) from each tip can be omitted from the measurement by data from the other tips.
摘要翻译：本发明包括使用多个扫描探针在扫描探针显微镜和其它扫描探针系统中去卷积尖端伪像的装置和方法。本发明使用具有不同几何形状或取向的多个扫描探针尖端（130,312）来扫描诸如半导体线或沟槽（134）的特征，并且显示扫描数据，使得来自每个尖端的尖端伪影（138）可以通过其他提示的数据从测量中省略。

87. 发明申请

WO2005069802A2 MICROMACHINED ARRAYED THERMAL PROBE APPARATUS SYSTEM FOR THERMAL SCANNING A SAMPLE IN A CONTACT MODE AND CANTILEVERED REFERENCE PROBE FOR USE THEREIN 审中-公开
标题翻译：用于热扫描的微型扫描式热探头装置系统用于接触模式的样品和用于其的可变参考探针
公开(公告)号：WO2005069802A2
公开(公告)日：2005-08-04
申请号：PCT/US2005/001001
申请日：2005-01-13
申请人： THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN , GIANCHANDANI, Yogesh, B. , MCNAMARA, Shamus, P. , LEE, Joohyung , BASU, Amar
发明人： GIANCHANDANI, Yogesh, B. , MCNAMARA, Shamus, P. , LEE, Joohyung , BASU, Amar
IPC分类号： G01K7/02 , G01K7/18 , G01K17/00
CPC分类号： G01K17/006 , G01K7/028 , G01K7/186 , G01Q60/58 , G01Q70/06
摘要： A relatively simple and inexpensive micromachined arrayed thermal probe apparatus, system for thermal scanning a sample in a contact mode and cantilevered reference probe for use therein can be used for a variety of microscopy and microcalorimetry applications ranging from the monitoring of processes in semiconductor manufacturing to the characterization of nano-scale materials, imaging of biological cells, and even data storage. Probes are designed to have very high thermal isolation and high mechanical compliance, providing advantages in both performance and ease of operation. In particular, an array of probes can be used for high throughput contact mode scanning of soft samples without mechanical feedback, and can, therefore, be used in wide arrays for high-speed measurements over large sample surfaces. The probes are preferably manufactured by a photolithographic fabrication process, which permits large numbers of probes to be made in a uniform and reproducible manner at low cost.
摘要翻译：相对简单且廉价的微加工阵列热探针装置，用于以接触模式热扫描样品的系统和用于其中的悬臂参考探针可用于各种显微镜和微量热计应用，从半导体制造过程的监测到表征纳米级材料，生物细胞成像，甚至数据存储。探头设计具有非常高的隔热度和高机械柔度，在性能和操作方便性方面都有优势。特别地，探针阵列可以用于没有机械反馈的软样品的高通量接触模式扫描，并且因此可以用于宽阵列以用于在大样品表面上的高速测量。探针优选通过光刻制造工艺制造，其允许以低成本以均匀且可再现的方式制造大量探针。

88. 发明申请

WO0210828A9 CONTROL OF POSITION AND ORIENTATION OF SUB-WAVELENGTH APERTURE ARRAY IN NEAR-FIELD MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：近场微波阵列中亚波长光栅阵列的位置和方位控制
公开(公告)号：WO0210828A9
公开(公告)日：2004-05-06
申请号：PCT/US0123656
申请日：2001-07-27
申请人： ZETETIC INST , HILL HENRY ALLEN
发明人： HILL HENRY ALLEN
IPC分类号： G02B21/00 , G01Q10/06 , G01Q60/18 , G01Q60/22 , G12B21/06
CPC分类号： G01Q60/22 , G01Q10/06 , G01Q70/06
摘要： Systems and methods for near-field, interferometric microscopy are disclosed in which a mask having an array of sub-wavelength apertures is used to couple near-field probe beams to a sample. The periphery of the mask further includes one or more larger apertures to couple light to the sample that forms the basis of an interferometric signal indicative of the relative distance between the mask and the sample. The interferometric signal can be the basis of a control signal in a servo system that dynamically positions the mask relative to the sample.
摘要翻译：公开了用于近场干涉显微镜的系统和方法，其中具有亚波长孔径阵列的掩模用于将近场探测光束耦合到样品。掩模的周边还包括一个或多个较大的孔，以将光耦合到样品，其形成指示掩模和样品之间的相对距离的干涉信号的基础。干涉信号可以是伺服系统中的控制信号的基础，该控制信号相对于样品动态地定位掩模。

