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31. 发明申请

WO2013118111A1 POSITION SENSITIVE STEM DETECTOR 审中-公开
标题翻译：位置敏感干扰检测器
公开(公告)号：WO2013118111A1
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：PCT/IL2013/000015
申请日：2013-02-12
申请人： EL-MUL TECHNOLOGIES LTD.
发明人： REINHORN, Silviu , CHEIFETZ, Eli , WEINGARTEN, Amit
IPC分类号： G01N21/31 , G01N23/02 , G01N23/04
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/04 , H01J37/244 , H01J2237/221 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2446 , H01J2237/26 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806
摘要： A STEM system is disclosed wherein an imaging system is used to image the electron scatter pattern plane of the HAADF detector onto a two-dimerisional array detector. A data acquisition system stores and processes the data from the two-dimensional array detector. For each illumination pixel of the STEM, one frame of data is generated and stored Each frame includes data of all scattered angles and can be analyzed in real time or in off-line at any time after the scan. A method is disclosed for detecting electrons emitted from a sample by detecting electrons scattered from the sample and generating plurality of corresponding signals, each signal indicative of scattering angle of a scattered electron; generating a plurality of signal groups, each signal group being a collection of signals of a user selected scattering angle.
摘要翻译：公开了一种STEM系统，其中使用成像系统将HAADF检测器的电子散射图案平面成像到二聚二聚体阵列检测器上。数据采集系统存储并处理来自二维阵列检测器的数据。对于STEM的每个照明像素，生成和存储一帧数据每帧包括所有散射角的数据，并且可以在扫描之后的任何时间实时或离线分析。公开了一种通过检测从样品散射的电子并产生多个对应信号来检测从样品发射的电子的方法，每个信号指示散射电子的散射角; 产生多个信号组，每个信号组是用户选择的散射角的信号的集合。

32. 发明申请

WO2013063005A1 INTEGRATED BACKSCATTERED ELECTRON DETECTOR WITH CATHODOLUMINESCENCE COLLECTION OPTICS 审中-公开
标题翻译：集成式电子检测器，具有阴极射线收集光学
公开(公告)号：WO2013063005A1
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：PCT/US2012/061538
申请日：2012-10-24
申请人： GATAN, INC.
发明人： STOWE, David, J. , HUNT, John , GALLOWAY, Simon, A.
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2441 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475
摘要： An apparatus for simultaneous detection of backscattered electrons and photons from a sample. The device includes a direct detection backscattered electron detector and a photon detector. The backscattered electron detector has a reflective surface that reflects photons emitted by the sample onto the photon detector.
摘要翻译：用于从样品中同时检测背散射电子和光子的装置。该装置包括直接检测背散射电子检测器和光子检测器。反向散射电子检测器具有将样品发射的光子反射到光子检测器上的反射表面。

33. 发明申请

WO2012018800A3 METHOD FOR ACQUIRING SIMULTANEOUS AND OVERLAPPING OPTICAL AND CHARGED PARTICLE BEAM IMAGES 审中-公开
标题翻译：获取同时和重叠光学和充电粒子束图像的方法
公开(公告)号：WO2012018800A3
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：PCT/US2011046247
申请日：2011-08-02
申请人： MOORE THOMAS , HARTFIELD CHERYL , MAGEL GREGORY , OMNIPROBE INC
发明人： MOORE THOMAS , HARTFIELD CHERYL , MAGEL GREGORY
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/04 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N2223/10 , G01N2223/418 , G02B21/002 , G02B21/367 , H01J37/228 , H01J2237/2445
摘要： This disclosure relates to a method and apparatus for producing multiple pixel-by-pixel simultaneous and overlapping images of a sample (100) in a microscope (10) with multiple imaging beams (120, 130). A scanning electron microscope, a focused ion-beam microscope (10), or a microscope having both beams (120, 130), also has an optical microscope (140). A region of interest (210) on a sample (100) is scanned by both charged-particle (120) and optical (130) beams, either by moving the sample (100) beneath the beams (120, 130) by use of a mechanical stage (110), or by synchronized scanning of the stationary sample (100) by the imaging beams (120, 130), or by independently scanning the sample (100) with the imaging beams (120, 130) and recording imaging signals so as to form pixel-by-pixel simultaneous and overlapping images.
摘要翻译：本公开涉及一种用于在具有多个成像光束（120,130）的显微镜（10）中产生样品（100）的多个逐像素同时和重叠图像的方法和装置。扫描电子显微镜，聚焦离子束显微镜（10）或具有两个光束（120,130）的显微镜也具有光学显微镜（140）。无论是通过将样品（100）在梁（120,130）下方移动，通过两个带电粒子（120）和光学（130）两个光束来扫描样品（100）上的感兴趣区域（210）或者通过成像光束（120,130）对固定样品（100）进行同步扫描，或者通过用成像光束（120,130）独立地扫描样品（100），并记录成像信号，从而以形成逐像素同时和重叠的图像。

