专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

51. 发明申请

WO2010139034A2 METHOD OF FABRICATING MEMS DEVICES WITH ELECTRICAL COMPONENTS IN THEIR SIDEWALLS 审中-公开
标题翻译：将MEMS器件与其电气元件组合在一起的方法
公开(公告)号：WO2010139034A2
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/BG2010/000007
申请日：2010-06-01
申请人： AMG TECHNOLOGY LTD. , STAVROV, Vladimir
发明人： STAVROV, Vladimir
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00246 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , B81C2203/0742
摘要： The method of fabricating devices for microelectromechanical systems (MEMS) with electrical components in their sidewalls is applicable for the production of microstructures with various electrical and mechanical properties that can be used for sensing in different technical areas. The method consists of three stages and through numerous repetitions of processes of creation of protective layers, photolithographical patterning, consecutive etching processes and doping via high temperature ion diffusion performed over non-deformable semiconductor basic structures, for example monocrystalline Silicon basic structures, it gives opportunity of building of electrical components in the sidewalls of MEMS devices. The electrical components so obtained can have equal or different parameters and can be disposed in parts of or the whole sidewalls of such devices. With MEMS devices realized according to the claimed method measurements with considerably increased accuracy, precision and sensitivity can be made.
摘要翻译：制造具有其侧壁中的电气部件的微机电系统（MEMS）的装置的方法适用于具有各种电气和机械特性的微结构的生产，所述微观结构可用于不同技术领域的感测。该方法由三个阶段组成，通过多次重复制备保护层，光刻图案，连续蚀刻工艺和通过在非可变形半导体基本结构上执行的高温离子扩散（例如单晶硅基本结构）的掺杂过程，它给予机会在MEMS器件的侧壁中构建电气部件。如此获得的电气部件可以具有相等或不同的参数，并且可以设置在这些装置的部分或整个侧壁中。利用根据所要求保护的方法实现的MEMS器件，可以显着提高精度，精度和灵敏度。

52. 发明申请

WO2010137604A1 高分子アクチュエータ装置审中-公开
标题翻译：大分子致动器装置
公开(公告)号：WO2010137604A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/JP2010/058872
申请日：2010-05-26
申请人：アルプス電気株式会社 , 高橋功
发明人：高橋　功
IPC分类号： H02N11/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/038 , B81B2203/0118 , F03G7/005 , Y10S310/80
摘要：　電極層表面からイオンが染み出した場合でも高分子アクチュエータの電極層と端子部間の導通性を良好にできる高分子アクチュエータ装置を提供することを目的としている。　電解質層１１及び電解質層１１の厚さ方向の両面に設けられた一対の電極層１２，１３を有し、前記一対の電極層間に電圧を付与すると湾曲する高分子アクチュエータ１０と、前記高分子アクチュエータ１０に電圧を付与するための端子部１６，１７と、を有する高分子アクチュエータ装置において、前記高分子アクチュエータ１０は、変形部１８と支持部１４とを備え、前記高分子アクチュエータ１０の前記支持部１４の負極側である第１電極層１２と、端子部１６との間に、導電性多孔質材２０が介在している。
摘要翻译：即使离子从电极层的表面渗出，也可以使大分子致动器装置的电极层和端子部之间的导电性保持良好的高分子驱动装置。具有：具有电解质层（11）的高分子致动器（10）和安装在电解质层（11）的厚度方向两侧的一对电极层（12,13）的高分子致动器装置），并且当在上述一对电极层之间施加电压时将弯曲; 以及用于向上述高分子致动器（10）施加电压的端子部分（16,17）。还设置有变形部（18）和支撑部（14）。并且导电性多孔质材料（20）介于作为上述高分子致动器（10）的上述支撑部（14）的负极侧的第一电极层（12）与端子部（16）之间。

