发明申请
WO2009000885A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN VERSCHIEDENARTIGER MATERIALIEN
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON OBERFLÄCHENEIGENSCHAFTEN VERSCHIEDENARTIGER MATERIALIEN
- 专利标题（英）：Apparatus and method for investigating surface properties of different materials
- 专利标题（中）：装置和方法进行调查不同的材料如表面物性
- 申请号：PCT/EP2008/058151 申请日：2008-06-26
- 公开(公告)号：WO2009000885A1 公开(公告)日：2008-12-31
- 发明人： RANGELOW, Ivo, W. , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard , GOTSZALK, Teodor , WOSZCZYNA, Miroslaw , MIELCZARSKI, Jerzy , SAROV, Yanko
- 申请人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAU , RANGELOW, Ivo, W. , IVANOV, Tzvetan , VOLLAND, Burkhard , GOTSZALK, Teodor , WOSZCZYNA, Miroslaw , MIELCZARSKI, Jerzy , SAROV, Yanko
- 申请人地址： Ehrenbergstrasse 29 98693 Ilmenau DE
- 专利权人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAU,RANGELOW, Ivo, W.,IVANOV, Tzvetan,VOLLAND, Burkhard,GOTSZALK, Teodor,WOSZCZYNA, Miroslaw,MIELCZARSKI, Jerzy,SAROV, Yanko
- 当前专利权人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAU,RANGELOW, Ivo, W.,IVANOV, Tzvetan,VOLLAND, Burkhard,GOTSZALK, Teodor,WOSZCZYNA, Miroslaw,MIELCZARSKI, Jerzy,SAROV, Yanko
- 当前专利权人地址： Ehrenbergstrasse 29 98693 Ilmenau DE
- 代理机构： ENGEL, Christoph, K.
- 优先权： DE10 20070627
- 主分类号： G01N13/16
- IPC分类号： G01N13/16 ; G12B21/08
摘要：
Die vorliegenden Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Untersuchung von Oberflächeneigenschaften verschiedenartiger Materialien, mit denen es gelingt, die Raster-Kraft-Mikroskopie mit einem vereinfachten und schnellerem Shear-Force-Verfahren durchzuführen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist charakterisiert durch eine senkrechte Ausrichtung eines selbstaktuierten Cantileversmit seiner Messspitze zur Proben-Oberfläche. Vorzugsweise erfolgt eine galvanische Trennung eines piezoresisitiven Sensors und eines Bimorph-Aktuators. Die Messspitze ist insbesondere als Carbon-Nanotube ausgebildet. Mehrere Cantilever lassen sich als Cantilever-Array anordnen, welches durch eine kammartige Anordnung einzelner vorgebogener Cantilever charakterisiertist. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich durch ein schnelles Feed-Back-Signal aus, aufgrund der Regulierung des Abstandes zwischen der Messspitze und der zu untersuchenden Oberfläche mittels der Änderung eines den Aktuazor versirgenden Gleichstromsignals.
摘要（中）：
本发明涉及一种装置和用于研究与它能够以简化的和更快的剪切力的方法进行原子力显微镜各种材料的表面特性的方法。 本发明的装置的特征在于selbstaktuierten Cantileversmit其探针尖端与样品表面的垂直方向。 优选进行一个压阻传感器和双压电晶片致动器的电流隔离。 探针尖端被设计特别是作为碳纳米管。 多个悬臂可被布置为一个悬臂阵列，其charakterisiertist个别预弯曲悬臂梁的梳状配置。 本发明的方法的特征在于，快速反馈信号，由于测量尖端与表面之间的距离的调节由Aktuazor versirgenden DC信号的变化来进行检测。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N13/00 | 测试表面或边界效应，例如湿润能力；测试扩散效应；通过测定表面，边界或扩散效应分析材料；在原子量级测试或分析表面结构 |
| --------G01N13/10 | .应用探针扫描技术在原子量级测试或分析表面结构 |
| ----------G01N13/16 | ..应用原子力显微术（AFM） |