89. 发明申请

WO2003019241A2 DIFFRACTIVE OPTICAL POSITION DETECTOR 审中-公开
标题翻译：差分光学位置检测器
公开(公告)号：WO2003019241A2
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：PCT/US2002/027184
申请日：2002-08-23
申请人： ASYLUM RESEARCH CORPORATION , PROKSCH, Roger , CLEVELAND, Jason , BOCEK, Dan
发明人： PROKSCH, Roger , CLEVELAND, Jason , BOCEK, Dan
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q70/06 , G02B26/0808
摘要： An apparatus and method for measuring optically the position or angle of a variety of objects or arrays of objects, including cantilevers in scanning probe microscopy, micromechanical biological and chemical sensors and the sample or a probe in a surface profilometry. The invention involoves the use of one or more diffractive optical elements, including diffraction gratings and holograms, combined with conventional optical elements, to form a plurality of light beams, each with a selectable shape and intensity, from a single light source, reflect the beams off mechanical objects and process the reflected beams, all to the end of measuring the position of such objects with a high degree of precision. The invention may also be used to effect mechanical changes in such objectsd. Devices with these improvements have numerous applications, including molecular force measurements, atomic force microscopy and manipulation technology, lithographic manufacturing, nanometer scale surface profiling and other aspects of nanotechnology.
摘要翻译：用于光学测量各种物体或物体阵列的位置或角度的装置和方法，包括扫描探针显微镜中的悬臂，微机械生物和化学传感器以及表面轮廓测量中的样品或探针。本发明不仅使用一个或多个衍射光学元件，包括衍射光栅和全息图，与传统的光学元件组合，以形成多个光束，每个光束具有来自单个光源的可选形状和强度，关闭机械物体并处理反射光束，最终以高精度测量这些物体的位置。本发明也可用于实现这些物体的机械变化。具有这些改进的器件有许多应用，包括分子力测量，原子力显微镜和操作技术，平版印刷制造，纳米级表面分析和纳米技术的其他方面。

90. 发明申请

WO0210832A3 SCANNING INTERFEROMETRIC NEAR-FIELD CONFOCAL MICROSCOPY WITH BACKGROUND AMPLITUDE REDUCTION AND COMPENSATION 审中-公开
标题翻译：扫描具有背景放大和补偿的干涉微观近场共焦显微镜
公开(公告)号：WO0210832A3
公开(公告)日：2003-01-23
申请号：PCT/US0141445
申请日：2001-07-27
申请人： ZETETIC INST , HILL HENRY ALLEN
发明人： HILL HENRY ALLEN
IPC分类号： G01N21/45 , G01Q60/18 , G01Q60/22 , G02B21/00
CPC分类号： G01Q60/22 , G01Q70/06
摘要： The invention features systems and methods for near-field, interferometric microscopy in which one or more phase retardation plates are positioned in the measurement and/or reference arms to reduce the contribution to the interference signal of background sources including, e.g., a beam component scattered from a near-field aperture used to couple a probe beam to a sample. The systems may operate in either reflective or transmissive modes.
摘要翻译：本发明的特征在于用于近场干涉显微镜的系统和方法，其中一个或多个相位延迟板位于测量和/或参考臂中以减少对背景源的干扰信号的贡献，包括例如散射的光束分量来自用于将探测光束耦合到样品的近场光圈。系统可以以反射或透射模式操作。

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