34. 发明申请

WO2011135775A1 イオン注入状況の確認方法および半導体ウェーハの製造方法审中-公开
标题翻译：检查离子植入状态的方法及制造半导体波长的方法
公开(公告)号：WO2011135775A1
公开(公告)日：2011-11-03
申请号：PCT/JP2011/001817
申请日：2011-03-28
申请人：信越半導体株式会社 , 横川功
发明人：横川　功
IPC分类号： H01L21/265 , H01J37/317
CPC分类号： H01L21/265 , H01J37/3005 , H01J37/3171 , H01J2237/2445 , H01J2237/31703 , H01L22/12
摘要：　本発明は、表面に絶縁膜を有する半導体ウェーハの一方の表面の全面にイオンを注入する際のイオン注入状況の確認方法であって、イオン注入の開始から終了までの間を通して、前記注入イオンのイオンビームが前記半導体ウェーハの表面上に照射される際に生ずる発光を直接的または間接的に観察することによって、前記半導体ウェーハへのイオン注入が前記全面に行われているかどうかを確認することを特徴とするイオン注入状況の確認方法である。これにより、イオン注入時の装置上の不具合などによるイオン注入の不均一性を早期に、かつ、容易に発見し、製品の品質安定化、故障期間の短縮化を図ることができるイオン注入状況の確認方法とそれを利用した半導体ウェーハの製造方法が提供される。
摘要翻译：公开了一种在将离子注入半导体晶片的整个表面时检查离子注入状态的方法，所述表面上具有绝缘膜。在该方法中，在从离子注入开始到结束的整个时间段期间，通过直接或间接地观察当植入的离子束产生的发光时，检查离子是否注入到半导体晶片的整个表面中离子被施加在半导体晶片的表面上。利用该方法，可以容易地在早期阶段检测离子注入时由于装置的故障等引起的离子注入的不均匀性，产品品质稳定，可以缩短故障期间。还公开了使用这种方法制造半导体晶片的方法。

35. 发明申请

WO2009154953A3 SAMPLE INSPECTION METHODS, SYSTEMS AND COMPONENTS 审中-公开
标题翻译：样本检查方法，系统和组件
公开(公告)号：WO2009154953A3
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/US2009045131
申请日：2009-05-26
申请人： CARL ZEISS SMT INC , SIJBRANDIJ SYBREN , NOTTE IV JOHN A , THOMPSON WILLIAM B
发明人： SIJBRANDIJ SYBREN , NOTTE IV JOHN A , THOMPSON WILLIAM B
IPC分类号： G01N23/22 , G01N23/225 , G01T1/24 , G01T1/29 , H01J37/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2208 , G01N23/2258 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0807 , H01J2237/2441 , H01J2237/2444 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2803 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The disclosure relates to sample inspection using an ion-beam microscope. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.
摘要翻译：本公开涉及使用离子束显微镜的样品检查。在一些实施例中，本公开涉及多个检测器的使用，每个检测器提供关于样品的不同信息。

36. 发明申请

WO2009154953A2 SAMPLE INSPECTION METHODS, SYSTEMS AND COMPONENTS 审中-公开
标题翻译：样本检查方法，系统和组件
公开(公告)号：WO2009154953A2
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：PCT/US2009/045131
申请日：2009-05-26
申请人： CARL ZEISS SMT INC. , SIJBRANDIJ, Sybren , NOTTE IV, John, A. , THOMPSON, William, B.
发明人： SIJBRANDIJ, Sybren , NOTTE IV, John, A. , THOMPSON, William, B.
IPC分类号： G01N23/22 , G01N23/225 , H01J37/00 , H01L21/66
CPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2208 , G01N23/2258 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0807 , H01J2237/2441 , H01J2237/2444 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/24585 , H01J2237/24592 , H01J2237/2803 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The disclosure relates to sample inspection methods, systems and components. In some embodiments, the disclosure involves the use of multiple detectors, each of which provides different information about a sample.
摘要翻译：本公开涉及样品检查方法，系统和部件。在一些实施例中，本公开涉及多个检测器的使用，每个检测器提供关于样品的不同信息。