53. 发明申请

WO2010119857A1 アクチュエータ素子及び入力装置审中-公开
标题翻译：执行机构元件和输入装置
公开(公告)号：WO2010119857A1
公开(公告)日：2010-10-21
申请号：PCT/JP2010/056563
申请日：2010-04-13
申请人：アルプス電気株式会社 , 高橋功 , 芳賀宣明
发明人：高橋　功 , 芳賀　宣明
IPC分类号： H02N11/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2203/0118
摘要：【課題】　特に、簡単な構造で、十分な変位と大きな発生荷重を得ることが出来るアクチュエータ装置及び入力装置を提供することを目的としている。【解決手段】　一端が固定端１４、他端が自由端１６であり、電圧が印加されると湾曲する第１素子部２０と、前記第１素子部２０に比べて素子長さが短く形成されており、一端が前記第１素子部に接続され、電圧が印加されると前記第１素子部２０とは逆方向に湾曲して前記第１素子部２０を支える第２素子部２１と、を有する。
摘要翻译：提供了一种致动器元件和输入装置，其中可以通过直接的结构获得足够的位移和大的产生的负载。致动器元件包括第一元件（20），其一端是固定端（14），另一端是自由端（16）; 第一元件（20）在施加电压时弯曲。所述致动器元件还包括比所述第一元件（20）短的第二元件（21），所述第一元件的一端与所述第一元件连接; 当施加电压时，第二元件（21）沿与第一元件（20）相反的方向弯曲，并且支撑第一元件（20）。

54. 发明申请

WO2010098234A1 ウェハ接合装置およびウェハ接合方法审中-公开
标题翻译：波形粘结装置和粘结方法
公开(公告)号：WO2010098234A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2010/052268
申请日：2010-02-16
申请人：三菱重工業株式会社 , 内海淳 , 後藤崇之 , 井手健介
发明人：内海　淳 , 後藤　崇之 , 井手　健介
IPC分类号： B23K20/00 , B23K20/24 , B81C99/00 , H01L21/02 , H01L29/84
CPC分类号： B23K20/02 , B23K2201/40 , B81B2203/0118 , B81C1/00293 , B81C2203/0118 , H01L21/67748
摘要：本発明によるウェハ接合方法は、第１接合対象が有する第１表面と第２接合対象が有する第２表面と荷電粒子を照射するステップと、その荷電粒子の照射によるチャージアップを中和するために電子源を用いてその第１表面と第２表面とから物質が脱離するように電子を照射するステップと、その第１接合対象と第２接合対象とを接合するステップとを備えている。このため、本発明によるウェハ接合方法は、接合により気密封止された空間にその第１接合対象と第２接合対象とから脱離する物質の量を低減することができ、その空間の真空度の劣化をより容易に防止することができる。
摘要翻译：根据本发明的接合晶片的方法包括：将被接合的第一工件的第一表面和待接合的第二工件的第二表面照射带电粒子的步骤，用电子源第一表面和第二表面以从中除去材料，以及接合第一工件和第二工件的步骤。根据本发明的接合方法能够减少在气密密封室中从第一工件和第二工件移除的材料的量，从而防止室的真空度的降低。

55. 发明申请

WO2009138906A3 MEMS DEVICES AND FABRICATION THEREOF 审中-公开
标题翻译： MEMS器件及其制造方法
公开(公告)号：WO2009138906A3
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：PCT/IB2009051859
申请日：2009-05-06
申请人： NXP BV , VAN SCHAIJK ROBERTUS T F
发明人： VAN SCHAIJK ROBERTUS T F
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B3/0078 , B81B2201/016 , B81B2203/0118
摘要： A MEMS device and method, comprising: a substrate; a beam; and a cavity located therebetween; the beam comprising a first beam layer and a second beam layer, the first beam layer being directly adjacent to the cavity, the second beam layer being directly adjacent to the first beam layer; the first beam layer comprising a metal or a metal alloy containing silicon; and the second beam layer comprising a metal or a metal alloy substantially not containing silicon. Preferably the second beam layer is thicker than the first beam layer e.g. at least five times thicker, and the first beam layer comprises a metal or alloy containing between 1 % and 2% of silicon. The second beam layer provides desired mechanical and/ or optical properties whilst the first beam layer prevents spiking.
摘要翻译：一种MEMS器件和方法，包括：衬底; 一束和位于其间的腔体; 所述光束包括第一光束层和第二光束层，所述第一光束层直接邻近所述空腔，所述第二光束层直接邻近所述第一光束层; 所述第一束层包含含有硅的金属或金属合金; 并且第二束层包含基本上不含硅的金属或金属合金。优选地，第二光束层比第一光束层厚。至少五倍厚，第一束层包含含有1％至2％硅的金属或合金。第二光束层提供期望的机械和/或光学特性，同时第一光束层防止尖峰。

