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    • 2. 发明申请
    • 素子製造方法
    • 元素制造方法
    • WO2016158965A1
    • 2016-10-06
    • PCT/JP2016/060158
    • 2016-03-29
    • 京セラ株式会社
    • 渡辺 啓一郎
    • H03H3/02H01L41/29H01L41/332H01L41/338
    • H01L41/29H01L41/332H01L41/338H03H3/02H03H9/19
    •  素子製造方法を提供する。本発明の素子製造方法は、被加工物100の面方向における厚み分布を得る第1工程と、前記厚み分布と所望の膜厚分布との差分から加工量分布を算出する第2工程と、前記加工量分布に応じて前記被加工物を局所的に加工する第3工程と、前記第3工程の後に、前記被加工物の面内を複数の素子部に区分し、各素子部において電極を形成する第4工程と、複数の前記素子部毎に分割して、複数の素子とする第5工程と、を含む。
    • 本发明提供一种元件制造方法。 根据本发明的元件制造方法包括:用于获得工件100的表面方向上的厚度分布的第一步骤; 第二步骤,用于根据厚度分布和期望的膜厚度分布之差来计算处理量分布; 用于根据加工量分布局部加工工件的第三步骤; 第四步骤,在第三步骤之后,将工件表面的内部分割成多个元件部分,并在每个元件部分中形成电极; 以及第五步骤,用于分割多个元件部分中的每一个以形成多个元件。
    • 8. 发明申请
    • PIEZOELECTRIC / ELECTROSTRICTIVE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF
    • 压电/电绝缘设备及其制造方法
    • WO01026169A1
    • 2001-04-12
    • PCT/JP2000/006749
    • 2000-09-29
    • H01L41/083H01L41/09H01L41/187H01L41/22H01L41/338H02N2/00H01L41/08
    • H01L41/0946H01L41/273Y10T29/42Y10T29/435Y10T29/49078Y10T29/49126
    • A piezoelectric / electrostrictive device (10A) comprises a pair of opposed thin plates (16a, 16b); a movable part (20); a fixed part (22) supporting the thin plates (16a, 16b) and the movable part (20); a piezoelectric / electrostrictive element (24a, 24b) attached to at least one of the thin plates (16a, 16b); and a hole (12) defined by both inner walls of the thin plates (16a, 16b), an inner wall (20a) of the movable part (20), and an inner wall (22a) of the fixed part (22); and a mechanism (100) for limiting the amplitude of the thin plates (16a, 16b). The mechanism (100) includes a recess (102) formed in the inner wall (20a) of the movable part (20), and a stopper (104) provided on the inner wall (22a) of the fixed part (22) and having its distal end (104a) received in the recess (102).
    • 压电/电致伸缩器件(10A)包括一对相对的薄板(16a,16b); 可移动部分(20); 支撑薄板(16a,16b)和可动部分(20)的固定部分(22); 连接到所述薄板(16a,16b)中的至少一个的压电/电致伸缩元件(24a,24b); 以及由所述薄板(16a,16b)的内壁,所述可动部(20)的内壁(20a)和所述固定部(22)的内壁(22a)限定的孔(12)。 以及用于限制薄板(16a,16b)的振幅的机构(100)。 机构(100)包括形成在可动部分(20)的内壁(20a)中的凹部(102)和设置在固定部分(22)的内壁(22a)上的止动件(104) 其远端(104a)容纳在凹部(102)中。