37. 发明申请

WO2009042462A2 TECHNIQUES FOR OPTICAL ION BEAM METROLOGY 审中-公开
标题翻译：光学离子束测量技术
公开(公告)号：WO2009042462A2
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/US2008/076634
申请日：2008-09-17
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. , PEREL, Alexander, S. , PLATOW, Wilhelm, P. , CHANEY, Craig, R. , SINCLAIR, Frank , ROCKWELL, Tyler
发明人： PEREL, Alexander, S. , PLATOW, Wilhelm, P. , CHANEY, Craig, R. , SINCLAIR, Frank , ROCKWELL, Tyler
IPC分类号： H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/2445 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/2482 , H01J2237/30472
摘要： Techniques for providing optical ion beam metrology are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the techniques may be realized as an apparatus for controlling beam density profile, the apparatus may include one or more camera systems to capture at least one image of an ion beam and a control system coupled to the one or more camera systems to control a beam density profile of the ion beam. The control system may further include a dose profiler to provide information to one or more ion implantation components in at least one of a feedback loop and a feedforward loop to improve dose and angle uniformity.
摘要翻译：公开了用于提供光学离子束测量的技术。在一个特定的示例性实施例中，所述技术可以被实现为用于控制射束密度分布的设备，所述设备可以包括一个或多个照相机系统以捕获离子束的至少一个图像以及耦合到所述一个或多个照相机的控制系统系统来控制离子束的束密度分布。控制系统可以进一步包括剂量分析器，以向反馈回路和前馈回路中的至少一个中的一个或多个离子植入部件提供信息，以改善剂量和角度的均匀性。

38. 发明申请

WO2009042461A2 TECHNIQUES FOR OPTICAL ION BEAM METROLOGY 审中-公开
标题翻译：光离子束计量技术
公开(公告)号：WO2009042461A2
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/US2008/076624
申请日：2008-09-17
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. , PEREL, Alexander, S. , PLATOW, Wilhelm, P. , CHANEY, Craig, R. , SINCLAIR, Frank , ROCKWELL, Tyler
发明人： PEREL, Alexander, S. , PLATOW, Wilhelm, P. , CHANEY, Craig, R. , SINCLAIR, Frank , ROCKWELL, Tyler
IPC分类号： H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/2445 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/2482 , H01J2237/30472
摘要： Techniques for providing optical ion beam metrology are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the techniques may be realized as an apparatus for controlling beam density profile, the apparatus may include one or more camera systems to capture at least one image of an ion beam and a control system coupled to the one or more camera systems to control a beam density profile of the ion beam. The control system may further include a dose profiler to provide information to one or more ion implantation components in at least one of a feedback loop and a feedforward loop to improve dose and angle uniformity.
摘要翻译：公开了提供光学离子束计量的技术。在一个特定的示例性实施例中，技术可以被实现为用于控制光束密度分布的装置，该装置可以包括一个或多个相机系统以捕获离子束的至少一个图像和耦合到一个或多个相机的控制系统用于控制离子束的束密度分布的系统。控制系统还可以包括剂量分析器，以在反馈环路和前馈环路中的至少一个中向一个或多个离子注入组件提供信息，以改善剂量和角度均匀性。

39. 发明申请

WO2009032706A1 METHODS AND APPARATUSES TO ALIGN ENERGY BEAM TO ATOM PROBE SPECIMEN 审中-公开
标题翻译：将能量束对准原子探针样本的方法和装置
公开(公告)号：WO2009032706A1
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：PCT/US2008/074501
申请日：2008-08-27
申请人： IMAGO SCIENTIFIC INSTRUMENTS CORPORATION , ALVIS, Roger , OLTMAN, Ed
发明人： ALVIS, Roger , OLTMAN, Ed
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： H01J37/285 , B82Y15/00 , H01J37/265 , H01J2237/2445 , H01J2237/24465 , H01J2237/2482
摘要： A method for aligning an energy beam to an object in an atom probe is disclosed. The method comprises monitoring at least one parameter indicative of an interaction between the energy beam and the object. A signal is generated in response to the interaction of the energy beam and the object. The signal is then used to effectuate control of the alignment of the energy beam to the object.
摘要翻译：公开了一种用于将能量束对准原子探针中的物体的方法。该方法包括监视指示能量束和物体之间的相互作用的至少一个参数。响应于能量束和物体的相互作用产生信号。然后该信号用于实现能量束对物体的对准的控制。

40. 发明申请

WO2006009444A9 METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING A SPECIMEN SURFACE AND USE OF FLUORESCENT MATERIALS 审中-公开
标题翻译：检测样品表面和使用荧光材料的方法和装置
公开(公告)号：WO2006009444A9
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：PCT/NL2005000529
申请日：2005-07-21
申请人： TNO , NIJKERK MICHIEL DAVID , KRUIT PIETER
发明人： NIJKERK MICHIEL DAVID , KRUIT PIETER
IPC分类号： G01N23/225 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J2237/1503 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2482
摘要： The invention relates to a method of inspecting a specimen surface. The method comprises the steps of generating a plurality of primary beams directed towards the specimen surface, focussing the plurality of primary beams onto respective loci on the specimen surface, collecting a plurality of secondary beams of charged particles originating from the specimen surface upon incidence of the primary beams, converting at least one of the collected secondary beams into an optical beam, and detecting the optical beam.
摘要翻译：本发明涉及检查试样表面的方法。该方法包括以下步骤：产生指向样品表面的多个主光束，将多个主光束聚焦在样品表面上的相应位置上;收集多个源自样品表面的带电粒子的次光束，主光束，将所收集的次光束中的至少一个转换成光束，并检测光束。

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