56. 发明申请

WO2009128048A1 TUNABLE CAPACITOR AND SWITCH USING MEMS WITH PHASE CHANGE MATERIAL 审中-公开
标题翻译：使用具有相变材料的MEMS的可控硅电容器和开关
公开(公告)号：WO2009128048A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/IB2009/051606
申请日：2009-04-17
申请人： NXP B.V. , FURUKAWA, Yukiko , REIMANN, Klaus , RENDERS, Christina, Adriana , STEENEKEN, Peter, Gerard , VAN PIETERSON, Liesbeth , LIU, Jin , JEDEMA, Friso, Jacobus
发明人： FURUKAWA, Yukiko , REIMANN, Klaus , RENDERS, Christina, Adriana , STEENEKEN, Peter, Gerard , VAN PIETERSON, Liesbeth , LIU, Jin , JEDEMA, Friso, Jacobus
IPC分类号： H01G5/18 , H01L21/00 , H01H59/00 , B81C1/00
CPC分类号： H01G5/18 , B81B3/0072 , B81B2201/0221 , B81B2203/0118 , B81C2201/0167 , H01H1/0094
摘要： The present invention relates to a MEMS, being developed for e.g. a mobile communication application, such as switch, tunable capacitor, tunable filter, phase shifter, multiplexer, voltage controlled oscillator, and tunable matching network. The volume change of phase-change layer is used for a bi-stable actuation of the MEMS device. The MEMS device comprises at least a bendable cantilever, a phase change layer, and electrodes. A process to implement this device and a method for using is given.
摘要翻译：本发明涉及一种开发用于例如MEMS的MEMS。移动通信应用，如开关，可调电容器，可调滤波器，移相器，多路复用器，压控振荡器和可调匹配网络。相变层的体积变化用于MEMS器件的双稳态驱动。 MEMS器件至少包括可弯曲悬臂，相变层和电极。给出了实现该设备的过程和使用方法。

57. 发明申请

WO2009124605A2 MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SLANTED STRUCTURE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD 审中-公开
标题翻译：与斜面结构及相应方法微机械结构
公开(公告)号：WO2009124605A2
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008066388
申请日：2008-11-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307
摘要： The invention relates to a micromechanical component having a slanted structure and to a corresponding production method. Said component comprises a substrate (1) having a surface (O); a first anchor (3e; 3e') that is provided on the surface (O) of the substrate (1) and which extends away from the substrate (1); and at least one arm (3c, 3d; 3c; 3c') that is oriented away from the anchor (3e; 3e') and that is provided on one lateral surface (S1, S2; S1'; S1'') of the anchor (3e; 3e').
摘要翻译：本发明提供了螺旋结构和相应的制造方法的微机械部件。该组件包括具有表面（O）的基板（1）; 在基板（1）的表面上的第一锚（3E，3E“），该（O）被设置，并且从衬底（1）延伸离开; 指向离开和在侧面的至少一个; '（其被从电枢倾斜臂3c和3d，3c和3c）中所提供的电枢的（S1，S2 S1”，S1' '）（3E，3E） '（图3e' 3E）是。

