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    • 70. 发明申请
    • 플렉서블 나노 제너레이터 및 제조 방법
    • 柔性纳米粒子及其制造方法
    • WO2015122727A1
    • 2015-08-20
    • PCT/KR2015/001511
    • 2015-02-13
    • 한국과학기술원코오롱인더스트리 주식회사
    • 이건재황건태정창규한재현
    • H01L41/18H01L41/22
    • H01L41/183H01L41/313
    • 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 나노제너레이터는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 압전물질층; 및 상기 압전물질층 상에 형성된 전극을 포함하며, 상기 압전물질층은 투명 희생기판상에 적층된 후, 레이저 리프트 오프 방식으로 분리된다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터는, 플렉서블 기재; 및 상기 플렉서블 기재 상에 적층되는 복수의 압전 소자층;을 포함하며, 상기 복수의 압전 소자층은 상기 플렉서블 기재의 상면에 적층되는 제1 압전 소자층 및 상기 제1 압전 소자층의 상면 또는 상기 플렉서블 기재의 하면에 적층되는 제2 압전 소자층을 포함한다. 본 발명은 레이저 리프트 오프 공정을 통해 제조되는 압전소자층을 포함하는 복수의 자가 발전기를 적층하는 과정을 통해 플라스틱 기판 상에서 차지하는 면적을 줄이는 동시에 부피를 최소화할 수 있게 하고, 플라스틱 기판의 사용을 줄임으로써 제작 비용의 감소를 기대하게 한다.
    • 根据本发明的一个实施例的柔性纳米发生器包括:柔性基底; 堆叠在柔性基板上的压电材料层; 以及形成在所述压电材料层上的电极,其中所述压电材料层堆叠在透明牺牲基板上,然后通过激光剥离工艺分离。 根据本发明另一实施例的三维叠层型柔性纳米发生器包括:柔性基底材料; 以及层叠在柔性基材上的多个压电元件层,其中,所述多个压电元件层包括堆叠在所述柔性基材的上侧的第一压电元件层和层叠在所述柔性基材的上侧的第二压电元件层 第一压电元件层或柔性基材的下侧。 本发明能够通过层叠多个通过激光剥离工艺制造的压电元件层的自发电机的堆叠步骤,同时使体积最小化,从而减小塑料基板上的占用面积, 通过减少塑料基板的使用来降低制造成本。