58. 发明申请

WO2007143123A3 MICROMACHINED ARTIFICIAL HAIRCELL 审中-公开
标题翻译： MICROMACHINED人造毛发
公开(公告)号：WO2007143123A3
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：PCT/US2007012991
申请日：2007-06-01
申请人： UNIV ILLINOIS , LIU CHANG , ENGEL JONATHAN , CHEN NANNAN , CHEN JACK
发明人： LIU CHANG , ENGEL JONATHAN , CHEN NANNAN , CHEN JACK
IPC分类号： G01L9/00 , G01L1/00
CPC分类号： G01P15/123 , B81B3/0021 , B81B2201/0292 , B81B2203/0118 , G01P5/04 , G01P15/0802
摘要： A micromachined artificial sensor comprises a support coupled to and movable with respect to a substrate. A polymer, high-aspect ratio cilia-like structure is disposed on and extends out-of-plane from the support. A strain detector is disposed with respect to the support to detect movement of the support.
摘要翻译：微加工人造传感器包括耦合到基板并且可相对于基板移动的支撑件。聚合物，高纵横比的纤毛状结构从载体上设置在平面外并从其延伸。应变检测器相对于支撑件设置以检测支撑件的运动。

59. 发明申请

WO2007135214A1 DISPOSITIVOS MICRO-NANOFLUÍDICOS FLEXIBLES 审中-公开
标题翻译：柔性微型/纳米级器件
公开(公告)号：WO2007135214A1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：PCT/ES2007/000296
申请日：2007-05-22
申请人： IKERLAN, CENTRO DE INVESTIGACIONES TECNOLÓGICAS, S.COOP. , BLANCO BARRO, Fco. Javier , AGUIRREGABIRIA IZAGUIRRE, María , EZKERRA FERNÁNDEZ, Aitor , SCHULZE, Janette Lilian María , RUANO LÓPEZ, Jesús Miguel , MAYORA ORIA, Kepa
发明人： BLANCO BARRO, Fco. Javier , AGUIRREGABIRIA IZAGUIRRE, María , EZKERRA FERNÁNDEZ, Aitor , SCHULZE, Janette Lilian María , RUANO LÓPEZ, Jesús Miguel , MAYORA ORIA, Kepa
IPC分类号： B81C1/00 , B81B3/00 , H01L21/64 , A61B5/00 , A61M31/00
CPC分类号： B01L3/502707 , A61M2037/0053 , B01L2200/0689 , B01L2300/0645 , B01L2300/0816 , B01L2400/0415 , B81B2201/0214 , B81B2201/058 , B81B2203/0118 , B81C1/00119 , B82Y40/00
摘要： La presente invención se refiere a un procedimiento de fabricación de dispositivos micro-nanofluídicos que incorporan componentes metálicos y micro-mecánicos en voladizo integrados monolíticamente con la circuitería fluídica.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产微/纳流感器件的方法，其包括与流体回路单片集成的突出的微机械和金属部件。

60. 发明申请

WO2007134087A2 ENERGY STORAGE STRUCTURES USING ELECTROMECHANICALLY ACTIVE MATERIALS FOR MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：使用电化学活性材料进行微机电系统的能源储存结构
公开(公告)号：WO2007134087A2
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/US2007/068527
申请日：2007-05-09
申请人： TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED , ODEN, Patrick, Ian , MCDONALD, William, Craig
发明人： ODEN, Patrick, Ian , MCDONALD, William, Craig
IPC分类号： B64F1/18
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0054 , B81B2201/045 , B81B2203/0118
摘要： System and method (100) for storing energy using electromechanically active materials in micro-electromechanical systems. A preferred embodiment comprises a movable element, an intermediate layer formed under the movable element, and electrical addressing circuitry formed under the intermediate layer. The intermediate layer contains a hinge and at least one flexible member (105) associated with the movable element, with the flexible member comprising a layer made from an electromechanically active material. The electromechanically active material contracts or deforms when an electric field is applied, helping the movable element move from a first position to a second position. The use of the electromechanically active material enables the flexible member to apply a greater force on the movable element to help the movable element overcome stiction.
摘要翻译：用于在微机电系统中使用机电活性材料储存能量的系统和方法（100）。优选实施例包括可移动元件，形成在可移动元件下方的中间层以及形成在中间层下面的电寻址电路。中间层包含铰链和与可移动元件相关联的至少一个柔性构件（105），柔性构件包括由机电活性材料制成的层。当施加电场时，机电活性材料收缩或变形，帮助可移动元件从第一位置移动到第二位置。使用机电活性材料使得柔性构件能够在可移动元件上施加更大的力以帮助可移动元件克服粘性。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式